技术总结
本实用新型公开了一种金刚石研磨机磨盘平整及清理装置,包括固定框架,固定框架内侧底部安装有滑轨,滑轨顶部滑动连接有活动柱,活动柱顶端固定连接有支撑板,支撑板顶端固定连接有若干个吸盘,若干个吸盘顶部活动连接有若干个磨盘,固定框架一侧壁安装有第一电机,第一电机输出端活动连接有驱动轴,固定框架内侧固定连接有导向杆,固定框架顶部分别设有第二电机与储水箱,第二电机输出端贯穿固定框架顶部活动连接有连接轴,连接轴底端固定连接有连接板。本实用新型能够对磨盘进行表面平整度进行检测,提升了研磨效果,提高了研磨质量,能够对磨盘进行冲洗,去除磨盘上的研磨粉末,进一步提高了研磨质量。
技术研发人员:李升;刘宏明
受保护的技术使用者:西安碳星半导体科技有限公司
技术研发日:2018.09.26
技术公布日:2019.05.14