掩膜板的制作方法

文档序号:19791236发布日期:2020-01-24 14:19阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种掩膜板,其特征在于,包括板体,所述板体上设置有至少一个开口区,围绕所述开口区设置有遮挡区,所述遮挡区正面的至少部分区域设置有配重凸起。

2.根据权利要求1所述的掩膜板,其特征在于,所述配重凸起为条状凸起,所述条状凸起围绕所述开口区连续设置。

3.根据权利要求2所述的掩膜板,其特征在于,所述配重凸起面向所述开口区的侧面与所述开口区的开口平齐。

4.根据权利要求1-3任一所述的掩膜板,其特征在于,所述开口区为矩形,所述配重凸起至少位于所述矩形的角部,且角部的所述配重凸起的重量大于其余位置的所述配重凸起。

5.根据权利要求4所述的掩膜板,其特征在于,角部的所述配重凸起在所述掩膜板厚度方向上的高度大于其余位置的所述配重凸起。

6.根据权利要求5所述的掩膜板,其特征在于,角部的所述配重凸起的高度为45-55μm,其余位置的所述配重凸起的高度为25-35μm。

7.根据权利要求4所述的掩膜板,其特征在于,所述配重凸起自所述开口垂直于所述板体外周的方向的宽度为0.9-1.1mm。

8.根据权利要求1-3任一所述的掩膜板,其特征在于,所述板体和/或所述配重凸起的材料为因瓦合金或不锈钢。

9.根据权利要求8所述的掩膜板,其特征在于,所述配重凸起焊接固定于所述板体的正面。

10.根据权利要求2或3所述的掩膜板,其特征在于,垂直于所述配重凸起长度延伸的方向上,所述配重凸起的截面为平底弧形、三角形、梯形或多边形。

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