一种靶材喷涂防护罩的制作方法

本实用新型涉及靶材喷涂技术领域，尤其涉及一种靶材喷涂防护罩。

背景技术：

靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。靶材在喷涂过程中需在两端端盖和暗区上增加防护装置，防止靶材在喷涂过程中端盖及两端暗区被喷涂，以避免影响端盖的正常拆卸和使用，同时方便后段机加工工序的生产。现有靶材喷涂防护罩分为端面遮罩和侧方遮罩两部分组成，端面遮罩包含两块，每块需4个螺丝固定在靶材端盖上；侧方遮罩包含4块，每块需2个螺丝固定到靶材端盖上。靶材喷涂前，需分两次分别把端面遮罩锁在靶材两端的端盖上，分四次将侧方遮罩扣在靶材两边暗区上。由于靶材喷涂防护罩结构复杂、组件繁多，导致防护罩的安装操作耗时较长，容易因遗漏组件而影响防护效果。

技术实现要素：

有鉴于现有技术中存在的上述问题，本实用新型提供了一种结构简单、安装方便的靶材喷涂防护罩。

为实现上述目的，本实用新型提供了一种靶材喷涂防护罩，其包括第一罩体、第二罩体及连接机构，所述连接机构用于连接所述第一罩体和所述第二罩体，以使所述第一罩体与所述第二罩体对接形成用于包覆靶材端部的包覆腔。

在一些实施例中，所述第一罩体包括第一端面板和设置在所述第一端面板上的第一侧面板，所述第一端面板与所述第一侧面板一体成型；所述第二罩体包括第二端面板和设置在所述第二端面板上的第二侧面板，所述第二端面板与所述第二侧面板一体成型；所述第一端面板用于与所述第二端面板对接以包覆靶材的端面，所述第一侧面板用于与所述第二侧面板对接以包覆靶材靠近端面的部分侧面。

在一些实施例中，所述包覆腔为圆柱形包覆腔。

在一些实施例中，所述第一侧面板和所述第二侧面板均为弧形板。

在一些实施例中，所述第一端面板和所述第二端面板均为半圆环形板。

在一些实施例中，所述第一端面板和所述第二端面板沿所述包覆腔的边缘向外侧延伸形成遮挡部。

在一些实施例中，所述第一罩体包括第一对接端和第二对接端，所述第二罩体包括第三对接端和第四对接端，所述连接机构包括连接所述第一对接端和所述第三对接端的第一卡接组件以及连接所述第二对接端和所述第四对接端的第二卡接组件。

在一些实施例中，所述第一卡接组件包括位于所述第一侧面板上的第一凸块和位于所述第二侧面板上的用于卡扣所述第一凸块的第一锁扣；所述第二卡接组件包括位于所述第二侧面板上的第二凸块和位于所述第一侧面板上的用于卡扣所述第二凸块的第二锁扣。

在一些实施例中，所述连接机构还包括分别位于所述第一罩体和所述第二罩体上的至少一个定位槽和至少一个定位柱，所述定位柱用于插接在所述定位槽内以固定所述第一罩体和所述第二罩体。

在一些实施例中，所述第一罩体的第一对接端的端面和所述第二罩体的第四对接端的端面上各设有至少一个所述定位柱，所述第一罩体的第二对接端的端面和所述第二罩体的第三对接端的端面上各设有至少一个所述定位槽。

与现有技术相比，本实用新型实施例的靶材喷涂防护罩，使用时，将第一罩体和第二罩体对接并包覆在靶材的端部，也即将靶材的端面和靠近端面的部分侧面包覆在由第一罩体和第二罩体形成的包覆腔内，然后通过连接机构将第一罩体和第二罩体连接在一起，就完成了该靶材喷涂防护罩的安装。拆卸时，拆开连接机构就可以将第一罩体和第二罩体从靶材的端部取下，结构简单，拆装方便，有益于提高生产效率，降低生产成本。

应当理解，前面的一般描述和以下详细描述都仅是示例性和说明性的，而不是用于限制本实用新型。

本申请文件提供本实用新型中描述的技术的各种实现或示例的概述，并不是所公开技术的全部范围或所有特征的全面公开。

附图说明

在不一定按比例绘制的附图中，相同的附图标记可以在不同的视图中描述相似的部件。具有字母后缀或不同字母后缀的相同附图标记可以表示相似部件的不同实例。附图大体上通过举例而不是限制的方式示出各种实施例，并且与说明书以及权利要求书一起用于对所公开的实施例进行说明。在适当的时候，在所有附图中使用相同的附图标记指代同一或相似的部分。这样的实施例是例证性的，而并非旨在作为本装置或方法的穷尽或排他实施例。

图1为本实用新型实施例涉及的靶材喷涂防护罩的结构示意图；

图2为本实用新型实施例涉及的靶材喷涂防护罩的第一罩体的结构示意图；

图3为本实用新型实施例涉及的靶材喷涂防护罩的第二罩体的结构示意图；

图4为本实用新型实施例涉及的靶材喷涂防护罩与靶材配合安装示意图。

附图标记：

10-第一罩体；11-第一端面板；12-第一侧面板；13-包覆部；14-遮挡部；20-第二罩体；21-第二端面板；22-第二侧面板；30-连接机构；31-第一锁扣；32-第一凸块；33-第二锁扣；34-第二凸块；35-定位柱；36-定位槽；40-靶材。

具体实施方式

为了使得本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例的附图，对本实用新型实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本实用新型的实施例，本领域普通技术人员在无需创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

除非另外定义，本实用新型使用的技术术语或者科学术语应当为本实用新型所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本实用新型中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。

为了保持本实用新型实施例的以下说明清楚且简明，本实用新型省略了已知功能和已知部件的详细说明。

参见图1至图3所示，本实用新型实施例提供了一种靶材喷涂防护罩，其包括：第一罩体10、第二罩体20及连接机构30，连接机构30用于连接第一罩体10和第二罩体20，以使第一罩体10与第二罩体20对接形成用于包覆靶材40端部的包覆腔。

采用上述结构的靶材喷涂防护罩，使用时，将第一罩体10和第二罩体20对接并包覆在靶材40的端部，也即将靶材40的端面和靠近端面的部分侧面包覆在由第一罩体10和第二罩体20形成的包覆腔内，然后通过连接机构30将第一罩体10和第二罩体20连接在一起，就完成了该靶材喷涂防护罩的安装，如图4所示。拆卸时，拆开连接机构30就可以将第一罩体10和第二罩体20从靶材40的端部取下，结构简单，拆装方便，有益于提高生产效率，降低生产成本。

在一些实施例中，该第一罩体10可包括第一端面板11和设置在第一端面板11上的第一侧面板12，第一端面板11与第二侧面板12一体成型。第二罩体20可包括第二端面板21和设置在第二端面板21上的第二侧面板22，第二端面板21与第二侧面板22一体成型。第一端面板11用于与第二端面板21对接后形成一个整体的端面板，该整体的端面能够包覆靶材40的端面，第一侧面板12用于与第二侧面板22对接后形成包覆腔，靶材40的端部能够伸入到该包覆腔内，从而被该防护罩包覆。具体的，该包覆腔的形状可根据靶材40的形状设置，例如，本实用新型实施例中防护罩所需包覆的靶材40为圆柱形，则该包覆腔可设置为圆柱形包覆腔，如果另一靶材40为其他形状，则该包覆腔的具体形状也可做适应性调整。

在一些实施例中，该第一侧面板12和第二侧面板22均可为弧形板，该第一侧面板12的圆心角和第二侧面板22的圆心角均可设置成例如180°，这样，第一侧面板12和第二侧面板22对接后，就能够形成一个完整的圆柱形包覆腔。当然，该第一侧面板12和第二侧面板22的圆心角也可不同。第一侧面板12和第二侧面板22的形状也不仅限于圆柱形，只要能够形成与靶材40的形状相对应的保护腔即可。

在一些实施例中，该第一端面板11和第二端面板21均可为半圆环形板，同样的，该第一端面板11和第二端面板21的圆心角也可设置成例如180°，这样第一端面板11和第二端面板21不仅分别与第一侧面板12和第二侧面板22的圆心角相对应，而且，对接后能够形成一个圆环形端面板，实际生产时，圆环形端面板中部的圆孔用于套设在靶材40端部的定位环上。

在一些实施例中，该第一端面板11和第二端面板21分别沿包覆腔的边缘向外侧延伸形成遮挡部14，也即，第一端面板11包括位于第一侧面板12内侧的用于形成包覆腔的包覆部13以及位于第一侧面板12的外侧的遮挡部14，该第二端面板21也包括位于第二侧面板22内侧的用于形成包覆腔的包覆部13以及位于第二侧面板22的外侧的遮挡部14。靶材40喷涂时，通常沿圆柱形靶材的径向对靶材40的侧面进行喷涂，喷涂物不仅能够喷涂到靶材40的侧面上，而且还会随着气流向两侧扩散并附着在其他装置的表面或底面上。通过设置该遮挡部14，能够截断住粉末向靶材40两侧扩散的路径，避免附着在靶材40表面的粉末飘落至其他装置的表面或底面上，有益于保持生产区域整洁，降低清洁成本。

在一些实施例中，该第一罩体10包括两个对接端，即第一对接端和第二对接端，第二罩体20也包括两个对接端，即第三对接端和第四对接端，第一罩体10的两个对接端分别用于与第二罩体20的两个对接端对接。具体的，第一罩体10的第一对接端用于第二罩体20的第三对接端对接，第一罩体10的第二对接端用于与第二罩体20的第四对接端对接。本实施例中的连接机构30包括第一卡接组件和第二卡接组件，第一卡接组件用于连接第一对接端和第三对接端，第二卡接组件用于连接第二对接端和第四对接端，从而通过两个卡接组件将第一罩体10和第二罩体20连接成一个完整的防护罩。卡接结构装拆方便，并且在拆除后各组成部分仍然与第一罩体10和第二罩体20保持连接，不容易丢失和遗漏。

在一些实施例中，该第一卡接组件包括第一凸块32和第一锁扣31，第一凸块32设置在第一罩体10的第一侧面板12的外侧且靠近第一罩体10的第一对接端，第一锁扣31设置在第二罩体20的第二侧面板22的外侧且靠近第二罩体20的第三对接端，第一对接端和第三对接端对接后，第一锁扣31能够卡扣在第一凸块32上从而将第一对接端和第三对接端连接在一起。第二卡接组件包括第二凸块34和第二锁扣33，第二锁扣33设置在第一罩体10的第一侧面板12的外侧且靠近第一罩体10的第二对接端，第二凸块34设置在第二罩体20的第二侧面板22的外侧且靠近第二罩体20的第四对接端，第二对接端和第四对接端对接后，第二锁扣33能够卡扣在第二凸块34上从而将第二对接端和第四对接端连接在一起。当然，第一卡接组件和第二卡接组件也可采用其他类型的卡接结构。

在一些实施例中，该连接机构30还可包括分别位于第一罩体10和第二罩体20上的至少一个定位槽36和至少一个定位柱35，第一罩体10和第二罩体20对接时，可首先将定位柱35插接在对应的定位槽36内，以初步固定第一罩体10和第二罩体20，避免在连接第一卡接组件和第二卡接组件过程中第一罩体10和第二罩体20互相脱开，不仅能够使该防护罩安装更加方便，而且使防护罩安装后更加牢固。

具体的，可在第一罩体10的第一对接端的端面和第二罩体20的第四对接端的端面上各设有至少一个定位槽36。本实施例中，在第一侧面板12的第一对接端的端面上设置了三个定位槽36，在第一端面板11的第一对接端的端面上设置了三个定位槽36，同样的，在第二侧面板22的第四对接端的端面上设置了三个定位槽36，在第二端面板21的第四对接端的端面上设置了三个定位槽36。

相对应的，可在第一罩体10的第二对接端的端面和第二罩体20的第三对接端的端面上各设有至少一个定位柱35。本实施例中，在第一侧面板12的第二对接端的端面上设置了三个定位柱35，在第一端面板11的第二对接端的端面上设置了三个定位柱35，并且，在第二侧面板22的第三对接端的端面上设置了三个定位柱35，在第二端面板21的第三对接端的端面上设置了三个定位柱35。当然，定位柱35和定位槽36的具体布设方式可根据实际需要调整，不仅限于上述位置，也不仅限于上述数量，只要能够通过将定位柱35插接在定位槽36内实现第一罩体10和第二罩体20的初步连接即可。还需说明的是，在另外一些实施例中，也可仅采用定位槽36和定位柱35的方式实现第一罩体10和第二罩体20的连接。

本实用新型实施例的靶材喷涂防护罩，第一罩体10和第二罩体20通过连接机构30实现连接，连接后能够形成用于包覆靶材40的端部的包覆腔，结构简单，拆装方便，有益于提高生产效率，降低生产成本。

以上描述旨在是说明性的而不是限制性的。例如，上述示例(或其一个或更多方案)可以彼此组合使用。例如本领域普通技术人员在阅读上述描述时可以使用其它实施例。另外，在上述具体实施方式中，各种特征可以被分组在一起以简单化本实用新型。这不应解释为一种不要求保护的公开的特征对于任一权利要求是必要的意图。相反，本实用新型的主题可以少于特定的公开的实施例的全部特征。从而，以下权利要求书作为示例或实施例在此并入具体实施方式中，其中每个权利要求独立地作为单独的实施例，并且考虑这些实施例可以以各种组合或排列彼此组合。本实用新型的范围应参照所附权利要求以及这些权利要求赋权的等同形式的全部范围来确定。

以上实施例仅为本实用新型的示例性实施例，不用于限制本实用新型，本实用新型的保护范围由权利要求书限定。本领域技术人员可以在本实用新型的实质和保护范围内，对本实用新型做出各种修改或等同替换，这种修改或等同替换也应视为落在本实用新型的保护范围内。