一种旋转靶打磨机的制作方法

本实用新型涉及金属打磨机技术领域，尤其是一种旋转靶打磨机。

背景技术：

靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。

靶材中的旋转靶生产出来后为了提高整个零件的质量，需要利用打磨装置对旋转靶外表面进行打磨，现有的打磨装置，一般将旋转靶放置于传动轴上端面，传动轴移动的过程中，可能也会造成旋转靶自身位置的移动，并且需要人工对旋转靶推动至打磨头处进行打磨，由于人为的误差，不可避免的会影响旋转靶整体的打磨效果。

因此，有必要设计一种旋转靶打磨机。

技术实现要素：

本实用新型的目的是提供一种旋转靶打磨机，具有能对不同直径的旋转靶均进行很好的固定作用，然后打磨装置的可移动保证了对旋转靶的精度的控制，提高了最终的打磨效果。

本实用新型的上述实用新型目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种旋转靶打磨机，包括有机架，机架包括有工作面，所述工作面两端设置有固定座，所述固定座通过螺纹结构连接有推动装置，所述推动装置深入旋转靶内径，所述推动装置连接固定有卡接装置，所述卡接装置与旋转靶内壁面面卡接固定；所述固定座侧面固定有沿工作面长度方向贯穿的滑槽，所述滑槽上端面滑动连接有打磨装置，所述打磨装置与电机连接固定。

通过采用上述技术方案，通过将设有推动装置与螺纹的配合，使得推动装置一端发生相对的位移，保证卡接装置能对不同长度的旋转靶作业，同时卡接装置长度可调节，保证装置能对不同直径大小的旋转靶进行固定，同时通过设有的推动杆使得与旋转靶发生作用的打磨装置，相应的能进行调节，本装置通过可调节装置的设置，使得装置能实现对不同型号的靶材固定和打磨，有效的提高了装置的适用范围和企业的经济效益。

本实用新型进一步设置为：所述固定座上设置有沿长度方向将固定座贯穿的螺孔；所述推动装置包括有螺纹杆，所述螺纹杆与螺孔转动连接。

通过采用上述技术方案，利用螺纹杆与螺孔的配合实现装置对不同直径的旋转靶的固定，使得装置能适用于不同直径的旋转靶。

本实用新型进一步设置为：所述螺纹杆一端连接有转轮。

通过采用上述技术方案，通过设有的转轮方便对螺纹杆的调节。

本实用新型进一步设置为：所述螺纹杆背离固定座一端固定有延伸板,所述延伸板上设置有贯穿孔，所述卡接装置包括有轴承，所述轴承套接固定于贯穿孔内，所述轴承上套接固定有与螺纹杆相平行的转动轴，所述转动轴由外接电机进行带动转动。

通过采用上述技术方案，利用设有的被电机带动的转动轴，使得转动轴能相对于固定座发生转动，同时使得被卡接装置卡接的旋转靶一同转动，方便打磨装置对旋转靶的打磨。

本实用新型进一步设置为：所述转动轴背离延伸板一端固定连接有卡接块，所述插接板侧面连接固定有气缸，所述气缸一端连接固定有卡接板，所述卡接板为橡胶材质的弧形板体。

通过采用上述技术方案，通过设有的气缸与卡接板的配合，实现装置对旋转靶的固定作用，同时气缸的长度可调节，能适用与不同的直径大小。

本实用新型进一步设置为：所述打磨装置包括有安装座，所述安装座与第一推动杆连接固定，所述第一推动杆一端连接固定有安装座，所述安装座上设置有第二推动杆，所述第二推动杆一侧连接有打磨轮，所述打磨轮由外接电机带动进行转动作业。

通过采用上述技术方案，通过设有的推动杆的装置，能实现对打磨装置位置的调节，以适应对不同直径的旋转靶进行打磨的需求。

本实用新型进一步设置为：所述滑槽形状为t形槽，所述滑槽侧面设置有啮合槽；所述固定座下端面设置有滑块，所述滑块侧面设置有转动齿轮，所述转动齿轮与有电机带动转动，所述转动齿轮与啮合槽啮合转动。

通过采用上述技术方案，利用转动齿轮与啮合槽的配合，实现对打磨装置的移动，使打磨装置实现位置的调节，方便了打磨装置对整段旋转靶的打磨。

本实用新型进一步设置为：所述推动杆上端贴合固定有储水箱，所述储水箱下端连接有喷水头，所述喷水头将清水喷射到打磨轮。

通过采用上述技术方案，装置设有降温装置，能有效的延长装置持续工作的能力。

综上所述，本实用新型的有益技术效果为：

1.通过设有的推动装置能对卡接装置进行位置上的移动使得装置能对不同长度旋转靶进行固定；

2.卡接装置设有的气缸以及气缸一端连接固定的卡接板，使得能从内侧面进行卡接固定作用，使得装置能对不同直径大小的旋转靶都进行良好的固定作用；

3.打磨装置的可移动，保证了对旋转靶打磨精度的控制，提高最终的打磨效果。

附图说明

图1是本实用新型的整体结构示意图。

图2是本实用新型打磨装置与工作面连接结构的示意图。

图中，1、机架；11、工作面；12、固定座；121、螺孔；13、滑槽；2、储水箱；21、喷水头；3、推动装置；31、螺纹杆；32、转轮；33、延伸板；4、卡接装置；41、轴承；42、转动轴；43、卡接块；44、气缸；45、卡接板；5、电机；6、打磨装置；61、安装座；62、第一推动杆；63、第二推动杆；64、滑块；65、转动齿轮；66、打磨机。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型作进一步详细说明。

如图1所示，一种旋转靶打磨机，包括有机架1，机架1为矩形的框体，机架1上端包括有工作面11，工作面11下端四角位置设置有固定于地面的支撑杆，工作面11两端设置有固定座12，固定座12为矩形的板体，固定座12上设置有沿长度方向将固定座12横向贯穿的螺孔121，固定座12通过螺孔121连接有推动装置3，推动装置3深入旋转靶内径进行作业，推动装置3包括有螺纹杆31，螺纹杆31与螺孔121转动连接，螺纹杆31一端连接有转轮32，转轮32方便了对传动装置3的前后移动，螺纹杆31背离固定座12一端转动固定有延伸板33，延伸板33为矩形板体,延伸板33上设置有贯穿孔，推动装置3通过延伸板33连接有卡接装置4，卡接装置4与旋转靶内壁面面卡接固定，卡接装置4包括有固定于贯穿孔内的轴承41，轴承41上套接固定有与螺纹杆31相平行的转动轴42，转动轴42由外接电机进行带动转动，转动轴42背离延伸板33一端固定连接有卡接块43，卡接块43侧面连接固定有气缸44，气缸44一端连接固定有卡接板45，卡接板45为橡胶材质的弧形板体，卡接板45与旋转靶连接固定并带动旋转靶的转动。

如图1和附图2所示，固定座12侧面固定有沿工作面11长度方向贯穿的滑槽13，滑槽13上端面滑动连接有打磨装置6，打磨装置6与电机5连接固定，打磨装置6包括有安装座61和第一推动杆62，安装座61和第一推动杆62连接固定，第一推动杆62用于打磨装置6横向打磨范围的调节，第一推动杆62一端连接固定有安装座61，安装座61上设置有能进行纵向运动的第二推动杆63，第二推动杆63侧面连接固定有打磨轮66，打磨轮66由外接电机带动进行转动作业，第二推动杆62上端贴合固定有储水箱2，储水箱2下端连接有喷水头21，喷水头21将清水喷射到打磨轮66。

如图2所示，滑槽13形状为t形槽，滑槽13侧面设置有啮合槽；固定座61下端面设置有滑块64，滑块64侧面设置有转动齿轮65，转动齿轮65由电机5通过传动带带动转动，转动齿轮65与啮合槽啮合转动。

本实施例的实施原理为：当需要对旋转靶进行打磨时，将旋转靶运输至装置中间时根据旋转靶的长度，转动固定座12上的推动装置3，通过转轮32的转动带动螺纹杆31的调节，使得卡接装置4的相对位置发生移动，能适应不同长度的旋转靶的应用，当卡将装置4移动至旋转靶内部后利用设有的气缸44的推动，使得卡接板45与旋转靶内壁卡接固定，并能通过电机使转动轴42发生转动，使得旋转靶也进行转动，同时打磨装置6能在工作面11上进行滑动进而对旋转靶进行均匀的打磨。

本具体实施方式的实施例均为本实用新型的较佳实施例，并非依此限制本实用新型的保护范围，故：凡依本实用新型的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本实用新型的保护范围之内。