物理气相沉积PVD设备的制作方法

本实用新型涉及光伏设备领域，特别涉及物理气相沉积PVD设备。

背景技术：

现在物理气相沉积PVD设备是用于对太阳能基板上涂覆薄膜的设备，在现有设备中，设备单面开腔，太阳能基板即卷材设置在门上，薄膜即靶材设置在腔体内，通过门密封腔体，再抽真空，让靶材的薄膜喷溅到卷材上，实现太阳能基板的镀膜。但现有的设备中，靶材上的薄膜用完，需要更换靶材时，操作人员需要进入腔体内更换，由于腔体内空间有限，操作人员进入腔体并携带更换设备进入腔体，较为麻烦，操作人员可操作的空间局限，操作不便。且为了让靶材固定到腔体内，需要在腔体内安装各种机构，导致腔体内部结构复杂，以后更换内部备件，同样操作空间较小，操作困难。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种物理气相沉积PVD设备，使得可在设备外部更换靶材，靶材更换更为便利，增大设备内的可操作空间，更换设备内部备件时操作方便。

为解决上述技术问题，本实用新型的实施方式提供了一种物理气相沉积PVD设备，包括：用于容纳卷材和靶材的容器，所述容器上开设用于所述靶材进出所述容器的第一开口；

第一门体，与所述容器可拆卸连接，封闭或打开所述第一开口；

若干个安装组件，环设于所述第一门体朝向所述容器的所述第一开口的一侧，用于安装靶材；

其中，安装在所述各所述安装组件上的靶材用于在所述第一门体封闭所述第一开口后，进入所述容器内，并环绕于所述卷材。

本实用新型实施方式相对于现有技术而言，由于容器上设有第一开口、第一门体和若干个安装组件，靶材通过若干个安装组件安装在第一门体上，从而在第一门体打开第一开口时，靶材可随着第一门体经过第一开口出移出容器，进而需要更换靶材可直接在容器外部更换，无需操作人员携带设备进入容器内，在外部更换靶材使得操作人员有足够的操作工件操作，且各操作所需的备件也放在外部，方便操作人员更换靶材。同时，用于靶材的一端设置在安装组件上，安装组件和靶材都可跟随第一本体离开容器，使得容器内部的结构变得简单清晰，从而需要对容器内部其他部件更换时，将安装组件和靶材远离容器，容器内部的可操作空间将会增大，内部其他备件也更为明显。此时，对容器内的其他备件更换时，即使操作人员进入容器内部，操作人员的可操作空间也会增加，使得操作人员操作更为便捷简单。

另外，各所述安装组件包括：

基座，设置在所述第一门体上，用于安装所述靶材；

驱动装置，设置在所述第一门体上并与所述靶材可拆卸连接，驱动所述靶材进行旋转。从而使得靶材实现转动，满足加工需求。

另外，所述基座包括：

第一基板，固设在所述第一门体上；

第二基板，与所述第一基板相对设置；

底板，连接所述第一基板和所述第二基板；

凸轴，可转动地设置在所述第二基板朝向所述第一基板的一侧；

所述驱动装置包括：

转轴，可转动地设置在所述第一基板上；

电机，设置在所述第一基板上，并与所述转轴固定连接，驱动所述转轴进行转动；

其中，所述凸轴和所述转轴同轴设置，且分别固定支撑所述靶材的两端。

另外，所述物理气相沉积PVD设备还包括：

第一门车，与所述第一门体固定连接，带动所述第一门体相对于所述容器的所述第一开口进行直线运动。从而可带动第一门体相对于容器的第一开口直线运动。

另外，所述物理气相沉积PVD设备还包括：

第一轨道，相对于所述容器的所述第一开口进行设置，所述第一门车可滑动地设置在所述第一轨道上。便于第一门车滑动。

另外，所述物理气相沉积PVD设备还包括：

驱动机构，与所述第一门车固定连接，驱动所述第一门车沿所述第一轨道进行滑动。通过驱动机构驱动第一门车滑动，更为节省人工。

另外，所述物理气相沉积PVD设备还包括：

配重车，与所述第一门体固定连接，可滑动地设置在所述第一轨道上，用于放置配重件。从而使得第一门体朝向第一开口的一侧和背离第一开口的一侧受力均匀，防止第一门体倾倒，歪斜。

另外，所述容器上开设有用于所述卷材进出所述容器的第二开口，所述第二开口与所述第一开口相对设置；

所述物理气相沉积PVD设备还包括：

第二门体，与所述容器可拆卸连接，封闭或打开所述第二开口；

安装架，设置于所述第二门体朝向所述容器的所述第二开口的一侧，用于安装所述卷材。

另外，所述物理气相沉积PVD设备还包括：

第二门车，与所述第二门体固定连接，带动所述第二门体相对于所述容器的所述第二开口进行直线运动。从而卷材也可在容器外部更换，更换更为便利。

另外，所述物理气相沉积PVD设备还包括：

第二轨道，相对于所述容器的所述第二开口进行设置，所述第二门车可滑动地设置在所述第二轨道上。便于第二门体相对于第二开口运动，节省人力。

附图说明

图1是本实用新型第一实施方式中物理气相沉积PVD设备的结构示意图；

图2是本实用新型第一实施方式中第一门体朝向第一开口一侧的结构示意图；

图3是本实用新型第一实施方式中第二门体朝向第二开口一侧的结构示意图；

图4是本实用新型第一实施方式中靶材安装在安装组件上的结构示意图；

图5是本实用新型第一实施方式中卷材安装在第二门体上的结构示意图；

图6是本实用新型第一实施方式中第一门车的结构示意图；

图7是本实用新型第一实施方式中第二门车的结构示意图；

图8是本实用新型第二实施方式中物理气相沉积PVD设备的结构示意图。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本实用新型的各实施方式进行详细的阐述。然而，本领域的普通技术人员可以理解，在本实用新型各实施方式中，为了使读者更好地理解本申请而提出了许多技术细节。但是，即使没有这些技术细节和基于以下各实施方式的种种变化和修改，也可以实现本申请各权利要求所要求保护的技术方案。

本实用新型的第一实施方式涉及一种物理气相沉积PVD设备，如图1和图2所示，包括用于容纳卷材1和靶材2的容器3、第一门体4和若干个安装组件5，容器3上开设用于靶材2进出容器3的第一开口6。第一门体4与容器3可拆卸连接，封闭或打开第一开口6。若干个安装组件5，环设于第一门体4朝向容器3的第一开口6的一侧，用于安装靶材2。安装在各安装组件5上的靶材2用于在第一门体4封闭第一开口6后，进入容器3内，并环绕于卷材1。在本实施方式中，安装组件5设有八个，靶材2也有八个，每个安装组件5上安装一个靶材2，需要更换靶材2时，拉动第一门体4，让第一本体远离第一开口6，使得靶材2和安装组件5一起随第一门体4离开容器3。

本实用新型实施方式相对于现有技术而言，由于容器3上设有第一开口6、第一门体4和若干个安装组件5，靶材2通过若干个安装组件5安装在第一门体4上，从而在第一门体4打开第一开口6时，靶材2可随着第一门体4经过第一开口6出移出容器3，进而需要更换靶材2可直接在容器3外部更换，无需操作人员携带设备进入容器3内，在外部更换靶材2使得操作人员有足够的操作工件操作，且各操作所需的备件也放在外部，方便操作人员更换靶材2。同时，用于靶材2的一端设置在安装组件5上，安装组件5和靶材2都可跟随第一本体离开容器3，使得容器3内部的结构变得简单清晰，从而需要对容器3内部其他部件更换时，将安装组件5和靶材2远离容器3，容器3内部的可操作空间将会增大，内部其他备件也更为明显。此时，对容器3内的其他备件更换时，即使操作人员进入容器3内部，操作人员的可操作空间也会增加，使得操作人员操作更为便捷简单。

进一步的，如图2和图4所示，各安装组件5包括基座和驱动装置，基座设置在第一门体4上，靶材2安装在基座上。驱动装置设置在第一门体4上并与靶材2可拆卸连接，驱动靶材2进行旋转。

具体的说，如图2和图4所示，基座包括第一基板51、第二基板52、凸轴53和底板54，第一基板51固设在第一门体4上，第二基板52与第一基板51相对设置，底板54连接第一基板51和第二基板52，凸轴53可转动地设置在第二基板52朝向第一基板51的一侧。驱动装置包括转轴55和电机56，转轴55可转动地设置在第一基板51上，电机56设置在第一基板51上，并与转轴55固定连接，驱动转轴55进行转动，凸轴53和转轴55同轴设置，且分别固定支撑靶材2的两端。靶材2设置在第一基板51和第二基板52之间，靶材2的一端可通过螺钉与凸轴53相固定，另一端也通过螺钉与转轴55相固定，电机56带动转轴55转动，转轴55带动靶材2和凸轴53转动，从而实现靶材2在第一基板51和第二基板52之间转动，需要取下靶材2时，将螺钉拧松，将靶材2从第一基板51和第二基板52之间取出。

更值得一提的是，如图1和图6所示，物理气相沉积PVD设备还包括第一门车7，与第一门体4固定连接，带动第一门体4相对于容器3的第一开口6进行直线运动。第一门车7包括第一车架71和第一滚轮72，第一机架与第一门体4相固定，第一机架的底端设置了多个第一滚轮72，推动第一门车7，第一滚轮72滚动，使得第一门体4轻松朝向或远离第一开口6的方向运动，从而可实现第一门体4相对于容器3的第一开口6直线运动。

另外，如图1和图6所示，物理气相沉积PVD设备还包括第一轨道8，相对于容器3的第一开口6进行设置，第一门车7可滑动地设置在第一轨道8上。在本实施方式中，在容器3底部设有承重底板9，承重底板9向第一开口6方向延伸，超过第一开口6所在的位置，承重底板9上设有第一轨道8，且第一轨道8的长度大于第一门体4和靶材2的整体长度，使得第一门体4带动靶材2全部离开容器3时，可一直沿第一轨道8滑动，直至靶材2完全在容器3的外界，使得第一门车7带动第一门体4的移动更为便捷便。

另外，如图1和图6所示，物理气相沉积PVD设备还包括驱动机构，与第一门车7固定连接，驱动第一门车7沿第一轨道8进行滑动。在本实施方式中，驱动机构包括是第一电机10和与第一电机10相连的第一连轴11，第一连轴11连接第一滚轮72，第一电机10驱动第一连轴11转动，第一连轴11带动第一滚轮72，使得第一滚轮72转动，第一滚轮72转动后沿第一轨道8滚动，带动第一门车7一起运动。通过驱动机构驱动第一门车7滑动，更为节省人工。

同时，如图1、图3和图5所示，容器3上开设有用于卷材1进出容器3的第二开口12，第二开口12与第一开口6相对设置。物理气相沉积PVD设备还包括第二门体13和安装架14，第二门体13与容器3可拆卸连接，封闭或打开第二开口12。安装架14设置于第二门体13朝向容器3的第二开口12的一侧，用于安装卷材1。从而卷材1也可在容器3外部更换，更换更为便利。

另外，如图1和图7所示，物理气相沉积PVD设备还包括第二门车15，与第二门体13固定连接，带动第二门体13相对于容器3的第二开口12进行直线运动。第二门车15的结构与第一门车7的结构相同，包括第二车架151和第二滚轮152，第二车架151与第二门体13相固定，第二车架151的底端设置了多个第二滚轮152，推动第一门车7，第二滚轮152滚动，使得第二门体13轻松朝向或远离第二开口12的方向运动，从而可实现第二门体13相对于容器3的第二开口12直线运动。

另外，如图1和图7所示，物理气相沉积PVD设备还包括第二轨道16，相对于容器3的第二开口12进行设置，第二门车15可滑动地设置在第二轨道16上。便于第二门体13相对于第二开口12运动，节省人力。也就是在本实施方式中，承重底板9部分朝向第二开口12方向延伸，远离容器3，第二轨道16设置在承重底板9上，从第二开口12处向远离容器3的方向延伸，第二门体13带动卷材1通过第二开口12到容器3外部时，第二门车15一直沿轨道滑动，直至卷材1全部位于容器3外，方便对卷材1的更换，使得第二门车15带动第一门体4的移动更为便捷便。在实际使用时，设有第二电机17和第二连轴18，第二连轴18连接第二滚轮152，第二电机17连接第二连轴18，驱动第二连轴18转动，第二连轴18带动第二滚轮152转动，沿第二轨道16滑动，带动第二门体13一起运动，更为节省人工。

本实用新型的第二实施方式涉及一种物理气相沉积PVD设备。第二实施方式与第一实施方式大致相同，主要区别之处在于：在第一实施方式中，无配重车。而在本实用新型的第二实施方式中，如图8所示，物理气相沉积PVD设备还包括配重车19，与第一门体4固定连接，可滑动地设置在第一轨道8上，用于放置配重件20。从而使得第一门体4朝向第一开口6的一侧和背离第一开口6的一侧受力均匀，防止第一门体4倾倒，歪斜。同样的第二门体13背离第二开口12的一侧也设有配重车21，配重车沿第二轨道16滑动，在配重车21上放置配重件22，使得第二门体13两侧受力均匀，不会倾倒歪斜。

本领域的普通技术人员可以理解，上述各实施方式是实现本实用新型的具体实施例，而在实际应用中，可以在形式上和细节上对其作各种改变，而不偏离本实用新型的精神和范围。