一种加热分区装置的制作方法

文档序号:18727335发布日期:2019-09-20 23:02阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种加热分区装置,其特征在于,包括:腔室和设置于所述腔室内的加热模块,所述加热模块包括至少一个加热分区,每个所述加热分区包括相对所述腔室对称设置的两个加热单元,所述两个加热单元分别与一个温度控制器连接。

2.根据权利要求1所述的加热分区装置,其特征在于,所述加热模块位于所述腔室内下部的中心位置。

3.根据权利要求1所述的加热分区装置,其特征在于,所述两个加热单元分别包括n个加热元件,所述n为大于等于1的正整数;所述加热元件为加热灯管。

4.根据权利要求1所述的加热分区装置,其特征在于,还包括感温模块,所述感温模块用于采集控温点的温度。

5.根据权利要求4所述的加热分区装置,其特征在于,所述感温模块为红外测温仪。

6.根据权利要求1所述的加热分区装置,其特征在于,所述加热模块的加热分区内的加热元件采用并联的方式进行连接。

7.根据权利要求1所述的加热分区装置,其特征在于,所述装置还包括辅助加热模块。

8.根据权利要求7所述的加热分区装置,其特征在于,所述辅助加热模块包括至少一个加热分区,每个所述加热分区包括相对所述腔室对称设置的两个加热单元,所述两个加热单元分别与一个温度控制器连接;

所述两个加热单元分别包括m个加热元件,所述m为大于等于1的正整数;

所述加热元件为加热灯管。

9.根据权利要求3所述的加热分区装置,其特征在于,所述加热模块包括20根并向排列的所述加热灯管,包括至少一个加热分区,每个所述加热分区包括相对所述腔室对称设置的两个加热单元,所述两个加热单元分别与一个温度控制器连接。

10.一种MOCVD装置,其特征在于,包括采用如权利要求1-9任一项的分区方法进行分区的所述加热模块。

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