技术总结
本实用新型公开了一种MO源供应装置，包括液体MO源储存罐、固体MO源储存罐和有机溶剂吸附柱，所述固体MO源储存罐的进气口处连接有一高纯载气进气管，固体MO源储存罐的出气口处连接有一高纯载气出气管，该高纯载气出气管的出气端从液体MO源储存罐的左侧插入到液体MO源储存罐的底部，液体MO源储存罐的右侧出口连接有一MO源供给管，该MO源供给管的出口与一有机溶剂吸附柱连接，有机溶剂吸附柱的出口连接MO源钢瓶，所述固体MO源储存罐中储存有固体MO源，所述液体MO源储存罐中储存有溶解于有机溶剂的MO源。本实用新型将液体MO源储存罐和固体MO源储存罐结合，保证充入MO源钢瓶内的MO源浓度，并且可以有效去除MO源中的有机溶剂。
技术研发人员：顾宏伟;茅嘉原;严金林;邓辉
受保护的技术使用者：苏州普耀光电材料有限公司
技术研发日：2019.01.31
技术公布日：2019.11.29