抛光机的制作方法

本实用新型涉及抛光机。

背景技术：

随着经济和信息技术的快速发展，市场竞争日趋激烈，企业面临的竞争压力逐渐增加，提高市场竞争力的诉求已迫在眉睫，而降低成本、提高生产效率始终是企业提高自身竞争力的重要手段之一。对于涉及化学机械抛光(简称CMP)的企业来说，目前所用的单面抛光机一般为四个抛光头或单个抛光头，单个抛光头的抛光机一般用于直径为12英寸(300mm)以上的晶片的抛光，多个抛光头的抛光机一般用于直径为12英寸(300mm)及以下的晶片的抛光。

现有技术中，多个抛光头的抛光机在结构上，需要在第一本体上设置多组支撑梁，进行支撑固定，而抛光头需要避让支撑梁设置，因此其设置位置和设置数量就受到了较大的限制，而数量的受限会直接影响抛光的效率。

技术实现要素：

本实用新型的目的是提供一种抛光机，不需要支撑梁，提高了抛光组件的安装控件和数量，从而提高抛光效率。

本实用新型的抛光机，包括：第一本体、第二本体和吊装组件；所述第一本体和第二本体均为具有上顶面和下底面的中空结构；所述第一本体下底面和第二本体上顶面之间设有支撑柱；所述吊装组件第一部分置于第一本体外部，第二部分穿过第一本体的中空结构与第一本体的下底面固定连接。

如上所述的抛光机，在所述第一本体的下底面设有至少一个第一通孔。

如上所述的抛光机，在所述第二本体上顶面设有第二通孔，所述第二通孔的数量和位置与第一通孔相对应。

如上所述的抛光机，所述吊装组件包括：立杆、横杆和吊杆，其中，所述立杆一端固定设置在所述第二本体上，所述立杆另一端与横杆一端固定连接，所述横杆另一端与所述吊杆的一端固定连接，所述吊杆的另一端与所述第一本体的底面固定连接。

如上所述的抛光机，所述立杆和所述横杆为四边形柱体，所述吊杆为圆柱形主体。

如上所述的抛光机，所述立杆与横杆相互垂直，所述横杆与吊杆相互垂直。

如上所述的抛光机，所述吊杆与第一本体下底面的中心连接。

如上所述的抛光机，所述支撑柱均匀分布在四个角。

如上所述的抛光机，所述第一本体下底面临近第一通孔的地方设有抛光头，所述抛光头的数量与第一通孔的数量相同。

如上所述的抛光机，所述抛光头还连接有气缸、驱动装置和真空控制装置。

本实用新型的抛光机使用吊装组件与第一本体下底面连接，尤其是将吊装组件与第一本体下底面的中心连接，进一步可以防止第一本体下底面由于工作时间久了之后发生的变形；同时，将吊装组件设在第一本体外部，可以增加安装抛光组件的个数，进一步提高抛光数量，从而提高抛光效率。

附图说明

图1为本实用新型抛光机的透视示意图。

附图标记：

第一本体101、第一通孔102、第二通孔103、立杆104、横杆105、吊杆106、第二本体107、支撑柱108。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能解释为对本实用新型的限制。

本实用新型公开一种抛光机，参见包括：第一本体101、第二本体107和吊装组件。

第一本体101具有上顶面和下底面，当然还可以包括四周的外周面，这些面围合成中空结构，该中空结构可以容纳抛光组件，抛光组件的主要零部件包括抛光头、气缸、驱动装置、真空控制装置和连接部件等等，其中气缸更为基础，对于控制抛光头压力、转速、位置和真空吸附等能力，都需要气缸的参与。

第二本体107同样具有上顶面和下底面，以及外周面，同样组成中空结构，第二本体107位于第一本体101下方，二者这件通过支撑柱108支撑设置。也就是支撑柱108支撑在第一本体101的下底面和第二本体107的上顶面之间。优选的，立柱108均匀分布在四角，也就是说，第一本体101和第二本体107可以为接近方形的结构，通过立柱108四角支撑。

吊装组件第一部分置于第一本体101外部，第二部分穿过第一本体101的中空结构与第一本体101的下底面固定连接。实现对第一本体101的吊装。

上述的支撑柱108和吊装组件共同形成对第一本体101的支撑，即能够保证其位置的稳定，又避免了其受力不均匀造成的变形。

在所述第一本体101的下底面设有至少一个第一通孔102。附图中示出了五个，但是需要理解，附图仅用于解释，并不用于限制本申请中第一通孔102的数量。在第二本体107上顶面设有第二通孔103，所述第二通孔103的数量和位置与第一通孔102相对应。

一般的抛光组件位于中空结构内，并使抛光头位于邻近第一通孔102的位置。当然，抛光组件的其他零部件，如气缸、驱动装置和真空控制装置等，也都位于该中空结构内，并且至少驱动装置和控制装置与抛光头连接，驱动和控制器位移和工作。

在使用过程中，气缸需要移动来实现对抛光动作调节，其需要更大的移动空间。在中空结构内，抛光组件安装在第一通孔102内，而主要抛光头是从第一通孔102露出的，以方便进行抛光操作，而第二通孔103为气缸的移动提供了更大的空间。

在一种优选的实施例中，第一通孔102和第二通孔103分别具有五个。这里第一通孔102和第二通孔103的数量，就决定了其可以安装抛光组件的数量，这只是本申请优选的设置数量，还可以根据实际需要进行增加。在一些实施例中，如果要设置更多的抛光组件，那就需要对应的开设更多的第一通孔102和第二通孔103。为了更大的设置量，可以将圆形半径扩他，以提高设置数量，而中心位置也可以设置第一通孔102和第二通孔103，以便于抛光组件的均匀设置。

吊装组件包括：立杆104、横杆105和吊杆106，其中，立杆104一端固定设置在第二本体107上(一般是指第二本体107外侧)，横杆105与立杆104的另一端连接，优选的是垂直地连接，吊杆106一端与横杆105连接，优选的可以为垂直连接，并向下延伸，另一端连接第一本体101的底面。可以理解，吊装组件的作用就是为第一本体101提供支撑力，保证其位置。一般的，立杆104和横杆105为四边形柱体，吊杆106为圆柱形柱体。吊杆106可以位于第一本体101底面的中心位置处，也可以是位于一侧，当然，为了保证受力均匀，优选的方案是位于中心处。

这里立杆104和横杆105就属于上述设置在第一本体101外部的第一部分，而吊杆106或者说吊杆106的一部分(下部分)，属于穿过第二本体101中空结构的第二部分。

附图1仅作为示意图，其可能对第二本体107和立杆104的连接部分有阻挡，但是并不用于限制他们的位置关系，以及第二本体107的具体大小，其可以比第一本体101的面积更大，并且立杆104也并非一定要紧贴第一本体101，可以根据实际要求进行位置调整。

当然，为了更近一步的提高第一本体101的抗变形能力，第一本体101的底面上设置有加强梁。该加强梁的设置原则是不影响第一通孔102和第二通孔103的开设，也不影响抛光组件的安装，其可以是在第一本体101底面背离中空部的一侧设置。

在一种实施例中，第一本体101和所述第二本体107之间设置有抛光盘，所述抛光盘上形成有贯通孔，以垂直所述第二本体107的方向做正投影，所述第一通孔102和所述第二通孔103的投影落入所述贯通孔的正投影的范围内。

本实用新型的抛光机，通过吊装组件实现了对第一本体101的固定，避免了使用支撑梁影响抛光组件数量和位置的设置，可以设置更多的抛光组件，有效的提高了抛光效率。

以上依据图式所示的实施例详细说明了本实用新型的构造、特征及作用效果，以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，但本实用新型不以图面所示限定实施范围，凡是依照本实用新型的构想所作的改变，或修改为等同变化的等效实施例，仍未超出说明书与图示所涵盖的精神时，均应在本实用新型的保护范围内。