技术特征：
技术总结
本发明公开了一种大幅面真空吸盘平面度加工方法及系统，属于零件加工技术领域，将待加工大幅面真空吸盘安装在精密定位运动平台的底座上，精密定位运动平台上安装测距仪和用于进行平面度加工的加工系统，移动精密定位运动平台，利用测距仪测得大幅面真空吸盘各坐标点的距离数据；利用距离数据拟合出所述大幅面真空吸盘的二维平面度曲线；以二维平面度曲线中平面度最低的坐标点为基准点，平面度高于基准点平面的坐标点为待加工点；利用加工系统将待加工点的平面度值加工至基准点的平面度值。本发明使用精密定位运动平台进行测量和加工，操作简单和高效，测量精度高，加工范围宽，成本低，可以有效加工出高精度的大幅面真空吸盘平面度。
技术研发人员：李辉;李香滨
受保护的技术使用者：合肥芯碁微电子装备有限公司
技术研发日：2019.01.31
技术公布日：2019.05.10