1.一种溅射镀膜设备，其特征在于，包括：
工艺腔(10)，用于进行镀膜作业；
吸气装置(20)，连接在所述工艺腔(10)的出气口(11)；以及
储气腔(30)，连接在所述吸气装置(20)和所述工艺腔(10)的进气口(12)之间，以在所述工艺腔(10)、所述吸气装置(20)和所述储气腔(30)之间形成气体循环。
2.根据权利要求1所述的溅射镀膜设备，其特征在于，所述吸气装置(20)和所述储气腔(30)之间连接有压缩机(40)。
3.根据权利要求1所述的溅射镀膜设备，其特征在于，所述储气腔(30)和所述进气口(12)之间连接有流量控制装置(50)。
4.根据权利要求3所述的溅射镀膜设备，其特征在于，所述工艺腔(10)中设置有第一气压计，所述第一气压计与所述流量控制装置(50)电连接。
5.根据权利要求3所述的溅射镀膜设备，其特征在于，所述流量控制装置(50)为质量流量控制器。
6.根据权利要求1所述的溅射镀膜设备，其特征在于，所述吸气装置(20)的排气端设置有第一阀门(60)。
7.根据权利要求1所述的溅射镀膜设备，其特征在于，所述出气口(11)设置有第二阀门(70)，以及/或所述进气口(12)设置有第三阀门(80)。
8.根据权利要求1所述的溅射镀膜设备，其特征在于，所述吸气装置(20)为真空泵。
9.根据权利要求1-8中任一项所述的溅射镀膜设备，其特征在于，所述工艺腔(10)包括各自进行镀膜作业的多个，每个所述工艺腔(10)各自与所述吸气装置(20)、所述储气腔(30)形成气体循环，任意相邻两个所述工艺腔(10)之间设置有将二者隔开的隔离腔(103)。
10.根据权利要求9所述的溅射镀膜设备，其特征在于，所述隔离腔(103)与相邻的所述工艺腔(10)之间设置有可开闭的止挡件，以使二者选择性地连通或隔离，所述隔离腔(103)与所述吸气装置(20)、所述储气腔(30)形成气体循环。