技术总结
本实用新型提供一种高效的溅镀装置，包括：溅镀仓，所述溅镀仓上端设有上固定板、下端设有下固定板，下固定板安装在设备支架上，所述上固定板上设有阳极电极、所述下固定板上设有阴极电极，所述阳极电极通过阳极电极固定支架安装在上固定板，阴极电极通过阴极电极固定支架安装在下固定板上，所述溅镀仓一侧设有溅镀气体入口、另一侧设有抽真空排出口，所述阴极电极固定支架安装在升降调节板上，所述升降调节板安装在升降调节装置上，所述溅镀仓与上固定板、下下固定板之间连接处设有弧形板。本实用新型可以根据不同的加工需求进行调节电极之间的距离，达到节能的目的，而且，能够使溅镀更加集中提高加工效率。
技术研发人员：霍凯
受保护的技术使用者：苏州凡特真空溅镀科技有限公司
技术研发日：2018.07.10
技术公布日：2019.01.29