技术总结
螺旋波等离子气相沉积装置,它涉及沉积装置领域，具体涉及螺旋波等离子气相沉积装置，它包含放电室、沉积室、连通管道、电磁线圈、天线、射频电源、第一进气管、透气孔、第一支撑板、第一真空泵、第一抽气管、基片台、第二进气管、第二支撑板、第二真空泵、第二抽气管，放电室通过连通管道与沉积室相连通，放电室的两侧内壁设置有电磁线圈，第一进气管伸进放电室内的部分设置有多个透气孔，第一真空泵通过第一抽气管与放电室连接，沉积室的底部设置有基片台，沉积室的侧边设置有第二进气管，第二真空泵通过第二抽气管与沉积室连接。采用上述技术方案后，本实用新型有益效果为：它不仅结构简单，设计合理，而且沉积效率高，成品纯度高、质量好。
技术研发人员：胡颖
受保护的技术使用者：淮阴师范学院
技术研发日：2018.06.08
技术公布日：2019.02.05