一种真空镀膜机的制作方法

文档序号:18009992发布日期:2019-06-25 23:54阅读:129来源:国知局
一种真空镀膜机的制作方法

本发明涉及镀膜机相关技术领域,具体为一种真空镀膜机。



背景技术:

真空镀膜机的种类多种多样,因为其采用的镀膜原理各不相同,包括真空离子蒸发、磁控溅射、mbe分子束外延、pld激光溅射沉积等,主要思路是分成蒸发和溅射两种,所以只能根据不同的产品特性选择不同类型的镀膜机,而且为了提高一些产品表面的光滑度和硬度,使其具有金属光泽,装饰性好的优点,那么常常通过真空镀膜的方式可以使硬度及耐磨性大大增加,提高耐候性,在目前的市场上应用广泛,具有十分重要的意义。

但是现有的真空镀膜机在使用过程中存在着以下问题:无法了解控制罩体内的真空状态,且没有对罩体的清洗装置;对镀件镀膜的操作不够连续,需要依次进行镀膜,效率低下,而且需要将罩体反复打开,影响真空环境;装置的密封性容易出现问题,而且不方便进行安装拆卸,扩散泵与机械泵配合机构不够合理,影响了镀膜效果。



技术实现要素:

本发明的目的在于提供一种真空镀膜机,以解决上述背景技术中提出的无法了解控制罩体内的真空状态,且没有对罩体的清洗装置;对镀件镀膜的操作不够连续,需要依次进行镀膜,效率低下,而且需要将罩体反复打开,影响真空环境;装置的密封性容易出现问题,而且不方便进行安装拆卸,扩散泵与机械泵配合机构不够合理,影响了镀膜效果的问题。

为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种真空镀膜机,包括底板、扩散泵和机械泵,所述底板的下端表面左右两侧均固定安装有支架,且底板的上表面通过螺栓安装连接有罩体,所述罩体的内部左侧设置有真空计,且真空计贯穿在底板的内部,所述罩体的内部右侧设置有放气阀,且放气阀贯穿设置在底板的内部,所述罩体的内部左右两侧均设置有电动伸缩杆,且电动伸缩杆的顶端固定安装有蒸发电极,所述电动伸缩杆的上端外表面等间距固定连接有待镀金属,且电动伸缩杆的底端固定在支架的内表面,所述电动伸缩杆的内侧设置有框体,且框体的上端贯穿在底板的内部,所述框体的右侧表面固定安装有电机,且电机的上安装连接有连动结构,所述连动结构上安装连接有固定盘,且固定盘的外表面等间距固定安装有夹持结构,并且夹持结构的内部设置有镀件,所述底板的上表面右侧固定安装有储液箱,且储液箱的右端固定连接有入料口,所述入料口的内部上端安装有第一过滤网,且第一过滤网的下端设置有第二过滤网,所述储液箱的后侧连接有增压泵,且增压泵的上端连接有导流管,所述导流管的左端安装连接有喷头,且喷头固定在罩体上端内部,所述框体的后侧设置有第一连接管,且第一连接管的上端贯穿连接在底板的内部,所述第一连接管的右端连接有第二连接管,所述扩散泵固定连接在第一连接管的下端,且扩散泵的下端内部设置有加热丝,并且加热丝的下端通过电性连接有加热器,所述加热丝的右侧贯穿连接有第三连接管,且第三连接管和第二连接管的右侧均连接有第四连接管,所述机械泵固定连接在第四连接管的右端。

优选的,所述罩体在底板上为拆卸结构,且支架关于底板的中轴线对称设置有2组,并且支架呈“l”字型结构。

优选的,所述真空计和放气阀的上端均凸出底板的上表面,且真空计和放气阀关于罩体的中轴线对称设置。

优选的,所述电动伸缩杆和蒸发电极均关于罩体的中轴线对称设置有2组,且蒸发电极和待镀金属在罩体的内侧均为升降结构,并且待镀金属等间距设置有4组。

优选的,所述连动结构包括第一转盘、第二转盘和拨杆,第一转盘的下端紧密贴合设置有第二转盘,且第二转盘的中心固定安装有拨杆。

优选的,所述第一转盘和第二转盘构成槽轮机构,且第一转盘、第二转盘、固定盘和夹持结构构成连动结构,并且夹持结构关于固定盘的中心对称设置有4组。

优选的,所述夹持结构包括连接杆、夹杆和弹簧,连接杆的左右两侧均活动连接有夹杆,夹杆的下端外侧紧密贴合设置有弹簧。

优选的,所述夹杆在连接杆上为伸缩结构,且夹杆呈“u”字型结构,并且连接杆呈“t”字型结构。

优选的,所述入料口呈“l”字型结构,且第一过滤网和第二过滤网在入料口的内部平行设置,并且第一过滤网的孔径尺寸大于第二过滤网的孔径尺寸。

优选的,所述第一连接管的上端位于罩体的内部,且第一连接管和第二连接管相互垂直连接,并且第二连接管和第三连接管的右端均与第四连接管相连接。

与现有技术相比,本发明的有益效果是:该真空镀膜机,可以通过真空计了解控制罩体内的真空状态,且有对罩体的清洗装置,对镀件镀膜的操作比较连续,可以连续进行镀膜,效率高,而且不需要将罩体反复打开,影响了真空环境,装置的密封性较好,而且方便进行安装拆卸,扩散泵与机械泵配合机构设计合理,增加了镀膜效果;

1、通过设置有真空计、放气阀和电动伸缩杆,通过真空计的作用及时了解罩体内部的真空状态,且通过放气阀的作用调配罩体的真空状态,方便进行拆卸工作,且通过2组电动伸缩杆的伸缩作用带动待镀金属完成镀膜动作;

2、通过设置有连动结构和夹持结构,通过连动结构的活动机构,方便带动固定盘和4组夹持结构规律性转动,从而可以同时且连续的对多组夹持结构上的镀件进行镀膜操作,减少罩体的拆卸步骤和抽真空操作,提高工作效率;

3、通过设置有储液箱、增压泵和喷头,通过增压泵的作用将储液箱内部的清洗液通过导流管和喷头喷向罩体的内表面,可以对拆卸后的罩体直接进行清洗,方便再次使用,提高工作效率;

4、通过设置有扩散泵、加热丝和机械泵,在扩散泵的内部插入多组加热加热丝,提高传热效率,缩短预热时间,再通过机械泵的配合增加对镀件的镀膜效果,并且通过调节不同的阀的关闭,控制扩散泵和机械泵的相互作用,达到不同的作用。

附图说明

图1为本发明正视剖面结构示意图;

图2为本发明图1中a处放大结构示意图;

图3为本发明图1中b处放大结构示意图;

图4为本发明活动组结构示意图;

图5为本发明夹持结构的侧视结构示意图;

图6为本发明固定盘和连接杆连接的侧视结构示意图。

图中:1、底板;2、支架;3、罩体;4、真空计;5、放气阀;6、电动伸缩杆;7、蒸发电极;8、待镀金属;9、框体;10、电机;11、活动组;1101、第一转盘;1102、第二转盘;1103、拨杆;12、固定盘;13、夹持结构;1301、连接杆;1302、夹杆;1303、弹簧;14、镀件;15、储液箱;16、入料口;17、第一过滤网;18、第二过滤网;19、增压泵;20、导流管;21、喷头;22、第一连接管;23、第二连接管;24、扩散泵;25、加热丝;26、加热器;27、第三连接管;28、第四连接管;29、机械泵。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。

请参阅图1-6,本发明提供一种技术方案:一种真空镀膜机,包括底板1、支架2、罩体3、真空计4、放气阀5、电动伸缩杆6、蒸发电极7、待镀金属8、框体9、电机10、活动组11、固定盘12、夹持结构13、镀件14、储液箱15、入料口16、第一过滤网17、第二过滤网18、增压泵19、导流管20、喷头21、第一连接管22、第二连接管23、扩散泵24、加热丝25、加热器26、第三连接管27、第四连接管28和机械泵29,底板1的下端表面左右两侧均固定安装有支架2,且底板1的上表面通过螺栓安装连接有罩体3,罩体3的内部左侧设置有真空计4,且真空计4贯穿在底板1的内部,罩体3的内部右侧设置有放气阀5,且放气阀5贯穿设置在底板1的内部,罩体3的内部左右两侧均设置有电动伸缩杆6,且电动伸缩杆6的顶端固定安装有蒸发电极7,电动伸缩杆6的上端外表面等间距固定连接有待镀金属8,且电动伸缩杆6的底端固定在支架2的内表面,电动伸缩杆6的内侧设置有框体9,且框体9的上端贯穿在底板1的内部,框体9的右侧表面固定安装有电机10,且电机10上安装连接有活动组11,活动组11上安装连接有固定盘12,且固定盘12的外表面等间距固定安装有夹持结构13,并且夹持结构13的内部设置有镀件14,底板1的上表面右侧固定安装有储液箱15,且储液箱15的右端固定连接有入料口16,入料口16的内部上端安装有第一过滤网17,且第一过滤网17的下端设置有第二过滤网18,储液箱15的后侧连接有增压泵19,且增压泵19的上端连接有导流管20,导流管20的左端安装连接有喷头21,且喷头21固定在罩体3上端内部,框体9的后侧设置有第一连接管22,且第一连接管22的上端贯穿连接在底板1的内部,第一连接管22的右端连接有第二连接管23,扩散泵24固定连接在第一连接管22的下端,且扩散泵24的下端内部设置有加热丝25,并且加热丝25的下端通过电性连接有加热器26,加热丝25的右侧贯穿连接有第三连接管27,且第三连接管27和第二连接管23的右侧均连接有第四连接管28,机械泵29固定连接在第四连接管28的右端。

如图1中罩体3在底板1上为拆卸结构,且支架2关于底板1的中轴线对称设置有2组,并且支架2呈“l”字型结构,方便支撑固定2组电动伸缩杆6,如图1中真空计4和放气阀5的上端均凸出底板1的上表面,且真空计4和放气阀5关于罩体3的中轴线对称设置,通过真空计4的作用及时了解罩体3内部的真空状态,且通过放气阀5的作用调配罩体3的真空状态,方便进行拆卸工作。

如图1中电动伸缩杆6和蒸发电极7均关于罩体3的中轴线对称设置有2组,且蒸发电极7和待镀金属8在罩体3的内侧均为升降结构,并且待镀金属8等间距设置有4组,通过电动伸缩杆6的伸缩作用方便带动待镀金属8进行镀膜操作,如图2-4中活动组11包括第一转盘1101、第二转盘1102和拨杆1103,第一转盘1101的下端紧密贴合设置有第二转盘1102,且第二转盘1102的中心固定安装有拨杆1103,可以使固定盘12和夹持结构13规律性转动,从而可以连续的对镀件14进行镀膜操作,提高工作效率。

如图4-6中第一转盘1101和第二转盘1102构成槽轮机构,且第一转盘1101、第二转盘1102、固定盘12和夹持结构13构成连动结构,并且夹持结构13关于固定盘12的中心对称设置有4组,方便直接对4组镀件14进行镀膜,提高效率,如图5中夹持结构13包括连接杆1301、夹杆1302和弹簧1303,连接杆1301的左右两侧均活动连接有夹杆1302,夹杆1302的下端外侧紧密贴合设置有弹簧1303,方便将镀件14夹紧固定。

如图5中夹杆1302在连接杆1301上为伸缩结构,且夹杆1302呈“u”字型结构,并且连接杆1301呈“t”字型结构,保证每组夹持结构13都能够移动到罩体3的内部且位于底板1的上端位置,方便进行镀膜操作,如图3中入料口16呈“l”字型结构,且第一过滤网17和第二过滤网18在入料口16的内部平行设置,并且第一过滤网17的孔径尺寸大于第二过滤网18的孔径尺寸,方便对加入的清洗液进行过滤使用,保证对罩体3清洗更加干净。

如图1中第一连接管22的上端位于罩体3的内部,且第一连接管22和第二连接管23相互垂直连接,并且第二连接管23和第三连接管27的右端均与第四连接管28相连接,通过调节不同的阀的关闭,控制扩散泵24和机械泵29的相互作用,达到不同的作用。

工作原理:首先当进行真空镀膜时,先通过手动转动夹持结构13,在4组夹持结构13上均安装1组镀件14,即将夹杆1302向两侧拉开,然后将镀件14放置在连接杆1301的表面,松开夹杆1302后在弹簧1303的弹性作用下将镀件14夹紧固定住,再将罩体3通过螺栓安装连接在底板1的上表面,使其包含住真空计4、电动伸缩杆6和放气阀5,接着将第一连接管22和第三连接管27上的阀关闭,将第二连接管23和第四连接管28上的阀打开,通过机械泵29对罩体3的内部进行抽真空操作,同时观察真空计4来掌握真空状况,接着先将加热器26接通电源,使其带动加热丝25通电生热,再将第一连接管22和第三连接管27上的阀打开,将第二连接管23上的阀关闭,在扩散泵24和机械泵29的共同作用下使罩体3的内部达到镀膜环境,然后将2组电动伸缩杆6接通电源,在电动伸缩杆6和蒸发电极7的作用下带动待镀金属8下降并对镀件14进行镀膜操作,完成一组镀膜后通过电机10的作用带动活动组11和固定盘12规律性转动,切换到下一组镀件14到罩体3的内部,接着利用电动伸缩杆6的升降作用带动待镀金属8进行镀膜操作,当操作完成后,先将放气阀5打开平衡罩体3的内外气压,再将罩体3从底板1上拆卸下来,人工拿取罩体3后,将增压泵19接通电源,通过导流管20和喷头21的作用对罩体3的内部喷射清洗液,对罩体3及时的清洗,这就是该装置的工作原理以及操作方法。

最后应当说明的是,以上内容仅用以说明本发明的技术方案,而非对本发明保护范围的限制,本领域的普通技术人员对本发明的技术方案进行的简单修改或者等同替换,均不脱离本发明技术方案的实质和范围。

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