一种3D窄带滤光片溅射镀膜用对夹式夹具的制作方法

文档序号:19402007发布日期:2019-12-13 19:27阅读:438来源:国知局
一种3D窄带滤光片溅射镀膜用对夹式夹具的制作方法

本实用新型涉及夹具技术领域,具体为一种3d窄带滤光片溅射镀膜用对夹式夹具。



背景技术:

窄带滤光片,是从带通滤光片中细分出来的,其定义与带通滤光片相同,也就是这种滤光片在特定的波段允许光信号通过,而偏离这个波段以外的两侧光信号被阻止,窄带滤光片的通带相对来说比较窄,一般为中心波长值的5%以下。

溅射镀膜技术是用离子轰击靶材表面,把靶材的原子被击出的现象称为溅射。溅射产生的原子沉积在基体表面成膜称为溅射镀膜。通常是利用气体放电产生气体电离,其正离子在电场作用下高速轰击阴极靶体,击出阴极靶体原子或分子,飞向被镀基体表面沉积成薄膜。

现有的用于3d窄带滤光片溅射镀膜用的对夹式夹具在使用时,当第一面镀膜完成后,需要将夹具拆卸下来对滤光片进行清洗,之后再将滤光片安装到夹具上进行第二次镀膜,使用较为麻烦,工作效率较低。



技术实现要素:

本实用新型的目的在于提供一种3d窄带滤光片溅射镀膜用对夹式夹具旨在改善现有的用于3d窄带滤光片溅射镀膜用的对夹式夹具在使用时存在的问题。

本实用新型是这样实现的:

一种3d窄带滤光片溅射镀膜用对夹式夹具,包括对夹式夹具底座、对夹式夹具顶盖和滤光片固定架,所述对夹式夹具底座的表面上开设有滤光片固定架安装槽,所述滤光片固定架安装槽的内部开设有滤光片安装槽,所述滤光片固定架安装槽的表面上设置有两个滤光片固定架定位凸出,两个所述滤光片固定架定位凸出对称设置,所述滤光片固定架正面的表面上环形分布有滤水槽,所述滤光片固定架上开设有与滤光片固定架定位凸出相配合的两个定位豁口,所述滤光片固定架正面的表面上设置有两个对夹式夹具顶盖定位凸出,且两个对夹式夹具顶盖定位凸出对称设置,所述滤光片固定架的背面安装有十字固定架,所述滤光片固定架的边缘位置开设有两个对称设置的第一配合槽,所述对夹式夹具顶盖的边缘位置开设有与两个第一配合槽相配合的第二配合槽,所述对夹式夹具顶盖的表面上开设有与对夹式夹具顶盖定位凸出相配合的定位通孔。

进一步的,所述滤光片固定架的背面表面上开设有十字固定架安装槽,所述十字固定架通过螺丝固定在十字固定架安装槽的内部,且十字固定架的厚度等于十字固定架安装槽的深度。

进一步的,所述对夹式夹具底座、对夹式夹具顶盖和滤光片固定架的整体均设置为环形结构,所述滤光片固定架安装槽与滤光片安装槽的横截面呈阶梯状。

进一步的,所述对夹式夹具顶盖定位凸出与滤光片固定架一体成型,所述滤光片固定架定位凸出与对夹式夹具底座一体成型。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:本实用新型在使用时,先将3d窄带滤光片放置到滤光片安装槽的内部,之后将滤光片固定架放置到滤光片固定架安装槽的内部,在此过程中,通过滤光片固定架定位凸出和定位豁口的相互配合,使得滤光片固定架的安装更加精准,然后将对夹式夹具顶盖安装到滤光片固定架的顶部,在此过程中通过对夹式夹具顶盖定位凸出和定位通孔的相互配合,使得对夹式夹具顶盖的安转更为精准,当第一面镀膜完成后需要对3d窄带滤光片进行清洗时,通过在滤光片固定架的表面上开设有滤水槽,使得本实用新型可以无需拆卸即可直接进行超声波清洗,之后镀制第二面镀膜,可以有效的提高3d窄带滤光片的镀膜效率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施方式的技术方案,下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍,应当理解,以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例,因此不应被看作是对范围的限定,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1是本实用新型第一实施例的一种3d窄带滤光片溅射镀膜用对夹式夹具的对夹式夹具底座结构示意图;

图2是图1所示的一种3d窄带滤光片溅射镀膜用对夹式夹具的对夹式夹具底座截面结构示意图;

图3是图1所示的一种3d窄带滤光片溅射镀膜用对夹式夹具的对夹式夹具顶盖结构示意图;

图4是图1所示的一种3d窄带滤光片溅射镀膜用对夹式夹具的滤光片固定架正面结构示意图;

图5是图1所示的一种3d窄带滤光片溅射镀膜用对夹式夹具的滤光片固定架背面结构示意图;

图6是图1所示的一种3d窄带滤光片溅射镀膜用对夹式夹具的对夹式夹具底座与滤光片固定架安装示意图;

图7是图1所示的一种3d窄带滤光片溅射镀膜用对夹式夹具的整体结构示意图。

图中:1、对夹式夹具底座;2、对夹式夹具顶盖;3、滤光片固定架;4、滤光片固定架安装槽;5、对夹式夹具顶盖定位凸出;6、滤光片固定架定位凸出;7、定位通孔;8、第二配合槽;9、第一配合槽;10、定位豁口;11、十字固定架;12、螺丝;13、滤水槽;14、十字固定架安装槽;15、滤光片安装槽。

具体实施方式

为使本实用新型实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本实用新型实施方式中的附图,对本实用新型实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施方式是本实用新型一部分实施方式,而不是全部的实施方式。基于本实用新型中的实施方式,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式,都属于本实用新型保护的范围。因此,以下对在附图中提供的本实用新型的实施方式的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围,而是仅仅表示本实用新型的选定实施方式。基于本实用新型中的实施方式,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式,都属于本实用新型保护的范围。

参照图1、图2、图3和图4所示,一种3d窄带滤光片溅射镀膜用对夹式夹具,包括对夹式夹具底座1、对夹式夹具顶盖2和滤光片固定架3,对夹式夹具底座1的表面上开设有滤光片固定架安装槽4,滤光片固定架安装槽4的内部开设有滤光片安装槽15,滤光片固定架安装槽4的表面上设置有两个滤光片固定架定位凸出6,两个滤光片固定架定位凸出6对称设置,滤光片固定架3正面的表面上环形分布有滤水槽13,滤光片固定架3上开设有与滤光片固定架定位凸出6相配合的两个定位豁口10,滤光片固定架3正面的表面上设置有两个对夹式夹具顶盖定位凸出5,且两个对夹式夹具顶盖定位凸出5对称设置,滤光片固定架3的背面安装有十字固定架11,滤光片固定架3的边缘位置开设有两个对称设置的第一配合槽9,对夹式夹具顶盖2的边缘位置开设有与两个第一配合槽9相配合的第二配合槽8,对夹式夹具顶盖2的表面上开设有与对夹式夹具顶盖定位凸出5相配合的定位通孔7。

参照图5所示,滤光片固定架3的背面表面上开设有十字固定架安装槽14,十字固定架11通过螺丝12固定在十字固定架安装槽14的内部,且十字固定架11的厚度等于十字固定架安装槽14的深度。

参照图1、图2、图3和图4所示,对夹式夹具底座1、对夹式夹具顶盖2和滤光片固定架3的整体均设置为环形结构,滤光片固定架安装槽4与滤光片安装槽15的横截面呈阶梯状。

参照图1和图4所示,对夹式夹具顶盖定位凸出5与滤光片固定架3一体成型,滤光片固定架定位凸出6与对夹式夹具底座1一体成型。

本实用新型的工作原理是:本实用新型在使用时,先将3d窄带滤光片放置到滤光片安装槽15的内部,之后将滤光片固定架3放置到滤光片固定架安装槽4的内部,在此过程中,通过滤光片固定架定位凸出6和定位豁口10的相互配合,使得滤光片固定架3的安装更加精准,然后将对夹式夹具顶盖2安装到滤光片固定架3的顶部,在此过程中通过对夹式夹具顶盖定位凸出5和定位通孔7的相互配合,使得对夹式夹具顶盖2的安转更为精准,当第一面镀膜完成后需要对3d窄带滤光片进行清洗时,通过在滤光片固定架3的表面上开设有滤水槽13,使得本实用新型可以无需拆卸即可直接进行超声波清洗,之后镀制第二面镀膜,可以有效的提高3d窄带滤光片的镀膜效率。

以上所述仅为本实用新型的优选实施方式而已,并不用于限制本实用新型,对于本领域的技术人员来说,本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。

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