研磨装置的制作方法

本发明涉及一种研磨装置，其通过研磨体来研磨被研磨物。

背景技术：

研磨被研磨物的研磨体，如日本发明专利公开公报特开2004-009189号所例示的那样，通常作为形成为圆板形状的旋转体而构成。但是，在该情况下，虽然能够研磨平坦面，但难以同样地研磨存在起伏的凹凸面。

因此，可以想到在研磨体上设置弹性体(缓冲垫：cushion)，例如海绵(sponge)。在该情况下，当研磨被研磨物的凸部时，弹性体被压溃，另一方面，当研磨凹部时被压溃的弹性体要恢复到原来的形状。这是因为，由于通过弹性体而使研磨体表现出形状追随性，因此可以认为能够比较容易地研磨凹凸面。

技术实现要素：

实际上，弹性体的形状追随性并不那么好。因此，例如在想要研磨形成为凸部和凹部交替相连的复杂的形状的被研磨区域的、所述凸部的情况下，有可能弹性体不能被充分地压溃。当发生这种情况时，对凸部的研磨量比设计值变多。

为了避免这种情况，在被研磨区域形成为复杂的形状的情况下，大多由作业人员通过手工作业进行研磨。但是，在该情况下，研磨烦杂并且对作业人员来说成为负担。

本发明的主要目的在于提供一种研磨装置，该研磨装置即使在被研磨区域形成为复杂的形状的情况下，也能够进行自动且良好的研磨。

根据本发明的一实施方式，提供一种研磨装置，该研磨装置通过可伸缩的研磨体来研磨被研磨物，所述研磨装置具有推压力施加机构和支承体，其中，

所述推压力施加机构对所述研磨体施加推压力；

所述支承体支承所述推压力施加机构，

所述推压力施加机构具有进退部和摆动部，其中，所述进退部能够前进或后退；所述摆动部以可摆动的方式被设置于所述进退部的、面向所述研磨体的顶端，

所述研磨装置还具有控制部，该控制部控制施加于所述进退部的推动力。

在本发明中，在支承体偏心旋转而使研磨体与被研磨物滑动接触(进行研磨)时，进退部前进或后退，或者摆动部摆动，其中，该进退部构成向该研磨体施加推压力的推压力施加机构。通过进退部和摆动部这样动作，研磨体一边适宜地伸缩，并且对被研磨区域施加适当且大致均等的表面压力，一边与该被研磨区域滑动接触。因此，能够实施自动且良好的研磨。

优选在研磨装置上设置使支承体偏心旋转的偏心旋转机构。当使支承体偏心旋转时，支承于该支承体的推压力施加机构也偏心旋转。因此，由于经由研磨体而被传递给被研磨物的研磨力范围较广，从而能够研磨的区域范围较广。

另外，优选在研磨装置上设置向研磨体施加张力的张力施加机构。通过调节由张力施加机构施加给研磨体的张力，能够使研磨体对被研磨区域的表面压力适宜变化。

在推压力施加机构中，例如对应于被研磨区域的形状，进退部前进或后退，或者摆动部摆动。通过进退部和摆动部这样动作，即使在被研磨区域形成为复杂的形状的情况下，也能够实施自动且良好的研磨。

优选研磨装置具有用于保持支承体的机器人。在该情况下，通过将研磨机构的移动轨迹存储于机器人(进行示教：teaching)，由此能够对比研磨体更广范围的被研磨区域连续且自动地实施研磨。并且，在被研磨物形成为复杂的形状时，也能够使研磨机构跟随该形状而移动，并且能够在短时间内进行并完成研磨。

进退部例如能够由具有杆(rod)的气缸(aircylinder)构成。在该情况下，能够使进退部的结构简单，并且能够实现紧凑化和轻量化。

另外，研磨体能够由可环绕转动的环形带(endlessbelt)构成。在该情况下，只要设置对环形带施加环绕转动的驱动力的驱动力施加机构即可。据此，由于环形带的非特定部位与被研磨区域滑动接触，因此能够避免该环形带的特定部位提前磨损。

或者，也可以采用卡止于支承体的片状(sheet)体来作为研磨体。在该情况下，无需特别设置用于使片状体环绕转动的驱动力施加机构，因此，能够使研磨机构简单化。

研磨开始点为研磨机构的移动开始点，研磨结束点为移动结束点。因此，在研磨开始点和研磨结束点，研磨体与被研磨区域滑动接触时的滑动接触力变小。因此，优选通过控制部的控制，将在被研磨区域的研磨开始点和研磨结束点对进退部施加的推动力设定为，比在其他的被研磨区域对进退部施加的推动力大。通过这样的设定，即使在研磨开始点和研磨结束点，研磨量也充分。其结果，能够避免研磨不均匀。

根据本发明，使对研磨体施加推压力的推压力施加机构构成为具有进退部和摆动部的机构，其中，该进退部前进或者后退，该摆动部设置于该进退部的面向研磨体的顶端，且能够摆动。通过进退部前进或后退，或者摆动部摆动，由此研磨体适宜地伸缩。因此，研磨体一边对被研磨区域施加适当且大致均等的表面压力，一边与被研磨区域滑动接触。据此，能够实施自动且良好的研磨。

上述目的、特征和优点通过参照附图所说明的以下实施方式的说明能够容易地理解。

附图说明

图1是本发明的第一实施方式所涉及的研磨装置的概略整体侧视图。

图2是构成所述研磨装置的研磨机构的概略侧视图。

图3是所述研磨机构的概略俯视图。

图4是所述研磨机构的概略主视图。

图5是推压力施加机构的概略主视剖视图。

图6是表示研磨机构在被研磨物、即工件上的移动轨迹的概略说明图。

图7是表示在被研磨区域上存在凹部时的推压力施加机构的姿势的一例的概略俯视图。

图8是表示在被研磨区域上存在凸部时的推压力施加机构的姿势的一例的概略俯视图。

图9是构成本发明的第二实施方式所涉及的研磨装置的研磨机构概略俯视图。

图10是推压力施加机构的概略主视剖视图。

图11是进退部前进时的研磨机构的概略俯视图。

具体实施方式

下面，列举优选的实施方式，并参照附图来对本发明所涉及的研磨装置详细地进行说明。

图1为第一实施方式所涉及的研磨装置10的概略整体侧视图。该研磨装置10具有多关节机器人12、研磨机构16和控制部20，其中，该研磨机构16被设置于构成该多关节机器人12的顶端臂14；该控制部20控制多关节机器人12和研磨机构16。此外，图1中的标记22表示被研磨物、即工件。作为工件22的具体例可以列举汽车车身。

多关节机器人12具有可旋转的台座24和多个轴部26，因此，能够使研磨机构16移动到工件22的规定部位，或者使研磨机构16沿着工件22的被研磨区域位移。

如图2和图4所示，研磨机构16经由连结板30而连结于顶端臂14。比该连结板30宽度窄且面积小的齿轮保持板32接近连结板30。在该齿轮保持板32上设有齿轮组(geartrain)。具体而言，齿轮组具有驱动齿轮38、第一从动齿轮40和第二从动齿轮42，其中，该驱动齿轮38被设置于偏心旋转用马达34(偏心旋转机构)的偏心用驱动轴36；该第一从动齿轮40啮合于该驱动齿轮38；该第二从动齿轮42啮合于该第一从动齿轮40。在第二从动齿轮42上设有偏心用从动轴44。

偏心用驱动轴36和偏心用从动轴44穿过分别形成于齿轮保持板32和连结板30的轴贯插孔(未图示)。在偏心用驱动轴36和偏心用从动轴44的、从连结板30突出且面向研磨机构16侧的顶端，经由偏心接头46而分别连结有第一偏心用旋转轴48、第二偏心用旋转轴50。如上所述，构成使研磨机构16偏心旋转的偏心旋转机构52。此外，在轴贯插孔与偏心用驱动轴36之间或者在轴贯插孔与偏心用从动轴44之间插入有未图示的轴承。

第一偏心用旋转轴48、第二偏心用旋转轴50连结于构成研磨机构16的支承体60。具体而言，如图2和图4所示，支承体60是由马达保持壁部62、第一侧壁部64、第二侧壁部66和机构保持壁部68组合而构成的，其中，该马达保持壁部62的高度最大；该第一侧壁部64支承马达保持壁部62的背面，并且具有随着远离马达保持壁部62而向下方倾斜的部位；该第二侧壁部66的高度为马达保持壁部62的大致一半；该机构保持壁部68架设于第一侧壁部64和第二侧壁部66。在其中的马达保持壁部62的上方连结有第一偏心用旋转轴48和第二偏心用旋转轴50。在该情况下，第一偏心用旋转轴48和第二偏心用旋转轴50沿着马达保持壁部62的长度方向而配设。

如此，多关节机器人12的顶端臂14经由连结板30和偏心旋转机构52来保持构成研磨机构16的支承体60。此外，由上述可知，第一侧壁部64和第二侧壁部66的一端连结于马达保持壁部62，另一端连结有机构保持壁部68。通过设有第一侧壁部64和第二侧壁部66，机构保持壁部68以规定间隔从马达保持壁部62分离。

如图2所示，在马达保持壁部62，环绕转动用马达72(驱动力施加机构)被安装在不与第一偏心用旋转轴48和第二偏心用旋转轴50干涉的位置，其中，该环绕转动用马达72施加使环形带70环绕转动的驱动力，该环形带70作为构成研磨机构16的研磨体。在环绕转动用马达72的环绕转动用驱动轴74的外部嵌有长形的圆柱形状的驱动带轮76。该驱动带轮76带动环形带70。

在支承体60上设置有未图示的三个轴承部。如图3所示，支承轴80以可旋转的方式被轴支承于该轴承部，该支承轴80被设置在长形的圆柱形状的从动带轮78上。从动带轮78的各侧周壁也带动环形带70。通过驱动带轮76和三个从动带轮78，环形带70以在俯视观察时呈矩形状的方式被架设。

环形带70由内周带82和外周带84的层积体构成。内周带82由耐磨损性优异的材料构成，外周带84由研磨功能优异的材料构成。通过使内周带82被驱动带轮76和从动带轮78带动，外周带84和内周带82一体地环绕转动。外周带84与工件22的被研磨区域滑动接触。

外侧张紧器(tensioner)86(张力施加机构)与外周带84滑动接触。通过将外周带84朝向内周带82侧进行推压，外侧张紧器86对环形带70施加张力。推压力越大，环形带70越张紧，其结果，施加给环形带70的张力变大。相反，在推压力小时，施加给环形带70的张力变小。

在机构保持壁部68上支承有多个推压力施加机构90，该多个推压力施加机构90从内周带82侧推压环形带70。接着，对该推压力施加机构90进行说明。

图5为沿着长度方向表示一个推压力施加机构90的概略主视剖视图。推压力施加机构90具有构成进退部的气缸92、和摆动部94。

气缸92具有缸筒(cylindertube)98，该缸筒98连结有供排管(供给排出管)96。通过缸筒98被保持于机构保持壁部68，推压力施加机构90被机构保持壁部68支承。

在缸筒98内收装有未图示的活塞(piston)，并且，与活塞一体位移的推压用杆100暴露在缸筒98外。并且，所述机构保持壁部68被一体地安装于全部的缸筒98的顶端。在机构保持壁部68上形成有多个杆贯插孔102(参照图3)，各推压用杆100穿过杆贯插孔102。

在推压用杆100的顶端设置有球窝接头(balljoint)104。即，如图5所示，球窝接头104的螺纹状轴部106旋合于设于推压用杆100的顶端的螺纹孔。另外，从与螺纹状轴部106相连的滚珠部108突出的卡合轴部109嵌入摆动罩110的内侧的一部位、即未图示的轴承孔内。伴随着滚珠部108相对于轴承孔相对地滚动，摆动罩110以滚珠部108为中心摆动。摆动罩110的、面向内周带82侧的端面(推压面114)作为呈大致正方形状的平坦面而构成。

另外，摆动罩110具有两个倾斜部116，该两个倾斜部116与推压面114的端部相连，且以接近推压用杆100的方式倾斜。因此，摆动罩110的外观成为大致等腰三角形形状。

如此构成的推压力施加机构90以规定个数形成多行多列的方式而排列配置。即，多个推压力施加机构90不仅在图2的面方向、而且在与纸面正交的方向上也并列。

此外，控制部20控制偏心旋转用马达34、环绕转动用马达72、外侧张紧器86和供排机构(供给排出机构)(未图示)，该供排机构通过供排管96而将压缩空气供给到气缸92或从气缸92排出。

第一实施方式所涉及的研磨装置10基本上如上述那样构成，接着，以与研磨装置10的控制方法(动作)的关系对其作用效果进行说明。

为使环形带70在抵接于工件22的研磨开始点的状态下沿着被研磨区域移动，而对多关节机器人12预先进行如下示教，即，使各轴部26以规定角度旋转或转动。另外，对于示教的结果为多个推压力施加机构90中被判断为未进入被研磨区域内的推压力施加机构90，控制部20使推压用杆100保持位于后退端的状态。为此，不需要从供排机构向缸筒98内供给压缩空气。

例如，当对图6所示的工件22实施研磨时，通过多关节机器人12按照示教而动作，由此研磨机构16按照工件22的a部120→b部122→c部124→d部126的顺序位移。即，a部120为研磨开始点，d部126为研磨结束点。在该情况下，在a部120中，最下行的一行，在b部122和c部124中，最下行及其上一行的两行、在d部126中，最下行、其上一行及其上两行的三行从被研磨区域偏离。即，从研磨开始点到研磨结束点，最下行的一行不与被研磨区域重叠。因此，在该情况下，对于形成最下行的推压力施加机构90，不向气缸92供给压缩空气。

当开始研磨时，控制部20首先控制外侧张紧器86。具体而言，使外侧张紧器86以接近环形带70的方式位移，来推压该环形带70。通过该推压，环形带70张紧而使张力变大。另外，控制部20从供排机构向构成最下行以外的推压力施加机构90的气缸92供给压缩空气。压缩空气经由供排管96而被导入到缸筒98内，来推压活塞。其结果，推压用杆100前进到前进端，摆动罩110的平坦的推压面114从内周带82侧推压环形带70。

多关节机器人12的各轴部26适宜地动作，使环形带70抵接于a部120。在a部120存在由起伏或弯曲而形成的凸部130的情况下，如果需要，也可以降低与凸部130相向的气缸92(推压用杆100)的推压力。为此，通过供排管96从缸筒98排出若干压缩空气即可。如此，通过根据a部120的凸部130(参照图8)来调节(修正)来自推压用杆100的推压力，由此能够均匀地研磨a部120。

接着，控制部20驱动偏心旋转用马达34和环绕转动用马达72。伴随着偏心旋转用马达34的偏心用驱动轴36旋转，驱动齿轮38旋转，并且，与该驱动齿轮38啮合的第一从动齿轮40(参照图2和图4)和与该第一从动齿轮40啮合的第二从动齿轮42旋转。偏心用从动轴44也随之旋转。

如上所述，第一偏心用旋转轴48、第二偏心用旋转轴50经由偏心接头46而分别与偏心用驱动轴36、偏心用从动轴44连结。因此，第一偏心用旋转轴48、第二偏心用旋转轴50以如下轨迹移动，该轨迹为，描绘以偏心用驱动轴36、偏心用从动轴44的各旋转中心为中心的圆的轨迹。其结果，支承体60与第一偏心用旋转轴48和第二偏心用旋转轴50连结的研磨机构16偏心旋转。

另外，当环绕转动用马达72被驱动时，环绕转动用驱动轴74和驱动带轮76(参照图4)旋转。因此，被驱动带轮76牵引的环形带70开始环绕转动。环形带70的环绕转动由三个从动带轮78辅助。即，在该情况下，环形带70一边被外侧张紧器86施加张力，并且被推压用杆100从内周带82侧推压，一边通过驱动带轮76和三个从动带轮78环绕转动。

通过上面的研磨机构16的偏心旋转和环形带70的环绕转动，开始对a部120的研磨。即，通过使环形带70与a部120滑动接触，由此来研磨a部120。由于环形带70受到来自外侧张紧器86的推压而被施加张力，因此对被研磨区域的推压力下降。但是，在第一实施方式中，通过构成推压力施加机构90的推压用杆100前进，由此使环形带70被推压到被研磨区域侧。换言之，环形带70被推压到a部120。因此，由于环形带70一边偏心旋转一边以充分的表面压力在a部120上滑动接触，因此，该a部120被良好地研磨。

在该状态下，控制部20使多关节机器人12的各轴部26动作，以使研磨机构16经由b部122和c部124移动到d部126。在该过程中，控制部20进行压缩空气的供给和排出，以使在推压力施加机构90向b部122侧移动了1行时，使推压用杆100配合工件22的被研磨区域的形状来前进或后退。然而，不对被研磨区域外、即最下行的气缸92进行压缩空气的供给和排出。

通过对气缸92进行压缩空气的供给和排出，推压用杆100前进或后退。并且，摆动罩110能够摆动。如上所述，这是由于球窝接头104的卡合轴部109嵌入到摆动罩110的轴承孔内。这样，推压用杆100前进或后退与摆动罩110的摆动相互作用，摆动罩110的推压面114的位置配合被研磨区域的形状而变化。

图7表示在被研磨区域存在凹部132时的推压面114的位置和摆动罩110的姿势的一例。在该情况下，位于中间行的气缸92的推压用杆100比位于下方或上方的气缸92的推压用杆100前进。因此，环形带70能够与凹部132的底部滑动接触。

与此相反，在被研磨区域存在凸部130的情况下，由于环形带70受到来自凸部130的推压，因此该环形带70被施加进一步的张力。因此，如图8所示，控制部20进行压缩空气的供给和排出，以使位于中间行的气缸92的推压用杆100与位于下方或上方的气缸92的推压用杆100相比而后退。因此，作用于环形带70的张力被缓和。因此，对被研磨区域施加合适的表面压力。因此，能够防止被研磨区域被过度研磨。此外，在该图8中，为了容易理解推压用杆100的进退量的差异、摆动罩110的姿势的差异，而例示了全部的推压力施加机构90进入被研磨区域内的情况。

如上所述，通过控制部20使推压用杆100适宜地前进或后退，能够适当地调节环形带70与被研磨区域滑动接触时的环形带70的表面压力。而且，当环形带70根据被研磨区域的形状而变形时，摆动罩110摆动。因此，不会阻碍环形带70的变形(伸缩)。因此，不管该被研磨区域的形状如何，能够良好地研磨该被研磨区域。此外，即使在被研磨区域内，通过不需要研磨的部位时，也可以使与该不需要研磨部位相向的推压用杆100退避到后退端。

当研磨机构16到达d部126时，多关节机器人12的各轴部26的旋转或转动停止，并且，该研磨机构16的移动结束。此时，控制部20使偏心旋转用马达34和环绕转动用马达72这二者停止，据此使研磨机构16的偏心旋转和环形带70的环绕转动停止。控制部20还向除了最下行、其上一行及其上两行共三行以外的缸筒98内供给压缩空气，并使推压用杆100保持在前进端位置。

如此，在第一实施方式中，在研磨开始点(a部120)和研磨结束点(d部126)中，不管其形状如何，通过使气缸92的推动力变大，由此施加比其他的被研磨区域大的表面压力。据此，能够避免研磨开始点和研磨结束点的研磨不充分。而且，由于能够通过研磨装置10自动地进行研磨，因此，减轻了作业人员的负担。

在该情况下，由于环形带70环绕转动，因此，外周带84的非特定部位与被研磨区域滑动接触。换言之，避免了仅外周带84的特定部位参与研磨的情况。因此，外周带84不容易磨损。因此，能够长时间地使用同一个外周带84。此外，当伴随着长时间的反复研磨，外周带84发生磨损而使研磨精度下降时，将外周带84更换为新品即可。

接着，对第二实施方式所涉及的研磨装置进行说明。此外，对与构成第一实施方式所涉及的研磨装置10的结构要素相同的结构要素添加相同的标记，并省略图示及其详细说明。

研磨装置具有图9所示的研磨机构150。构成该研磨机构150的支承体152具有连结壁部154和引导板部156。在引导板部156和连结壁部154之间架设有连结缸157。另外，如图10详细所示，在引导板部156上设有插入孔158，并且在该插入孔158中收装有设于缸筒98的顶端的安装件160，其中，该插入孔158供构成推压力施加机构159的气缸92的推压用杆100穿过。通过安装件160能够防止引导板部156脱落。

于引导板部156，在围绕推压用杆100的位置形成有多个(例如两个)引导孔162。在引导孔162中分别收装有衬套164，并且引导用杆166穿过该衬套164。引导用杆166在穿过形成于位移板168的通孔170后，在设有螺纹部的顶端旋合有螺母172。另外，在位移板168上安装有推压用杆100的顶端。因此，伴随着推压用杆100的伸缩，位移板168位移，并且，引导用杆166伸缩。

具有台阶部的阶梯保持件174被安装于位移板168。在该阶梯保持件174的顶端形成有螺纹孔，在该螺纹孔旋合有球窝接头104的螺纹状轴部106。另外，在球窝接头104的从滚珠部108突出的两个卡合轴部109上旋合并安装有可分割的摆动罩180。

支承体152上连结有第一保持杆184和第二保持杆188，该第一保持杆184将第一辊182以可旋转的方式进行保持，该第二保持杆188将第二辊186以可旋转的方式进行保持。

在设置于连结壁部154的钩(hook)部190卡止有作为张力施加机构的第一螺旋弹簧(coilspring)192和第二螺旋弹簧194。并且，在第一螺旋弹簧192和第二螺旋弹簧194上卡止并保持有作为研磨体的片状体196。通过第一螺旋弹簧192和第二螺旋弹簧194收缩，并且摆动罩180的平坦的推压面114抵接于片状体196，由此使规定的张力作用于片状体196。

第二实施方式所涉及的研磨装置构成为具有基本上如以上那样构成的研磨机构150和与第一实施方式所涉及的研磨装置10同样构成的偏心旋转机构52。接着，对研磨装置的动作进行说明。

为使片状体196在抵接于工件22的研磨开始点的状态下沿着被研磨区域移动，而对多关节机器人12预先进行如下示教，即，使各轴部26以规定角度旋转或转动。

当开始研磨时，控制部20从供排机构向气缸92供给压缩空气。压缩空气经由供排管96被导入到缸筒98内，来推压活塞。其结果，推压用杆100如图11所示那样前进到前进端，摆动罩180的平坦的推压面114推压片状体196。伴随于此，片状体196相对于第一辊182、第二辊186相对地滑动，由此在辅助的力的作用下伸长。另外，第一螺旋弹簧192、第二螺旋弹簧194伸长而对片状体196施加规定的张力。

多关节机器人12的各轴部26适宜地动作，片状体196抵接于研磨开始点(图6中的a部120)。与上述同样，在a部120上存在因起伏或弯曲而形成的凸部130的情况下，如果需要，也可以降低与凸部130相向的气缸92(推压用杆100)的推压力。为此，通过供排管96从缸筒98排出若干压缩空气即可。如此，通过根据a部120的凸部130来调节(修正)来自推压用杆100的推压力，由此能够均匀地研磨a部120。

接着，控制部20驱动偏心旋转用马达34(参照图2和图3)。伴随着偏心旋转用马达34的偏心用驱动轴36旋转，驱动齿轮38旋转，并且与该驱动齿轮38啮合的第一从动齿轮40(参照图2和图4)和与该第一从动齿轮40啮合的第二从动齿轮42旋转。偏心用从动轴44也随之旋转。并且，通过第一偏心用旋转轴48和第二偏心用旋转轴50从动旋转，由此使研磨机构150偏心旋转。

伴随着研磨机构150如上述那样偏心旋转，片状体196与a部120滑动接触。由于片状体196一边偏心旋转一边以充分的表面压力在a部120上滑动接触，因此该a部120被良好地研磨。

控制部20在该状态下使多关节机器人12的各轴部26动作，并使研磨机构150移动。在该过程中，对气缸92进行压缩空气的供给和排出，推压用杆100前进或后退。并且，摆动罩180摆动，其推压面114的位置配合被研磨区域的形状而变化。因此，即使在被研磨区域上存在凹部132或凸部130的情况下，也可以由片状体196对被研磨区域施加适当的表面压力。因此，不管被研磨区域的形状如何，都能够精度良好地研磨被研磨区域。

此外，与第一实施方式所涉及的研磨装置10同样，也可以在从研磨开始点到研磨结束点之间，不对被研磨区域以外的气缸92进行压缩空气的供给和排出。

当研磨机构150到达研磨结束点时，多关节机器人12的各轴部26的旋转或转动停止，并且该研磨机构150的移动结束。此时，控制部20使偏心旋转用马达34停止，从而使研磨机构150的偏心旋转和环形带70的环绕转动停止。控制部20还向除了最下行、其上一行及其上两行共三行以外的缸筒98内供给压缩空气，并将推压用杆100保持在前进端位置。

如此，在第二实施方式中也能够得到与第一实施方式相同的作用效果。

另外，由于在研磨机构150中，无需使片状体196环绕转动，因此不需要环绕转动用马达或带轮等。相应地能够使研磨机构150成为简单的结构。

本发明并不特别限定于上述的第一实施方式和第二实施方式，在未脱离本发明的主旨的范围内，能够进行各种变更。

例如，在第二实施方式中，采用了第一螺旋弹簧192、第二螺旋弹簧194作为张力施加机构，但也可以采用气缸(cylinder)来代替第一螺旋弹簧192、第二螺旋弹簧194。

另外，也可以代替研磨机构16而将研磨机构150配设在环形带70内，来构成研磨装置10。

并且，除了不使偏心旋转用马达34动作(换言之，不使研磨机构16偏心旋转)之外，也可以与上述同样地进行研磨。即使在这种情况下，也可以充分地进行研磨。由此可知，以偏心旋转用马达34为主的偏心旋转机构并非必需的。

另外，还可以将相邻的推压力施加机构90、90(或推压力施加机构159、159)以摆动罩110(或摆动罩180)的相位彼此相差90°的方式支承于支承体60(或支承体152)。

并且，也可以使推压力施加机构90为所谓的交错配置。