1.一种加热分区装置,其特征在于,包括:腔室和设置于所述腔室内的加热模块,所述加热模块包括至少一个加热分区,每个所述加热分区包括相对所述腔室对称设置的两个加热单元,所述两个加热单元分别与一个温度控制器连接。
2.根据权利要求1所述的加热分区装置,其特征在于,所述加热模块位于所述腔室内下部的中心位置。
3.根据权利要求1所述的加热分区装置,其特征在于,所述两个加热单元分别包括n个加热元件,所述n为大于等于1的正整数;所述加热元件为加热灯管。
4.根据权利要求1所述的加热分区装置,其特征在于,还包括感温模块,所述感温模块用于采集控温点的温度。
5.根据权利要求4所述的加热分区装置,其特征在于,所述感温模块为红外测温仪。
6.根据权利要求1所述的加热分区装置,其特征在于,所述加热模块的加热分区内的加热元件采用并联的方式进行连接。
7.根据权利要求1所述的加热分区装置,其特征在于,所述装置还包括辅助加热模块。
8.根据权利要求7所述的加热分区装置,其特征在于,所述辅助加热模块包括至少一个加热分区,每个所述加热分区包括相对所述腔室对称设置的两个加热单元,所述两个加热单元分别与一个温度控制器连接;
所述两个加热单元分别包括m个加热元件,所述m为大于等于1的正整数;
所述加热元件为加热灯管。
9.根据权利要求3所述的加热分区装置,其特征在于,所述加热模块包括20根并向排列的所述加热灯管,包括至少一个加热分区,每个所述加热分区包括相对所述腔室对称设置的两个加热单元,所述两个加热单元分别与一个温度控制器连接。
10.一种MOCVD装置,其特征在于,包括采用如权利要求1-9任一项的分区方法进行分区的所述加热模块。