一种用于管靶绑定的装置的制作方法

本实用新型涉及管靶绑定技术领域，具体涉及一种用于管靶绑定的装置。

背景技术：

靶材产品主要分为平面靶和管靶。与平面靶材相比，管靶材具有利用率高、镀膜连续性好、镀膜成分均匀等优点，是理想的溅射靶材，市场需求量巨大。随着镀膜行业从使用平面靶材向使用旋转管靶材转变，管靶材正在成为磁控溅射设备的标准选材。管靶的一种生产方法是先通过冷等静压成形然后通过烧结进行致密化，最后将烧结后的管坯料套在背管外表面，在二者的装配间隙中浇灌熔融的铟等低熔点金属密封，实现管坯料与背管的绑定。在密封和绑定过程中，需要将管靶的位置固定，否则影响密封和绑定的质量，影响合格率。

公告号为CN207577713U的专利公开了一种旋转靶材绑定固定装置，包括旋转靶材、金属管，旋转靶材套设于金属管外，旋转靶材与金属管之间形成浇筑腔体，浇注腔体两端口设有密封块，密封块插设有用于对浇注腔体内的金属填料进行电弧加热的第一电极；金属管内穿设有加热管，加热管端部密封，加热管的端部设有用于对加热管内的金属填料进行电弧加热的第二电极。该实用新型没有对靶材进行很好的固定，在浇筑和密封过程中，靶材位置容易移动，影响产品的合格率。

技术实现要素：

有鉴于此，本实用新型提供了一种用于管靶绑定的装置，将待绑定的管靶垂直放入定位块上，通过压力缸施加压力对管靶进行固定，绑定完成后，能将定位块内部残留的杂质彻底清理干净，解决了以往管靶绑定过程中，管靶固定不牢固，密封、绑定合格率低，效率低的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型所采取的技术方案是：

一种用于管靶绑定的装置，包括支撑机构、设置在所述支撑机构上部的加压机构和设置在所述支撑机构下部的定位机构；所述支撑机构包括支撑板和设置在所述支撑板下部的若干个立柱；所述加压机构包括设置在所述支撑板上的压力缸；所述定位机构包括底座和设置在所述底座上的定位块；所述定位块上设有与靶材直径相匹配的第一通孔。

进一步的，所述支撑板上设置第二通孔，所述压力缸的活塞杆穿过所述第二通孔，所述活塞杆的端部设置与所述靶材直径相匹配的压头。

进一步的，所述压力缸为气压缸。

进一步的，所述定位块为矩形，所述定位块的中间部位设置分割线，所述分割线将所述定位块沿所述第一通孔的直径垂直分割成两部分。

进一步的，所述定位块上与所述分割线垂直的两侧设置限位块。

进一步的，所述支撑板的上部设置若干个支撑杆，所述支撑杆的端部设置顶板。

本实用新型的有益效果是：本实用新型包括支撑机构、加压机构和定位机构。支撑机构包括支撑板和设置在支撑板下部的若干个立柱，立柱的高度大于管靶的高度。加压机构包括设置在支撑板上部的压力缸，支撑板上设置第二通孔，压力缸的活塞杆穿过第二通孔，活塞杆的端部设置与靶材直径相匹配的压头。定位机构包括底座和设置在底座上的定位块；定位块上设有与靶材直径相匹配的第一通孔。使用时，将管靶垂直放入定位块的第一通孔内，启动压力缸，活塞杆端部的压头，压紧管靶，即可对管靶进行密封，绑定。

压力缸优选为气压缸，质轻，性能平稳。定位块为矩形，定位块的中间部位设置分割线，分割线将定位块沿第一通孔的直径垂直分割成两部分。定位块上与分割线垂直的两侧设置限位块，限位块与定位块之间通过螺栓连接。管靶绑定结束后，可将限位块与定位块拆卸，便于清理密封，绑定过程中残存在定位块内部的杂质。支撑板的上部设置若干个支撑杆，支撑杆的端部设置顶板，对压力缸进行保护。

本实用新型将待绑定的管靶垂直放入定位块的第一通孔内，通过压力缸施加压力对管靶进行固定，绑定完成后，能将定位块内部残留的杂质彻底清理干净，解决了以往管靶绑定过程中，管靶固定不牢固，密封、绑定合格率低，效率低的问题。本实用新型结构简单，使用方便，结构稳定，大大提高了管靶绑定的合格率和工作效率。

附图说明

下面结合附图对本实用新型作进一步的详细说明。

图1是本实用新型实施例一用于管靶绑定的装置的主视图。

图2是本实用新型实施例一定位块的俯视图。

图3是本实用新型实施例二用于管靶绑定的装置的主视图。

图4是本实用新型实施例二定位块的俯视图。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例的附图1-4，对本实用新型实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本实用新型的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例一

如图1-2所示，该实施例提供了一种用于管靶绑定的装置，包括支撑机构、设置在所述支撑机构上部的加压机构和设置在所述支撑机构下部的定位机构；所述支撑机构包括支撑板2和设置在所述支撑板2下部的若干个立柱3；所述加压机构包括设置在所述支撑板2上的压力缸1；所述定位机构包括底座8和设置在所述底座8上的定位块4；所述定位块4上设有与靶材直径相匹配的第一通孔9。

所述支撑板2上设置第二通孔，所述压力缸1的活塞杆5穿过所述第二通孔，所述活塞杆5的端部设置与所述靶材直径相匹配的压头6。所述定位块4为矩形，所述定位块4的中间部位设置分割线，所述分割线将所述定位块4沿所述第一通孔9的直径垂直分割成两部分。所述定位块4上与所述分割线垂直的两侧设置限位块7。

其中，本实施例中，压力缸1为气压缸。立柱3为两个，高度大于管靶的高度。当然，为了便于满足不同高度的管靶的使用需求，可将立柱3的上部的一段设置为拼接的连接方式，支撑板2与立柱3之间通过可拆卸的螺栓连接。限位块7与定位块4之间也是通过螺栓连接。第一通孔9和压头6的内部设置为台阶的结构，便于安放管靶的外管与内部的背管。第一通孔9内设置垫圈，保护管靶，防止碰伤，同时增强密封效果。底座8的下部设置支脚，方便搬运。底座8和定位块4位于两个立柱3之间，与压头6的位置相对应。

使用时，将管靶垂直放入定位块4的第一通孔9内，启动压力缸1，活塞杆5下降，压头6压紧管靶，即可对管靶进行密封，绑定。管靶绑定结束后，将限位块7与定位块4拆卸，清理密封，绑定过程中残存在定位块内部的杂质。

实施例二

参阅图3-4，该实施例提供了一种用于管靶绑定的装置，是在实施例一的基础上进行的改进：所述支撑板2的上部设置若干个支撑杆10，所述支撑杆10的端部设置顶板11。定位块4上，与限位块7垂直的两侧设置固定块11。

本实施例中，支撑杆10的个数为四个，支撑杆10的端部通过螺栓连接顶板11，对压力缸1进行保护。固定块11通过螺栓与定位块4和限位块7连接，加强对限位块7和定位块4的固定，使结构更加牢固。

以上所述是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型所述原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。