一种链式退火炉用气氛保护装置的制作方法

本实用新型涉及一种保护装置，具体是一种链式退火炉用气氛保护装置。

背景技术：

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的，可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，现有链式退火炉产生很多保护气体，气体当中还有很多有毒气体和灰尘，从而不方便直接再利用。

技术实现要素：

为了解决现有技术中存在的问题，本实用新型的目的是提供一种链式退火炉用气氛保护装置。

为了实现上述发明目的，本实用新型采用如下所述的技术方案：

一种链式退火炉用气氛保护装置，包括链式退火炉罐、支撑杆一、通尘管、出水管、雾化喷头、吸尘风扇、连接管、水箱、进水管、支撑杆二、有毒气体过滤网、活性炭过滤网、干燥板、沉淀罐、阀门、出尘管、出气孔、盖板、进气管、引风机、通气管和惰性气体收集罐，所述链式退火炉罐的下表面固定连接若干个支撑杆一，链式退火炉罐的一侧面设有沉淀罐，沉淀罐下表面固定连接若干个支撑杆二，沉淀罐与链式退火炉罐之间设有水箱和通尘管，通尘管的两端分别贯插在链式退火炉罐和沉淀罐内部，水箱上表面安装有水泵，水泵进口和出口分别安装有连接管和出水管，连接管的另一端贯插在水箱的内部，出水管的另一端贯穿在通尘管的内部并且固定连接有雾化喷头，沉淀罐上表面安装有盖板，盖板上设有若干数量的出气孔，盖板上安装有吸尘风扇，沉淀罐内部靠近吸尘风扇位置安装有平行设置的有毒气体过滤网、活性炭过滤网和干燥板，沉淀罐下表面固定连接有出尘管，出尘管上设有阀门，水箱与沉淀罐之间通过进水管连接，盖板的上表面安装有惰性气体收集罐，链式退火炉罐的上表面安装有引风机，引风机出气口和进气口均安装有进气管和通气管。

进一步的，所述沉淀罐的外侧面设有通道，通道内部设有密封门。

进一步的，所述惰性气体收集罐的外侧面设有若干个通孔。

进一步的，所述进水管靠近沉淀罐的一端上安装有电控阀门。

进一步的，所述水箱上表面设有进口，进口上设有相匹配的防尘塞。

由于采用上述技术方案，本实用新型具有以下优越性：操作过程，打开水泵和吸尘风扇，沉淀罐的内部形成气流流动，将链式退火炉罐的内部扬起灰尘和气体全部通过通尘管进入到沉淀罐内部，水泵将水箱中水通入到雾化喷头喷出，雾化喷头将水形成水滴与灰尘充分接触，雾化喷头增加水滴与灰尘接触范围，从而将灰尘与水滴粘连，通过通尘管之间落入到沉淀罐内部，链式退火炉罐的内部有毒或有异味气体直接通过有毒气体过滤网、活性炭过滤网和干燥板进行除湿、除异味过滤，从而能够无污染排放，除湿过程能够保护吸尘风扇正常运行，吸尘完成后，关闭水泵和吸尘风扇，沉淀罐沉淀一端时间后，灰尘落入到沉淀罐的底部，打开电控阀门，将干净水通入到进水管进入到水箱内部，能够循环使用，减少水资源全部排放，剩余水资源和灰尘通过打开阀门排出，该实用新型能够对链式退火炉内部气体进行过滤处理，对气体含有灰尘进行处理，能够让气体能够循环使用，水资源充分循环利用，节约资源。

附图说明

图1为链式退火炉用气氛保护装置的结构示意图。

图2为链式退火炉用气氛保护装置中盖板的俯视结构示意图。

图中：1、链式退火炉罐；2、支撑杆一；3、通尘管；4、出水管；5、雾化喷头；6、吸尘风扇；7、连接管；8、水箱；9、进水管；10、支撑杆二；11、有毒气体过滤网；12、活性炭过滤网；13、干燥板；14、沉淀罐；15、阀门；16、出尘管；17、出气孔；18、盖板；101、进气管；102、引风机；103、通气管；104、惰性气体收集罐。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。

结合图1～2，本实用新型实施例中，一种链式退火炉用气氛保护装置，包括链式退火炉罐1、支撑杆一2、通尘管3、出水管4、雾化喷头5、吸尘风扇6、连接管7、水箱8、进水管9、支撑杆二10、有毒气体过滤网11、活性炭过滤网12、干燥板13、沉淀罐14、阀门15、出尘管16、出气孔17、盖板18、进气管101、引风机102、通气管103和惰性气体收集罐104，所述链式退火炉罐1的下表面固定连接若干个支撑杆一2，链式退火炉罐1的一侧面设有沉淀罐14，沉淀罐14下表面固定连接若干个支撑杆二10，沉淀罐14与链式退火炉罐1之间设有水箱8和通尘管3，通尘管3的两端分别贯插在链式退火炉罐1和沉淀罐14内部，水箱8上表面安装有水泵，水泵进口和出口分别安装有连接管7和出水管4，连接管7的另一端贯插在水箱8的内部，出水管4的另一端贯穿在通尘管3的内部并且固定连接有雾化喷头5，沉淀罐14上表面安装有盖板18，盖板18上设有若干数量的出气孔17，盖板18上安装有吸尘风扇6，沉淀罐14内部靠近吸尘风扇6位置安装有平行设置的有毒气体过滤网11、活性炭过滤网12和干燥板13，沉淀罐14下表面固定连接有出尘管16，出尘管16上设有阀门15，水箱8与沉淀罐14之间通过进水管9连接，盖板18的上表面安装有惰性气体收集罐104，链式退火炉罐1的上表面安装有引风机102，引风机102出气口和进气口均安装有进气管101和通气管103，所述沉淀罐14的外侧面设有通道，通道内部设有密封门，为定期检测沉淀罐14内部情况提供便利，所述惰性气体收集罐104的外侧面设有若干个通孔，防护箱减少吸尘风扇6产生声音，进一步加固吸尘风扇6的运行，所述进水管9靠近沉淀罐14的一端上安装有电控阀门，通过电控阀门控制沉淀过后表面水资源流入到进水管9内部，所述水箱8上表面设有进口，进口上设有相匹配的防尘塞，为水箱8添加水资源，为水箱8供水提供方便，出水管4通过限位环固定连接在通尘管3的表面。

本实用新型的工作原理是：操作过程，打开水泵和吸尘风扇6，沉淀罐14的内部形成气流流动，将链式退火炉罐1的内部扬起灰尘和气体全部通过通尘管3进入到沉淀罐14内部，水泵将水箱8中水通入到雾化喷头5喷出，雾化喷头5将水形成水滴与灰尘充分接触，雾化喷头5增加水滴与灰尘接触范围，从而将灰尘与水滴粘连，通过通尘管3之间落入到沉淀罐14内部，链式退火炉罐1的内部有毒或有异味气体直接通过1有毒气体过滤网11、活性炭过滤网12和干燥板13进行除湿、除异味过滤，从而能够无污染排放，除湿过程能够保护吸尘风扇6正常运行，吸尘完成后，关闭水泵和吸尘风扇6，沉淀罐14沉淀1一端时间后，灰尘落入到沉淀罐14的底部，打开电控阀门，将干净水通入到进水管9进入到水箱8内部，能够循环使用，减少水资源全部排放，剩余水资源和灰尘通过打开阀门15排出，该实用新型能够对链式退火炉内部气体进行过滤处理，对气体含有灰尘进行处理，能够让气体能够循环使用，水资源充分循环利用，节约资源。

尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。