超硬硅系涂层的制作方法

技术特征：
1.一种超硬硅系涂层，其特征在于，其包cral基层、复合层、tisi表层，复合层位于cral基层和tisi表层之间。2.如权利要求1所述的超硬硅系涂层，其特征在于，所述复合层为tisi和cral的复合层。3.如权利要求1所述的超硬硅系涂层，其特征在于，所述tisi表层的上面设有氧化层。4.如权利要求1所述的超硬硅系涂层，其特征在于，所述复合层的厚度大于cral基层的厚度，复合层的厚度也大于tisi表层的厚度。