一种用于磨片机的上磨盘装置的制作方法

本实用新型属于机械设备技术领域，具体涉及一种用于磨片机的上磨盘装置。

背景技术：

现有磨片机由于上磨盘重量重，导致上磨盘施加在元件上的压力过大，会时加工元件出现裂纹，导致加工合格率低，制造不出理想的元件。由于磨片时，元件表面有一定凹凸度的存在，当上磨盘压在凸出的尖角上时，也容易使尖角处产生裂纹，影响合格率。为了解决这一技术问题，现有技术采用减薄上磨盘厚度的方法来减轻上磨盘的重量，但是采用该方法仍然不合理，会严重影响上磨盘的使用寿命。

另外，磨片机工作时会产生粉尘，该粉尘较细，容易随气流弥散在车间中，恶化工作环境质量，同时粉尘会被工作人员吸入体内，影响工作人员身体健康。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于：提供一种用于磨片机的上磨盘装置，通过设置新型的压力缓冲机构，工作时根据磨片进程，调节上磨盘对元件的压力，解决现有技术上磨盘压力过大，容易导致工件出现裂纹的技术问题。

本实用新型采用的技术方案如下：

一种用于磨片机的上磨盘装置，包括上磨盘，其特征在于：还包括设置在上磨盘顶部的压力缓冲机构；所述压力缓冲机构包括连接架、连接套以及提供反作用力以减小上磨盘对元件压力的缓冲组件；所述连接架底端活动连接在上磨盘顶部，连接架顶端与连接套底端活动连接；所述连接套内部设置有连通底部的腔体；所述缓冲组件设置在腔体内。

本方案所述的上磨盘装置，通过在上磨盘顶部设置了压力缓冲机构，对上磨盘的重力进行缓冲，以减轻上磨盘对元件的压力，防止加工时工件出现裂纹，解决现有技术上磨盘压力过大，容易导致工件出现裂纹的技术问题。

本方案所述的上磨盘装置，使用时将其安装在磨片机上，在自然状态下，当上磨盘压在元件表面时，元件受到的压力等于上磨盘的重力，但设置了压力缓冲结构后，上磨盘的重力会被压力缓冲机构部分抵消，使得元件受到的压力减小，元件的加工效果比较理想，出现裂纹的概率大大降低，提高了工件的合格率，尤其是对材质较松脆的元件，研磨效果改善最为显著。

进一步地，所述缓冲组件包括拉杆、弹簧和连接块；所述连接块固定连接在拉杆底端；所述拉杆顶端延伸出连接套顶部；所述弹簧将拉杆包围在其内部，且弹簧一端与连接套的腔体的顶壁连接，另一端与连接块连接。

进一步地，所述连接架由至少三根连接杆组成，每根所述连接杆一端均间隔均匀地连接在上磨盘顶部，另一端与连接套底端连接。

进一步地，所述连接杆包括一体化设置的倾斜部和竖直部，倾斜部末端连接在上磨盘顶部靠近边沿处，竖直部末端与连接套底端连接。

进一步地，所述倾斜部与竖直部之间的夹角为120～135°，采用该结构设置的连接杆构成的连接架，使得连接架之间围成一个较宽的空间，以便于在上磨盘上放置加重块。

进一步地，上磨盘顶部中心垂直设置有固定杆，所述固定杆上可拆卸设置有多个不同重量级的加重块。随着研磨时间加长，凸出的尖角被磨平，元件趋于平整，如果压力过小，磨片需要消耗更多的时间，会影响工作效率。因此，通过设置不同重量级的加重块，研磨过程中，可根据实际情况选择施加不同重量级的加重块提高磨片效率。

进一步地，上磨盘上靠近边沿处设置有吸尘孔，所述吸尘孔上设置有吸尘嘴。上磨盘对元件进行研磨的过程中会产生粉尘，由于粉尘较细，容易随气流弥散在车间中，恶化工作环境质量，同时粉尘会被工作人员吸入体内，影响工作人员身体健康。使用时，吸尘机构的进气管直接与吸尘嘴连接即可，操作简单方便。

综上所述，由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果是：

1.本方案所述的上磨盘装置，通过在上磨盘顶部设置了压力缓冲机构，对上磨盘的重力进行缓冲，以减轻上磨盘对元件的压力，防止加工时工件出现裂纹，解决现有技术上磨盘压力过大，容易导致工件出现裂纹的技术问题。

2.本方案所述的上磨盘装置，在研磨开始时，通过压力缓冲机构减小元件表面所承受的压力，解决了元件表面存在凹凸度而容易在凸出的尖角处出现裂纹的技术问题。同时设置有加重机构，在研磨过程中，随着研磨时间加长，凸出的尖角被磨平，元件趋于平整，可根据实际情况选择施加不同重量级的加重块提高磨片效率。

3.由于在磨片过程中产生的粉尘较细，容易随气流弥散在车间中，恶化工作环境质量，同时粉尘会被工作人员吸入体内，影响工作人员身体健康，所以本方案所述的上磨盘装置设置有吸尘孔和吸尘嘴，便于安装吸尘机构吸除研磨过程中产生的粉尘，以改善工作环境，保护工作人员身体健康。

4.本方案所述的上磨盘装置，其结构简单，易于制造、安装和拆卸，实用性强，将其应用于磨片机中，上磨盘的重力会被压力缓冲机构部分抵消，使得元件受到的压力减小，元件的加工效果比较理想，出现裂纹的概率大大降低，提高了工件的合格率，尤其是对材质较松脆的元件，研磨效果改善最为显著。

附图说明

图1是本实用新型实施例1所述上磨盘装置的结构示意图；

图2是本实用新型实施例2和3所述上磨盘装置的结构示意图；

图3是本实用新型实施例4所述磨片机的结构示意图；

图4是本实用新型实施例4所述磨片机的下磨盘装置的结构示意图。

图中标记为：1-上磨盘，2-压力缓冲机构，3-固定杆，4-加重块，5-吸尘孔，6-吸尘嘴，7-工作台，8-下磨盘装置，9-吸尘装置，10-固定架，11-伸缩电机，12-轴承座，21-连接架，22-连接套，23-缓冲组件，81-转动电机，82-下磨盘，83-行星盘，91-吸尘箱，92-抽风机，93-隔板，94-连通管，95-除尘袋，96-进气软管，211-连接杆，212-倾斜部，213-竖直部，231-连接块，232-弹簧，233-拉杆，821-挡圈，831-磨片孔。

具体实施方式

本说明书中公开的所有特征，除了互相排斥的特征和/或步骤以外，均可以以任何方式组合。

下面结合附图对本实用新型作详细说明。

实施例1

请参照图1所示，一种用于磨片机的上磨盘装置，包括上磨盘1、连接架21、连接套22和缓冲组件23。

所述连接架21由至少三根连接杆211组成，每根所述连接杆211一端均间隔均匀地固定连接在上磨盘1顶部，另一端与连接套22底端通过螺栓活动连接。具体地讲，所述连接杆211包括一体化设置的倾斜部212和竖直部213，倾斜部212与竖直部213之间的夹角为120～135°，倾斜部212末端固定连接在上磨盘1顶部靠近边沿处，竖直部213末端与连接套22底端活动连接。采用该结构设置的连接架21，使得连接架21之间围成一个较宽的空间，以便于在上磨盘1上放置加重块4。

所述连接套22内部设置有腔体，所述腔体连通连接套22底部；所述连接套22顶部中心设置有连接孔，所述连接孔与腔体连通。所述缓冲组件23设置在连接套22的腔体内。

所述缓冲组件23包括拉杆233、弹簧232和连接块231；所述连接块231固定连接在拉杆233底端，所述拉杆233顶端穿过连接孔延伸出连接套22顶部，使用时便于和其他装置连接。所述弹簧232将拉杆233包围在其内部，弹簧232一端与连接套22的腔体的顶壁连接，另一端与连接块231连接。

本方案所述的上磨盘装置，通过在上磨盘1顶部设置了压力缓冲机构2，对上磨盘1的重力进行缓冲，以减轻上磨盘1对元件的压力，防止加工时工件出现裂纹。

本方案所述的上磨盘装置通过减小上磨盘1对元件的压力来改善磨片效果，其最重要的一个原因是由于元件在研磨前表面具有一定的凹凸度，使得元件局部承受的应力较大，因而导致研磨时容易出现裂纹。比如，研磨区熔硅单晶片时，由于棱苞的原因，使得硅片表面有一凸出的尖角，在研磨过程中，当尖角受到加大应力时，就会在尖角处出现裂纹。

本方案所述的上磨盘装置，其工作原理为：使用时将其安装在磨片机上，在自然状态下，当上磨盘1压在元件表面时，元件受到的压力等于上磨盘1的重力，但设置了压力缓冲结构后，上磨盘1的重力会被压力缓冲机构2部分抵消，使得元件受到的压力减小，元件的加工效果比较理想，出现裂纹的概率大大降低，提高了工件的合格率，尤其是对材质较松脆的元件，研磨效果改善最为显著。

实施例2

请参照图2所示，实施例1所述的上磨盘装置在研磨开始时，即通过压力缓冲机构2减小元件表面所承受的压力，解决了元件表面存在凹凸度而容易在凸出的尖角处出现裂纹的技术问题。但随着研磨时间加长，凸出的尖角被磨平，元件趋于平整，如果压力过小，磨片需要消耗更多的时间，会影响工作效率。因此，本实施例在实施例1的基础上进一步改进，具体改进为：在磨片顶部设置有加重机构；所述加重机构包括固定杆3和多个加重块4；所述固定杆3垂直固定在上磨盘1顶部中心，加重块4的中心处设置有通孔，所述加重块4通过通孔套设在固定杆3上。所述加重块4设置为不同重量级，研磨过程中，根据实际情况选择施加不同重量级的加重块4提高磨片效率。

实施例3

请参照图2所示，上磨盘1对元件进行研磨的过程中会产生粉尘，由于粉尘较细，容易随气流弥散在车间中，恶化工作环境质量，同时粉尘会被工作人员吸入体内，影响工作人员身体健康。因此为了便于在研磨机上安装吸尘机构，本市实施例在实施例2的基础上进一步改进，具体改进为：在其中两个连接杆211与上磨盘1连接处之间设置有吸尘孔5，所述吸尘孔5上设置有吸尘嘴6。具体地讲，所述吸尘嘴6由不锈钢材质制成，且一端通过密封圈密封连接在吸尘孔5内。使用时，吸尘机构的进气管直接与吸尘嘴6连接即可，操作简单方便。

实施例4

请参照图3和图4所示，一种磨片机，包括工作台7、固定架10、伸缩电机11、吸尘装置9、下磨盘装置8以及以上实施例所述的上磨盘装置。

所述下磨盘装置8包括转动电机81、下磨盘82以及行星盘83，所述转动电机81设置在工作台7内，且转动电机81的转动轴延伸出工作台7顶部并与下磨盘82底部固定连接，所述行星盘83通过轴承座12可转动设置在下磨盘82顶部，且行星盘83下表面与下磨盘82上表面之间留有间隙。所述行星盘83上环形间隔设置有多个磨片孔831。

所述固定架10固定设置在工作台7上，固定架10顶端设置有伸缩电机11，所述伸缩电机11的推拉杆233垂直向下延伸出固定架10顶板，所述下磨盘装置8的拉杆233通过联轴器与伸缩电机11的推拉杆233连接，且下磨盘装置8位于行星盘83的正上方。

所述吸尘装置9包括吸尘箱91和抽风机92，所述吸尘箱91内部被一隔板93隔成上空间和下空间两个空间，所述隔板93底部设置有连通上、下两个空间的连通管94，所述连通管94上设置有除尘袋95。所述上空间的外壁上设置有进气口，所述进气口上连接有进气软管96，所述进气软管96另一端与上磨盘装置的吸尘嘴6连接。所述下空间的外壁上设置有出气口，所述出气口与抽风机92连通。

为了防止粉尘从下磨盘82的边缘洒出，所述下磨盘82边沿上设置有挡圈821。

本实施例所使用的伸缩电机11为温州市建顺电器有限公司所生产，其型号为“JS-TGZ-U1”，能承受的最大推力和最大拉力均为80千克。

本方案所述的磨片机的工作原理为：工作时，将元件放置在磨片孔831内，然后启动伸缩电机11，伸缩电机11的推拉杆233向下推动下磨盘装置8，使下磨盘装置8的下磨盘82压在元件顶部，此时不施加加重块4；下磨盘82在压力缓冲机构2的作用下，使得下磨盘82对元件的压力减小，以磨片时保证凸出的尖角处不会出现裂纹；然后启动转动电机81，带动下磨盘82转动，使得元件在上磨盘1和下磨盘82之间被研磨，研磨产生的粉尘被挡圈821挡住，同时被吸尘装置9吸入除尘袋95；随着研磨时间加长，凸出的尖角被磨平，元件趋于平整，此时可在上磨盘1顶部的固定杆3上施加加重块4，增大上磨盘1对元件的压力，缩短磨片时间，提高磨片效率。

以上为本方案的主要特征及其有益效果，本行业的技术人员应该了解，本方案不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本方案的原理，在不脱离本方案精神和范围的前提下，本方案还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内，本方案要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中介媒介简介相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。