一种具有防护功能的化学机械抛光设备的制作方法

文档序号:20454459发布日期:2020-04-17 23:18阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种具有防护功能的化学机械抛光设备,包括抛光台(1)、卡合槽(8)、滴液器(18)和第二电动推杆(27),其特征在于:所述抛光台(1)顶部设置有抛光盘(2),其中,

所述抛光盘(2)外侧设置有防护罩(3),所述防护罩(3)内侧设置有隔音棉(4),所述防护罩(3)底部固定有固定柱(5),所述固定柱(5)安装在固定槽(6)内部,所述固定槽(6)设置在抛光台(1)顶部,所述防护罩(3)底部两端固定有卡合栓(7),所述卡合栓(7)安装在卡合槽(8)内部,所述卡合槽(8)设置在抛光台(1)顶部;

所述卡合槽(8)内侧设置有柱孔(9),所述柱孔(9)内部安装有锁定柱(10),所述锁定柱(10)一端设置在所述卡合栓(7)侧面,所述锁定柱(10)外侧固定有锁定环(11),所述锁定环(11)侧面固定有锁定弹簧(12),所述锁定柱(10)另一端固定有移动块(13),所述移动块(13)设置在移动槽(14)内部,所述移动槽(14)设置在按压柱(15)内部,所述按压柱(15)底部固定有按压弹簧(16),所述按压弹簧(16)设置在按压槽(17)内部,所述按压槽(17)设置在抛光台(1)顶部;

所述滴液器(18)设置在抛光台(1)顶部的抛光盘(2)侧面,所述抛光盘(2)侧面通过第一电动推杆(19)固定有机头(20),所述机头(20)底部通过连接柱(21)安装有样品盘(22),所述连接柱(21)底部设置有安装槽(23),所述安装槽(23)内部安装有安装柱(24),所述安装柱(24)侧面设置有安装栓(25),所述安装栓(25)安装在栓孔(26)内部,所述栓孔(26)设置在安装槽(23)外侧;

所述第二电动推杆(27)设置在机头(20)底部的连接柱(21)外侧。

2.根据权利要求1所述的一种具有防护功能的化学机械抛光设备,其特征在于:所述防护罩(3)设置为软塑料材质,且所述防护罩(3)内部的隔音棉(4)设置为聚酯纤维材质。

3.根据权利要求1所述的一种具有防护功能的化学机械抛光设备,其特征在于:多个所述固定柱(5)等距离固定在防护罩(3)底部,且所述固定柱(5)底部设置为球体结构,而且所述固定槽(6)内部设置为软橡胶材质。

4.根据权利要求1所述的一种具有防护功能的化学机械抛光设备,其特征在于:所述卡合栓(7)设置有两个,且两个所述卡合栓(7)对称固定在防护罩(3)底部两侧,而且所述防护罩(3)通过所述卡合栓(7)与卡合槽(8)之间构成卡合结构。

5.根据权利要求1所述的一种具有防护功能的化学机械抛光设备,其特征在于:所述移动块(13)顶部设置为30°斜坡结构,且所述移动块(13)通过移动槽(14)与按压柱(15)之间构成滑动结构。

6.根据权利要求1所述的一种具有防护功能的化学机械抛光设备,其特征在于:所述第一电动推杆(19)安装在机头(20)底部,且所述第一电动推杆(19)输出端固定在所述抛光台(1)顶部,而且所述第一电动推杆(19)的型号设置为:ant-52。

7.根据权利要求1所述的一种具有防护功能的化学机械抛光设备,其特征在于:所述安装柱(24)设置在样品盘(22)顶部中心位置,且所述安装柱(24)与安装槽(23)之间构成螺纹啮合结构。

8.根据权利要求1所述的一种具有防护功能的化学机械抛光设备,其特征在于:所述安装栓(25)设置有两个,且两个所述安装栓(25)对称设置在安装柱(24)外部两侧,而且所述安装栓(25)与栓孔(26)之间构成卡合结构。

9.根据权利要求1所述的一种具有防护功能的化学机械抛光设备,其特征在于:所述第二电动推杆(27)设置有多个,且多个所述第二电动推杆(27)呈圆环型设置在机头(20)底部的连接柱(21)外侧,而且所述第二电动推杆(27)的型号设置为:ant-26。

10.一种具有防护功能的化学机械抛光方法,其特征在于:首先,将需要进行抛光的样品放置在样品盘22内部,然后先打开滴液器18,使得抛光液滴落在抛光盘2顶部,再打开该设备,通过第二电动推杆27伸长,将第二电动推杆27的输出端固定在样品顶部,使得样品被压紧在样品盘22内部,再通过第一电动推杆19伸缩,使得机头20下降,使得样品到达抛光盘2顶部,通过抛光盘2的旋转,即可进行抛光,在进行抛光时,我们可以将防护罩3安装在抛光台1顶部的抛光盘2侧面,当抛光盘2旋转速度过快时,抛光液会飞溅而出,通过防护罩3防止抛光液飞溅,防止抛光液污染抛光台1,同时防止抛光盘2的旋转伤及工作人员,并且在使用防护罩3进行防护抛光时,由于防护罩3内侧设置有隔音棉4,通过隔音棉4将样品与抛光盘2之间的摩擦噪音吸收反射,在一定程度上减少噪音的传播,提升工人的工作环境质量,在安装防护罩3时,将防护罩3底部的固定柱5插入固定槽6内部,再将卡合栓7插入卡合槽8内部,使得两个卡合栓7通过锁定柱10固定在卡合槽8内部,即可将防护罩3安装完成,简单方便,抛光完成后,我们将抛光台1顶部的按压柱15按下,使得按压柱15内部的移动槽14压迫移动块13,由于移动块13顶部设置为30°斜坡,则移动块13会在移动槽14内部移动,由此将锁定柱10进行移动,当锁定柱10一端从卡合栓7侧面移开时,即可将防护罩3取下,再将加工完成后的样品取出即可,在使用该抛光设备时,我们也可将样品盘22取下进行检修更换,以便适应不同尺寸的样品,我们先将安装槽23外侧的安装栓25按下,使得安装栓25按入栓孔26内部,紧接着将样品盘22进行旋转,使得样品盘22顶部的安装柱24从安装槽23内部旋转移出,即可将样品盘22取下进行检修更换,随后我们取出新的样品盘22,将样品盘22顶部的安装柱24旋转安装在安装槽23内部,一直旋转,直到安装柱24外侧的安装栓25卡合在栓孔26内部,即可快速将样品盘22固定完成,即可继续进行抛光操作。


技术总结
本发明公开了一种具有防护功能的化学机械抛光设备,包括抛光台、卡合槽、滴液器和第二电动推杆,所述抛光台顶部设置有抛光盘,其中,所述抛光盘外侧设置有防护罩,所述防护罩内侧设置有隔音棉,所述防护罩底部固定有固定柱,所述固定柱安装在固定槽内部,所述固定槽设置在抛光台顶部,所述防护罩底部两端固定有卡合栓,所述卡合栓安装在卡合槽内部,所述卡合槽内侧设置有柱孔,所述柱孔内部安装有锁定柱,所述锁定柱一端设置在所述卡合栓侧面。该具有防护功能的化学机械抛光设备设置有防护罩,当抛光盘旋转速度过快时,抛光液会飞溅而出,通过防护罩防止抛光液飞溅,防止抛光液污染抛光台,同时防止抛光盘的旋转伤及工作人员。

技术研发人员:李文豪
受保护的技术使用者:深圳市凯合达智能设备有限公司
技术研发日:2019.12.02
技术公布日:2020.04.17
当前第2页1 2 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1