一种真空镀膜机腔体冷却装置的制作方法

文档序号:16183971发布日期:2018-12-07 23:11阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种真空镀膜机腔体冷却装置,包括真空镀膜机(1)、镀膜机闭合门(2)、底座(3)和冷却腔(4),其特征在于:所述真空镀膜机(1)的侧壁均匀向内安装有冷却筒(5),所述冷却筒(5)内设置有空腔与冷却腔(4)连通,所述真空镀膜机(1)的侧壁固定设置有两组滑动槽(6),所述滑动槽(6)内活动连接有隔热板(7),所述隔热板(7)的顶部固定设置有拉动环(8),所述冷却腔(4)的底壁设置有两组滑动限位板(9),两组所述滑动限位板(9)之间活动配合有滑动支撑座(10),所述滑动支撑座(10)的顶部固定设置有冷却箱(11),所述冷却箱(11)的顶部固定设置有进液口(12),所述进液口(12)的顶部设置有顶盖(13),所述冷却箱(11)的侧壁固定设置有冷却棒(14),所述冷却棒(14)内腔与冷却箱(11)连通。

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机腔体冷却装置,其特征在于:所述顶盖(13)通过螺纹与进液口(12)螺纹连接。

3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机腔体冷却装置,其特征在于:所述顶盖(13)的侧壁均匀设置有防滑齿。

4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机腔体冷却装置,其特征在于:所述冷却筒(5)、冷却棒(14)由导热绝缘的石墨烯材料构成。

5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机腔体冷却装置,其特征在于:所述隔热板(7)由陶瓷纤维铸造而成。

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