一种用于真空蒸镀的送料机构的制作方法

本实用新型涉及真空蒸镀设备领域，尤其涉及一种用于真空蒸镀的送料机构。

背景技术：

amoled(active-matrixorganiclight-emittingdiode，有源矩阵有机发光二极体或主动矩阵有机发光二极体)目前较为成熟的制备工艺是有机真空蒸镀工艺，有机真空蒸镀工艺主要是在真空腔内，将装有有机材料的坩埚通过加热进行蒸镀成膜。

具体的，将玻璃放入蒸镀腔内的挂钩上，并通过挂钩的移动将该玻璃放置在蒸镀光罩上，通过蒸镀光罩上的通孔在玻璃上形成特定蒸镀图形。然而现有挂钩通常是仅在玻璃下面搭接，进而支撑玻璃并移动，但玻璃因为重力原因，导致其中间下垂，使得玻璃在与蒸镀光罩对位放下时，因为摩擦、平铺移动等原因造成偏移，影响对位精度。且厚度越薄的玻璃形变量越大，会导致对位精度偏差越大，甚至因为形变量过大而导致破片，同时造成蒸镀出不合格的产品，提高了生产成本。

技术实现要素：

为此，需要提供一种用于真空蒸镀的送料机构，解决在放置需要蒸镀的玻璃时，发生偏移的问题。

为实现上述目的，发明人提供了一种用于真空蒸镀的送料机构，包括夹具单元、机械臂、蒸镀空腔和蒸镀光罩；所述蒸镀光罩设置在蒸镀空腔内，且蒸镀光罩位于蒸镀空腔内的坩埚上方开口处，所述机械臂设置在蒸镀空腔的一侧上；所述夹具单元包括固定架、第一挂钩、第二挂钩、横向滑动单元、夹片单元和第一驱动单元，所述固定架设置在蒸镀空腔的另一侧上，横向滑动单元设置在第一挂钩与第二挂钩之间，且第一挂钩与第二挂钩对称设置在在横向滑动单元的两侧上；所述第一驱动单元设置在固定架上，第一驱动单元的输出轴设置在横向滑动单元的固定架上，夹片单元设置在第一挂钩与第二挂钩之间，且夹片单元位于第一挂钩和第二挂钩的上方，所述第一挂钩和第二挂钩位于蒸镀空腔的开口上方，机械臂用于将需要蒸镀的玻璃放置于第一挂钩的倒钩和第二挂钩的倒钩上，横向滑动单元用于带动第一挂钩和第二挂钩横向移动。

进一步地，所述夹片单元包括第一夹板、第二夹板、第二驱动单元和第三驱动单元，第二驱动单元设置在第一挂钩的侧面上，第一夹板设置在第二驱动单元的输出轴上，且第一夹板位于第一挂钩的倒钩上方，第三驱动单元设置在第二挂钩的侧面上，第二夹板设置在第三驱动单元的输出轴上，且第二夹板位于第二挂钩的倒钩上方。

进一步地，所述第二驱动单元和第三驱动单元为气缸、油缸或直线电机。

进一步地，所述机械臂的夹爪端设置有托盘，所述托盘的顶面设置有支撑凸起。

进一步地，所述蒸镀光罩的支撑板上设置有校准槽口，校准槽口用于对第一挂钩和第二挂钩在放置玻璃于蒸镀光罩上时进行限位。

进一步地，所述横向滑动单元包括电动机、第一涡杆连杆、第二涡杆连杆和连接套，所述电动机设置在连接套的外侧面上，电动机的输出轴贯穿连接套的侧壁设置有齿轮，第一涡杆连杆的连接端设置在第一挂钩的顶端上，第一涡杆连杆的驱动端设置在连接套内，且第一涡杆连杆与齿轮的一侧相互啮合设置，第二涡杆连杆的连接端设置在第二挂钩的顶端上，第二涡杆连杆的驱动端设置在连接套内，且第二涡杆连杆与齿轮的另一侧相互啮合设置。

进一步地，所述第一驱动单元为气缸、油缸或直线电机。

区别于现有技术，上述技术方案通过机械臂对需要蒸镀的玻璃原料进行输送，并将玻璃放置于第一挂钩与第二挂钩的倒钩上，此时通过夹片单元将第一挂钩与第二挂钩上的玻璃夹紧，继而使用横向滑动单元将玻璃横向拉紧，使得被夹紧在第一挂钩与第二挂钩上的玻璃中部不会发生下垂的情况。因此再将玻璃放置于蒸镀光罩上时，可以与蒸镀光罩的平面保持水平，以防止玻璃在对位后放下时，因为摩擦造成偏移，并通过夹持和拉伸的方式防止厚度较薄的玻璃因为形变量过大而破片。在放下玻璃后，夹具单元松开玻璃，继而对蒸镀空腔进行抽真空处理，再对玻璃进行蒸镀，提高了产品的生产效率和产品质量。

附图说明

图1为具体实施方式所述的用于真空蒸镀的送料机构的示意图；

图2为具体实施方式所述的用于真空蒸镀的送料机构的结构图；

图3为具体实施方式所述的用于真空蒸镀的送料机构的横向滑动单元的局部示意图。

附图标记说明：

10、夹具单元；11固定架；12、第一挂钩；13、第二挂钩；

14、横向滑动单元；15、夹片单元；16、第一驱动单元；

141、电动机；142、第一涡杆连杆；143、第二涡杆连杆；

144、连接套；1411、齿轮；151、第一夹板；152、第二夹板；

153、第二驱动单元；154、第三驱动单元；

20、机械臂；21、托盘；211、支撑凸起；

30、蒸镀空腔；

40、蒸镀光罩；41、校准槽口；

具体实施方式

为详细说明技术方案的技术内容、构造特征、所实现目的及效果，以下结合具体实施例并配合附图详予说明。

请参阅图1、图2和图3，本实施例提供一种用于真空蒸镀的送料机构，包括夹具单元10、机械臂20、蒸镀空腔30和蒸镀光罩40；所述蒸镀光罩设置在蒸镀空腔内，且蒸镀光罩位于蒸镀空腔内的坩埚上方开口处，所述机械臂设置在蒸镀空腔的一侧上；所述夹具单元包括固定架11、第一挂钩12、第二挂钩13、横向滑动单元14、夹片单元15和第一驱动单元16，所述固定架设置在蒸镀空腔的另一侧上，横向滑动单元设置在第一挂钩与第二挂钩之间，且第一挂钩与第二挂钩对称设置在在横向滑动单元的两侧上；所述第一驱动单元设置在固定架上，第一驱动单元的输出轴设置在横向滑动单元的固定架上，夹片单元设置在第一挂钩与第二挂钩之间，且夹片单元位于第一挂钩和第二挂钩的上方，所述第一挂钩和第二挂钩位于蒸镀空腔的开口上方，机械臂用于将需要蒸镀的玻璃放置于第一挂钩的倒钩和第二挂钩的倒钩上，横向滑动单元用于带动第一挂钩和第二挂钩横向移动。所述第一驱动单元为气缸、油缸或直线电机。

本实施例中通过机械臂对需要蒸镀的玻璃进行输送，将机械臂伸入蒸镀空腔内，把玻璃放置于第一挂钩与第二挂钩的倒钩上，继而移出机械臂。此时通过夹片单元将第一挂钩与第二挂钩上的玻璃夹紧，并使用横向滑动单元将玻璃横向拉紧，使得玻璃与蒸镀光罩的顶面平面呈现相互平行的状态，即保证被夹紧在第一挂钩与第二挂钩上的玻璃的中部不会发生下垂的情况，防止玻璃在对位后放下时，因为摩擦造成偏移，并通过夹持和拉伸的方式防止厚度较薄的玻璃因为形变量过大而破片。此时再进行校准对位时，可以有效提升蒸镀腔内玻璃与蒸镀光罩的对位精度，提高蒸镀精度，提升蒸镀良率，降低生产成本。

当精确对位后，通过第一驱动单元带动第一挂钩、第二挂钩、横向滑动单元和夹片单元一起向下移动，直至第一挂钩与第二挂钩顶靠放置在蒸镀光罩上，同时展平的玻璃可以对位的放置在蒸镀光罩上，此时夹具单元松开玻璃，并通过第一驱动单元将整个夹具单元从蒸镀空腔内移出，继而对蒸镀空腔进行抽真空处理，再通过坩埚内的有机材料的加热对玻璃进行蒸镀，提高了产品的生产效率和产品质量。通过夹持拉伸的方式进行玻璃传送，能够有效防止厚度较薄的玻璃因为形变量过大而破片，造成精细金属掩模版损伤，降低制造成本。

本实施例中所述夹片单元包括第一夹板151、第二夹板152、第二驱动单元153和第三驱动单元154，第二驱动单元设置在第一挂钩的侧面上，第一夹板设置在第二驱动单元的输出轴上，且第一夹板位于第一挂钩的倒钩上方，第三驱动单元设置在第二挂钩的侧面上，第二夹板设置在第三驱动单元的输出轴上，且第二夹板位于第二挂钩的倒钩上方。所述第二驱动单元和第三驱动单元为气缸、油缸或直线电机。

本实施例中所述机械臂的夹爪端设置有托盘21，所述托盘的顶面设置有支撑凸起211。为了避免机械臂在抓夹玻璃时，对玻璃造成磨损，因此通过支撑托起的方式，将玻璃放置在机械臂的托盘上。在托盘上具有支撑凸起，而支撑凸起采用局部支撑方式放置玻璃，使得在输送玻璃时，避免玻璃与机械臂相互摩擦，造成玻璃表面被磨损，提高了送料机构的实用性。

本实施例中所述蒸镀光罩的支撑板上设置有校准槽口41，校准槽口用于对第一挂钩和第二挂钩在放置玻璃于蒸镀光罩上时进行限位。为了使得在将第一挂钩与第二挂钩放置在蒸镀光罩时，玻璃与蒸镀光罩可以准确对位，因此通过校准槽口对第一挂钩与第二挂钩进行限位。即，在第一挂钩与蒸镀光罩线接触的位置处设置一个槽口，对应的在第二挂钩与蒸镀光罩线接触的位置处也设置一个槽口，因此当通过第一驱动单元驱动第一挂钩与第二挂钩下降时，第一挂钩与第二挂钩可以对嵌合在其对应的槽口内，保证了玻璃可以贴合在蒸镀光罩上。

本实施例中所述横向滑动单元包括电动机141、第一涡杆连杆142、第二涡杆连杆143和连接套144，所述电动机设置在连接套的外侧面上，电动机的输出轴贯穿连接套的侧壁设置有齿轮1411，第一涡杆连杆的连接端设置在第一挂钩的顶端上，第一涡杆连杆的驱动端设置在连接套内，且第一涡杆连杆与齿轮的一侧相互啮合设置，第二涡杆连杆的连接端设置在第二挂钩的顶端上，第二涡杆连杆的驱动端设置在连接套内，且第二涡杆连杆与齿轮的另一侧相互啮合设置。启动电动机带动齿轮转动，通过涡轮涡杆的方式可以通过在连接套内带动第一涡杆连杆和第二涡杆连杆横向移动。例如：同时带动第一涡杆连杆和第二涡杆连杆朝外移动，进而带动第一挂钩与第二挂钩移动，达到对第一挂钩与第二挂钩上夹持的玻璃进行拉紧，保持玻璃与蒸镀光罩的平面水平的状态，因此在进行放置时，可以有效的避免玻璃偏移，提高了蒸镀的质量的和生产效率。

需要说明的是，尽管在本文中已经对上述各实施例进行了描述，但并非因此限制本实用新型的专利保护范围。因此，基于本实用新型的创新理念，对本文所述实施例进行的变更和修改，或利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，直接或间接地将以上技术方案运用在其他相关的技术领域，均包括在本实用新型专利的保护范围之内。