一种用于压电陶瓷生产的高效型真空镀膜设备的制作方法

本发明涉及新材料生产设备领域，特别涉及一种用于压电陶瓷生产的高效型真空镀膜设备。

背景技术：

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，mbe分子束外延，pld激光溅射沉积等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种，真空镀膜机作为新材料生产设备的一种，在压电陶瓷设置导电电极的过程中起到了重要的作用。

现有技术的真空镀膜机在使用的过程中，镀膜材料会在真空镀膜机的内部四处扩散，致使镀膜材料覆盖在真空镀膜机的内壁上，则经过长久积累的镀膜材料将会影响真空镀膜机内部的镀膜环境，降低了真空镀膜机的实用性，不仅如此，现有技术的真空镀膜机单次只能对单个工件进行镀膜，则降低了真空镀膜机的工作效率。

技术实现要素：

本发明要解决的技术问题是：为了克服现有技术的不足，提供一种用于压电陶瓷生产的高效型真空镀膜设备。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种用于压电陶瓷生产的高效型真空镀膜设备，包括主体，所述主体的形状为圆柱形，所述主体的内部设有空腔，还包括支撑机构和清洁机构，所述支撑机构和清洁机构均设置在主体的内部；

所述支撑机构包括驱动组件、转动轴、环形齿轮和至少两个连接组件，所述转动轴、环形齿轮与主体同轴设置，所述转动轴的两端均通过轴承与主体的内壁连接，所述驱动组件固定在主体的内壁上，所述驱动组件与转动轴连接，所述环形齿轮固定在主体的远离驱动组件的一侧的内壁上，各连接组件绕着转动轴的中心轴线周向均匀设置在转动轴的外周上；

所述连接组件包括第一齿轮、升降板、两个第二支撑杆、两个弹簧和两个连接单元，所述连接单元设置在转动轴的一端，所述第二支撑杆与转动轴平行，所述第二支撑杆设置在两个连接单元之间，所述升降板与第二支撑杆垂直，所述升降板的两端均设有安装孔，所述第二支撑杆穿过升降板，所述弹簧套设在第二支撑杆上，所述第二支撑杆的靠近环形齿轮的一端通过弹簧与升降板固定连接，所述弹簧处于拉伸状态，所述第一齿轮设置在两个连接单元中靠近环形齿轮的一个连接单元上，所述第一齿轮设置在环形齿轮的内部，所述第一齿轮与环形齿轮啮合；

所述清洁机构包括升降环、清洁条和至少两个动力组件，所述升降环与主体同轴设置，所述升降环设置在主体的内部，所述清洁条周向设置在升降环的外周上，所述清洁条抵靠在主体的内壁上，各动力组件绕着主体的中心轴线周向均匀设置，所述动力组件与主体的四周的内壁固定连接，所述动力组件与升降环连接。

作为优选，为了提高真空镀膜机的自动化程度，所述主体的一侧设有中控面板，所述中控面板的内部设有无线信号收发模块和处理器，所述无线信号收发模块与处理器电连接。

作为优选，为了给转动轴提供动力，所述驱动组件包括第一电机、第三齿轮和第二齿轮，所述第二齿轮套设在转动轴的远离环形齿轮的一端上，所述第一电机固定在主体的远离环形齿轮的一侧的内壁上，所述第一电机与第三齿轮传动连接，所述第三齿轮与第二齿轮啮合。

作为优选，为了提高第二支撑杆的稳定性，所述连接单元包括支撑板、第一支撑杆、连接套管和连接轴，所述第一支撑杆与转动轴的中心轴线垂直且相交，所述第一支撑杆固定在转动轴的一端上，所述连接套管的中心轴线与转动轴平行，所述连接套管固定在第一支撑杆的远离转动轴的一端上，所述连接轴与连接套管同轴设置，所述连接轴穿过连接套管，所述支撑板与转动轴垂直，所述连接轴的靠近第二支撑杆的一端与支撑板的中心处固定连接，所述第二支撑杆的一端支撑板的一端固定连接，所述第一齿轮与连接轴同轴设置，所述第一齿轮固定在其中一个连接轴的远离第二支撑杆的一端上。

作为优选，为了给升降环提供动力，所述动力组件包括丝杆、第二电机、第四齿轮和第五齿轮，所述丝杆与主体的中心轴线平行，所述丝杆的两端均通过轴承与主体的内壁连接，所述第五齿轮套设在丝杆的一端上，所述第二电机固定在主体的内壁上，所述第二电机与第四齿轮传动连接，所述第四齿轮与第五齿轮啮合，所述升降环上设有连接孔，所述丝杆穿过升降环，所述丝杆与升降环螺纹连接。

作为优选，为了提高清洁条的稳定性，所述升降环的外周上设有环形槽，所述清洁条设置在环形槽的内部。

作为优选，为了提高对转动轴转动速度控制的精确度，所述第一电机为伺服电机。

作为优选，为了提高升降环移动的顺畅度，所述丝杆上涂有润滑脂。

作为优选，为了提高升降环的稳定性，所述丝杆的一侧设有滑杆，所述滑杆与丝杆平行，所述滑杆的两端均与主体的内壁固定连接，所述滑杆穿过升降环，所述升降环与滑杆滑动连接。

作为优选，为了提高清洁条的清洁效果，所述清洁条的制作材料为橡胶。

本发明的有益效果是，该用于压电陶瓷生产的高效型真空镀膜设备中，通过支撑机构可以单次固定多个工件，同时驱动工件转动，则使真空镀膜机可以一次对多个工件同时进行镀膜，则提高了真空镀膜机的工作效率，与现有支撑机构相比，该支撑机构在驱动工件绕着转动轴公转的同时，还可以发生自转，则提高了工件镀膜的均匀度，提高了真空镀膜机的实用性，不仅如此，通过清洁机构可以驱动升降环升降，则通过清洁条对真空镀膜机的内壁进行清洁，则提高了真空镀膜机的实用性，与现有清洁机构相比，该清洁机构结构简单，减少了该机构故障点的数量，降低了该机构发生故障的几率。

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。

图1是本发明的用于压电陶瓷生产的高效型真空镀膜设备的结构示意图；

图2是本发明的用于压电陶瓷生产的高效型真空镀膜设备的支撑机构的结构示意图；

图3是本发明的用于压电陶瓷生产的高效型真空镀膜设备的连接组件的结构示意图；

图4是本发明的用于压电陶瓷生产的高效型真空镀膜设备的清洁机构的结构示意图；

图中：1.主体，2.连接套管，3.第一支撑杆，4.转动轴，5.第一电机，6.支撑板，7.升降板，8.滑杆，9.丝杆，10.第一齿轮，11.升降环，12.第二支撑杆，13.连接轴，14.环形齿轮，15.第二齿轮，16.第三齿轮，17.弹簧，18.第二电机，19.第四齿轮，20.第五齿轮，21.清洁条。

具体实施方式

现在结合附图对本发明作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本发明的基本结构，因此其仅显示与本发明有关的构成。

如图1所示，一种用于压电陶瓷生产的高效型真空镀膜设备，包括主体1，所述主体1的形状为圆柱形，所述主体1的内部设有空腔，还包括支撑机构和清洁机构，所述支撑机构和清洁机构均设置在主体1的内部；

通过支撑机构可以单次固定多个工件，同时驱动工件转动，则使真空镀膜机可以一次对多个工件同时进行镀膜，则提高了真空镀膜机的工作效率，同时通过清洁机构可以对真空镀膜机的内壁进行清洁，则提高了真空镀膜机的实用性；

如图2所示，所述支撑机构包括驱动组件、转动轴4、环形齿轮14和至少两个连接组件，所述转动轴4、环形齿轮14与主体1同轴设置，所述转动轴4的两端均通过轴承与主体1的内壁连接，所述驱动组件固定在主体1的内壁上，所述驱动组件与转动轴4连接，所述环形齿轮14固定在主体1的远离驱动组件的一侧的内壁上，各连接组件绕着转动轴4的中心轴线周向均匀设置在转动轴4的外周上；

如图3所示，所述连接组件包括第一齿轮10、升降板7、两个第二支撑杆12、两个弹簧17和两个连接单元，所述连接单元设置在转动轴4的一端，所述第二支撑杆12与转动轴4平行，所述第二支撑杆12设置在两个连接单元之间，所述升降板7与第二支撑杆12垂直，所述升降板7的两端均设有安装孔，所述第二支撑杆12穿过升降板7，所述弹簧17套设在第二支撑杆12上，所述第二支撑杆12的靠近环形齿轮14的一端通过弹簧17与升降板7固定连接，所述弹簧17处于拉伸状态，所述第一齿轮10设置在两个连接单元中靠近环形齿轮14的一个连接单元上，所述第一齿轮10设置在环形齿轮14的内部，所述第一齿轮10与环形齿轮14啮合；

在连接单元的连接作用下，提高了第二支撑杆12的稳定性，之后操作人员将工件放置到升降板7与靠近环形齿轮14的一个连接单元之间，则在弹簧17的作用下，驱动升降板7移动，则在升降板7与连接单元的夹持作用下，提高了工件的稳定性，之后通过驱动组件提供动力，驱动转动轴4转动，则在转动轴4的作用下驱动工件绕着转动轴4转动，同时在第一齿轮10与环形齿轮14的作用下，使工件在绕着转动轴4转动的同时发生自转，则提高了对工件镀膜的均匀度，通过对多个工件同时进行镀膜，提高了真空镀膜机的工作效率；

如图4所示，所述清洁机构包括升降环11、清洁条21和至少两个动力组件，所述升降环11与主体1同轴设置，所述升降环11设置在主体1的内部，所述清洁条21周向设置在升降环11的外周上，所述清洁条21抵靠在主体1的内壁上，各动力组件绕着主体1的中心轴线周向均匀设置，所述动力组件与主体1的四周的内壁固定连接，所述动力组件与升降环11连接；

通过动力组件提供动力，驱动升降环11沿着主体1的轴线上下移动，则在升降环11升降的过程中，通过清洁条21对主体1的内壁进行清洁，则提高了真空镀膜机的清洁度，提高了真空镀膜机的实用性。

作为优选，为了提高真空镀膜机的自动化程度，所述主体1的一侧设有中控面板，所述中控面板的内部设有无线信号收发模块和处理器，所述无线信号收发模块与处理器电连接；

通过无线信号收发模块使处理器可以与移动设备建立通讯，之后通过移动设备远程读取真空镀膜机的工作参数，则提高了真空镀膜机的自动化程度。

如图2所示，所述驱动组件包括第一电机5、第三齿轮16和第二齿轮15，所述第二齿轮15套设在转动轴4的远离环形齿轮14的一端上，所述第一电机5固定在主体1的远离环形齿轮14的一侧的内壁上，所述第一电机5与第三齿轮16传动连接，所述第三齿轮16与第二齿轮15啮合；

通过第一电机5驱动第三齿轮16转动，则通过第三齿轮16驱动第二齿轮15转动，则通过第二齿轮15驱动转动轴4转动。

如图3所示，所述连接单元包括支撑板6、第一支撑杆3、连接套管2和连接轴13、所述第一支撑杆3与转动轴4的中心轴线垂直且相交，所述第一支撑杆3固定在转动轴4的一端上，所述连接套管2的中心轴线与转动轴4平行，所述连接套管2固定在第一支撑杆3的远离转动轴4的一端上，所述连接轴13与连接套管2同轴设置，所述连接轴13穿过连接套管2，所述支撑板6与转动轴4垂直，所述连接轴13的靠近第二支撑杆12的一端与支撑板6的中心处固定连接，所述第二支撑杆12的一端支撑板6的一端固定连接，所述第一齿轮10与连接轴13同轴设置，所述第一齿轮10固定在其中一个连接轴13的远离第二支撑杆12的一端上；

在第一支撑杆3的支撑作用下，提高了连接套管2的稳定性，则在连接套管2的作用下，通过连接轴13不仅提高了支撑板6的稳定性，在支撑板6绕着转动轴4转动的同时，通过环形齿轮14驱动第一齿轮10转动，则通过第一齿轮10驱动其中一个连接轴13转动，则通过连接轴13驱动两个支撑板6自转，则实现了工件的自转。

如图4所示，所述动力组件包括丝杆9、第二电机18、第四齿轮19和第五齿轮20，所述丝杆9与主体1的中心轴线平行，所述丝杆9的两端均通过轴承与主体1的内壁连接，所述第五齿轮20套设在丝杆9的一端上，所述第二电机18固定在主体1的内壁上，所述第二电机18与第四齿轮19传动连接，所述第四齿轮19与第五齿轮20啮合，所述升降环11上设有连接孔，所述丝杆9穿过升降环11，所述丝杆9与升降环11螺纹连接；

通过第二电机18驱动第四齿轮19转动，则在第五齿轮20的传动作用下，通过第四齿轮19驱动丝杆9转动，则通过丝杆9驱动升降环11升降。

作为优选，为了提高清洁条21的稳定性，所述升降环11的外周上设有环形槽，所述清洁条21设置在环形槽的内部；

通过环形槽的限位作用，提高了清洁条21的稳定性。

作为优选，为了提高对转动轴4转动速度控制的精确度，所述第一电机5为伺服电机。

作为优选，为了提高升降环11移动的顺畅度，所述丝杆9上涂有润滑脂；

通过润滑脂减小了升降环11与丝杆9之间的摩擦力，则提高了升降环11移动的顺畅度。

作为优选，为了提高升降环11的稳定性，所述丝杆9的一侧设有滑杆8，所述滑杆8与丝杆9平行，所述滑杆8的两端均与主体1的内壁固定连接，所述滑杆8穿过升降环11，所述升降环11与滑杆8滑动连接；

通过滑杆8对升降环11的支撑作用，提高了支撑环11的稳定性，同时在滑杆8的导向作用下，提高了支撑环11升降的稳定性。

作为优选，为了提高清洁条21的清洁效果，所述清洁条21的制作材料为橡胶；

由于橡胶的质地较为柔软，则减小了清洁条21与主体1的内壁之间的间隙，提高了清洁条21的清洁效果。

操作人员将工件放置到升降板7与靠近环形齿轮14的一个连接单元之间，则在升降板7与连接单元的夹持作用下，提高了工件的稳定性，之后通过驱动组件提供动力，驱动工件绕着转动轴4转动，同时在第一齿轮10与环形齿轮14的作用下，使工件在绕着转动轴4转动的同时发生自转，则提高了对工件镀膜的均匀度，通过对多个工件同时进行镀膜，提高了真空镀膜机的工作效率，通过动力组件提供动力，驱动升降环11沿着主体1的轴线上下移动，则在升降环11升降的过程中，通过清洁条21对主体1的内壁进行清洁，则提高了真空镀膜机的清洁度，提高了真空镀膜机的实用性。

与现有技术相比，该用于压电陶瓷生产的高效型真空镀膜设备中，通过支撑机构可以单次固定多个工件，同时驱动工件转动，则使真空镀膜机可以一次对多个工件同时进行镀膜，则提高了真空镀膜机的工作效率，与现有支撑机构相比，该支撑机构在驱动工件绕着转动轴4公转的同时，还可以发生自转，则提高了工件镀膜的均匀度，提高了真空镀膜机的实用性，不仅如此，通过清洁机构可以驱动升降环11升降，则通过清洁条21对真空镀膜机的内壁进行清洁，则提高了真空镀膜机的实用性，与现有清洁机构相比，该清洁机构结构简单，减少了该机构故障点的数量，降低了该机构发生故障的几率。

以上述依据本发明的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项发明技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项发明的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。