CVD化学蒸汽沉积炉用加热电源的制作方法

本实用新型涉及一种加热电源，尤其是涉及一种可应用于CVD化学蒸汽沉积炉上的加热电源，属于电源技术领域。

背景技术：

目前，在真空电镀工艺中、铝氧化操作工序中、以及CVD化学蒸汽沉积炉等工艺和装置中都需要用到的大功率的加热电源，尤其是CVD化学蒸汽沉积炉上，由于沉积工艺精度的要求，不但要求电源功率大，而且要求其能提供稳定可靠的电流电压输出，否则无法保证硅基片上化学镀膜的均匀性；而常规的大功率加热电源，由于在使用过程中会产生大量的热量，常规的风冷结构无法有效的进行散热，因此电源内部各个电器件的温度将大幅上升，尤其是对于IGBT等半导体器件，温升将不可避免的导致其发生温漂，从而影响精度，导致性能的不稳定；为此，亟需一种具有高效散热能力的电源；同时，常规的大功率加热电源为了增加功率，无外乎提高变压器等器件的体积，以使得其能够承受更大的电压而达到更大的功率，但是，此类方式将导致电源系统体积较为庞大，安装占地面积较大，对于有限的厂房面积来说，往往没有足够的安装空间，从而导致其使用范围；另外，对于此类加热电源来说，不同的企业、不同的产线、产能所需的功率大小完全不同，因此如今的电源多为定制化产品，需要根据客户需求进行设计和生产，这样一来，不但增加了电源制造企业的生产成本，不利于提高产品的市场竞争力，而且电源产品的整个制造周期较长、且不同批次产品之间的一致性较差，缺乏通配性，当后期需要更换、维护时较为麻烦且成本高昂；为此，亟需一种同时具有高效散热能力且体积小巧、便于扩展的电源。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于克服上述不足，提供一种CVD化学蒸汽沉积炉用加热电源，能够根据客户需求进行随意级联扩展，从而有效的降低了其设计制造难度和生产成本，同时便于小型化布局，并且通过水冷方式，大大提高了散热性能，保证了半导体器件始终工作在线形范围内，保证了输出的稳定性。

本实用新型的目的是这样实现的：

一种CVD化学蒸汽沉积炉用加热电源，所述电源包含有机体外框架，所述机体外框架的左右两侧分别竖向设置有两块竖向安装板，且竖向安装板的内壁上由下往上平行设置有多组导向组件，每个导向组件包含有两条水平设置的导轨，电源模块的两侧滑动安装于导向组件的导轨上，且机体外框架的底部安装有总空气开关，所述总空气开关位于电源模块的下方，电缆进线经机体外框架底部的进线孔进入后连接至总空气开关的进线端，所述总空气开关的出线端连接至竖向设置的进线总铜排，进线总铜排经多个连接片分别连接至多个电源模块的进线端子上，电源模块的出线铜排连接至竖向设置的出线总铜排，且电源模块内设置有水冷组件；

所述电源模块包含有壳体，水冷组件安装于壳体内；所述壳体的背板上设置有进水端子安装孔和出水端子安装孔，所述水冷组件包含有水冷铝板，所述水冷铝板内设置有冷却水道，该冷却水道的两个开口端上分别插置有进水端子和出水端子，且进水端子和出水端子分别嵌置于进水端子安装孔和出水端子安装孔内。

本实用新型一种CVD化学蒸汽沉积炉用加热电源，所述壳体的两块侧板内壁上均设置有搁置条，一搁置条上设置有定位块；所述水冷铝板的一侧边上向内凹陷形成有定位豁口，所述水冷铝板的两个搁置在搁置条上，且上述定位块嵌置于定位豁口内。

本实用新型一种CVD化学蒸汽沉积炉用加热电源，所述水冷铝板的四个角上设置有固定孔，固定螺栓穿过固定孔后旋置于搁置条内，所述水冷铝板上设置有多个安装孔。

本实用新型一种CVD化学蒸汽沉积炉用加热电源，所述机体外框架内竖向设置有进水管和出水管，所述进水管的进水接头安装于机体外框架的下部，所述进水管经多个分支进水管连通至电源模块内的水冷组件的进水端子上，所述出水管的出水接头安装于机体外框架的上部，且电源模块的水冷组件的出水端子经分支出水管连通至出水管。

本实用新型一种CVD化学蒸汽沉积炉用加热电源，所述进水管、出水管、进线总铜排和出线总铜排均靠近机体外框架背板，且机体外框架的背上竖向安装有一隔离板，所述进水管和出水管位于隔离板的一侧，所述进线总铜排和出线总铜排位于隔离板的另一侧。

本实用新型一种CVD化学蒸汽沉积炉用加热电源，变压器和控制线路板通过安装孔安装于水冷铝板上。

本实用新型一种CVD化学蒸汽沉积炉用加热电源，所述壳体上安装有多条走线条，所述走线条的顶面上沿其长度方向设置有走线槽，所述走线槽的两侧槽壁上分别设置有多个捆扎槽。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型通过模块化的设计思路，大大降低了设计成本，可方便的根据客户的需求进行级联扩展以获得所需的功率输出；并且模块化设计使得各个电源模块无需配备大型变压器，从而使得其采用常规化变压器即可，有利于整体布局设计，降低其体积，且多个电源模块在级联过程中采用由下往上的布局方式，极大的降低了其占地面积，便于在狭小的空间内安装使用；同时，通过水冷方式进行散热，能够快速有效的将各个器件散发的热量进行有效的排除，从而极大的降低了其工作温度，保证电子器件(尤其是半导体器件)始终工作在最佳温度区间范围内，保证输出电流电压的稳定性。

附图说明

图1为本实用新型一种CVD化学蒸汽沉积炉用加热电源的立体效果示意图。

图2为本实用新型一种CVD化学蒸汽沉积炉用加热电源的另一视角的立体效果示意图。

图3为本实用新型一种CVD化学蒸汽沉积炉用加热电源的正视图。

图4为本实用新型一种CVD化学蒸汽沉积炉用加热电源的左视图。

图5为本实用新型一种CVD化学蒸汽沉积炉用加热电源的右视图。

图6为本实用新型一种CVD化学蒸汽沉积炉用加热电源的电源模块的立体效果示意图。

图7为本实用新型一种CVD化学蒸汽沉积炉用加热电源的电源模块的另一视角的立体效果示意图。

图8为本实用新型一种CVD化学蒸汽沉积炉用加热电源的电源模块的另一视角的立体效果示意图。

图9为本实用新型一种CVD化学蒸汽沉积炉用加热电源的电源模块的仰视图。

图10为本实用新型一种CVD化学蒸汽沉积炉用加热电源的电源模块的壳体内侧壁的局部示意图。

图11为本实用新型一种CVD化学蒸汽沉积炉用加热电源的电源模块的水冷组件的结构示意图。

图12为本实用新型一种CVD化学蒸汽沉积炉用加热电源的电源模块水冷组件的结构示意图。

其中：

机体外框架101、竖向安装板102、导向组件103、电源模块104、总空气开关105、进水管106、出水管107、进线总铜排108、出线总铜排109、隔离板110；

壳体1、水冷组件2、进线端子3、出线铜排4、走线条5；

进水端子安装孔1.1、出水端子安装孔1.2、搁置条1.3、定位块1.4；

水冷铝板2.1、进水端子2.2、出水端子2.3；

定位豁口2.1.1、固定孔2.1.2、安装孔2.1.3。

具体实施方式

参见图1～12，本实用新型涉及的一种CVD化学蒸汽沉积炉用加热电源，包含有机体外框架101，所述机体外框架101的左右两侧分别竖向设置有两块竖向安装板102，且竖向安装板102的内壁上由下往上平行设置有多组导向组件103，每个导向组件103包含有两条水平设置的导轨，电源模块104的两侧滑动安装于导向组件103的导轨上，且机体外框架101的底部安装有总空气开关105，所述总空气开关105位于电源模块104的下方，电缆进线经机体外框架101底部的进线孔进入后连接至总空气开关105的进线端，所述总空气开关105的出线端连接至竖向设置的进线总铜排108，进线总铜排108经多个连接片分别连接至多个电源模块104的进线端子3上，电源模块104的出线铜排4连接至竖向设置的出线总铜排109，且电源模块104内设置有水冷组件2，所述机体外框架101内竖向设置有进水管106和出水管107，所述进水管106的进水接头安装于机体外框架101的下部，所述进水管106经多个分支进水管连通至电源模块104内的水冷组件2的进水端子2.2上，所述出水管107的出水接头安装于机体外框架101的上部，且电源模块104的水冷组件2的出水端子2.3经分支出水管连通至出水管107；所述进水管106、出水管107、进线总铜排108和出线总铜排109均靠近机体外框架101背板，且机体外框架101的背上竖向安装有一隔离板110，所述进水管106和出水管107位于隔离板110的一侧，所述进线总铜排108和出线总铜排109位于隔离板110的另一侧；

所述电源模块104包含有壳体1，水冷组件2安装于壳体1内；所述壳体1的背板上设置有进水端子安装孔1.1和出水端子安装孔1.2，所述壳体1的两块侧板内壁上均设置有搁置条1.3，一搁置条1.3上设置有定位块1.4；所述水冷组件2包含有水冷铝板2.1，所述水冷铝板2.1内设置有冷却水道，该冷却水道的两个开口端上分别插置有进水端子2.2和出水端子2.3(具体的讲，所述进水端子2.2上设置的引导管通过胀管技术插入冷却水道内；同样的，所述出水端子2.3上设置的引导管同样通过胀管技术插入冷却水道内；)，且进水端子2.2和出水端子2.3分别嵌置于进水端子安装孔1.1和出水端子安装孔1.2内，所述水冷铝板2.1的一侧边上向内凹陷形成有定位豁口2.1.1，所述水冷铝板2.1的两侧搁置在搁置条1.3上，且上述定位块1.4嵌置于定位豁口2.1.1内，所述水冷铝板2.1的四个角上设置有固定孔2.1.2，固定螺栓穿过固定孔2.1.2后旋置于搁置条1.3内，所述水冷铝板2.1上设置有多个安装孔2.1.3，变压器和控制线路板通过安装孔2.1.3安装于水冷铝板2.1上，从而便于对变压器和控制线路板工作时产生的热量进行吸收；所述壳体1的背板上穿接有进线端子3和出线铜排4；

进一步的，所述壳体1上安装有多条走线条5，所述走线条5的顶面上沿其长度方向设置有走线槽，所述走线槽的两侧槽壁上分别设置有多个捆扎槽，从而使得使用时，可方便的将导线安放于走线槽内，利用绕在捆扎槽上的捆扎带对导线进行固定，从而使得壳体1内的布线更为简洁和美观，同时有助于防止其因打结等因素导致线路故障，从而进一步保证了其可靠性；

另外：需要注意的是，上述具体实施方式仅为本专利的一个优化方案，本领域的技术人员根据上述构思所做的任何改动或改进，均在本专利的保护范围之内。