一种真空镀膜机冷却装置的制作方法

本实用新型涉及一种真空镀膜机冷却装置，属于镀膜机设备技术领域。

背景技术：

真空镀膜是指在真空环境下，将某种金属或金属化合物以气相的形式沉积到材料表面(通常是非金属材料)，属于物理气相沉积工艺，真空镀膜技术广泛应用到电子、宇航、包装、光伏等技术领域，当利用真空腔体在基片上对某种材料进行真空镀膜时，往往由于沉积反应或工艺要求，需要对基片进行高温加热，加热过程导致真空腔体内部温度过高，长期受热则会使真空腔体内部的机械结构发生形变，从而使真空腔体的功能失效，但现有的用于真空镀膜机的冷却装置结构都较为单一，冷却效果不够理想，不能满足实际使用需求。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种真空镀膜机冷却装置，让冷却水在导水管内形成循环进行水冷散热，同时抽风机让外机壳内部空气流动进行风冷散热，从而很好的提高了真空镀膜机的冷却效果，增加其使用寿命，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种真空镀膜机冷却装置，包括真空镀膜机腔体，所述真空镀膜机腔体外侧设置有外机壳，所述外机壳内表面与真空镀膜机腔体接触处设置有导热板，所述导热板外侧均匀分布有第一导热杆、第二导热杆，所述外机壳内腔均匀开设有导水管、导风腔，所述外机壳内腔左侧设置有第一空腔，所述第一空腔内设置有进水管，所述外机壳内腔右侧设置有第二空腔，所述第二空腔内设置有出水管，所述外机壳底部固定连接有底座，所述底座内腔设置有蓄水箱，所述进水管、出水管均与蓄水箱连通，所述蓄水箱左侧设置有水泵，所述底座内腔左侧设置有风机，所述风机通过导风管与第一空腔连通。

进一步的，所述第一导热杆、第二导热杆交错设置，且所述第一导热杆设置于导水管内，所述第二导热杆设置于导风腔内。

进一步的，所述导水管两端分别与进水管、出水管连通，所述导风腔两端分别与第一空腔、第二空腔连通。

进一步的，所述蓄水箱内腔固定设置有过滤网。

进一步的，所述底座顶部固定设置有安装座，且所述外机壳通过螺栓固定安装在安装座上。

进一步的，所述风机进风口内设置有防尘网，且所述第二空腔右侧均开设有散热孔。

本实用新型的有益效果是：本实用新型所涉及的一种真空镀膜机冷却装置，通过设置导热板，在真空镀膜机工作时，腔体所产生的热量由导热板传递至外机壳内，通过设置导水管与导风腔，由水泵将蓄水箱内的冷却水输送至导水管内，将第一导热杆传递出的热量带出，由风机让导风腔内有空气流动，将第二导热杆传递出的热量排出，同时也可以将冷却液吸收的热量排出，同时进行水冷、风冷散热，能够有效降低真空镀膜机腔体表层温度，通过设置蓄水箱，便于冷却的循环使用，避免造成浪费，同时过滤网可以过滤冷却液内的杂质。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的具体实施方式一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。

图1是本实用新型一种真空镀膜机冷却装置的剖视图；

图2是本实用新型一种真空镀膜机冷却装置的外机壳截面示意图；

图3是本实用新型一种真空镀膜机冷却装置的左视图；

图中标号：1、真空镀膜机腔体；2、外机壳；3、导热板；4、第一导热杆；5、第二导热杆；6、导水管；7、导风腔；8、第一空腔；9、进水管；10、第二空腔；11、出水管；12、底座；13、蓄水箱；14、水泵；15、风机；16、过滤网；17、安装座。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

请参阅图1-图3，本实用新型提供一种技术方案：

一种真空镀膜机冷却装置，包括真空镀膜机腔体1，所述真空镀膜机腔体1外侧设置有外机壳2，所述外机壳2内表面与真空镀膜机腔体1接触处设置有导热板3，所述导热板3外侧均匀分布有第一导热杆4、第二导热杆5，在真空镀膜机工作时，腔体所产生的热量由导热板3传递至外机壳2内，所述外机壳2内腔均匀开设有导水管6、导风腔7，由水泵14将蓄水箱13内的冷却水输送至导水管6内，将第一导热杆4传递出的热量带出，由风机15让导风腔7内有空气流动，将第二导热杆5传递出的热量排出，同时也可以将冷却液吸收的热量排出，同时进行水冷、风冷散热，能够有效降低真空镀膜机腔体1表层温度，所述外机壳2内腔左侧设置有第一空腔8，所述第一空腔8内设置有进水管9，所述外机壳2内腔右侧设置有第二空腔10，所述第二空腔10内设置有出水管11，所述外机壳2底部固定连接有底座12，所述底座12内腔设置有蓄水箱13，所述进水管9、出水管11均与蓄水箱13连通，所述蓄水箱13左侧设置有水泵14，便于冷却的循环使用，避免造成浪费，同时过滤网16可以过滤冷却液内的杂质，所述底座12内腔左侧设置有风机15，所述风机15通过导风管与第一空腔8连通。

更具体而言，所述第一导热杆4、第二导热杆5交错设置，且所述第一导热杆4设置于导水管6内，所述第二导热杆5设置于导风腔7内，适当热量传递更加快速，同时提高与散热介质的接触面积，提高散热效率，所述导水管6两端分别与进水管9、出水管11连通，所述导风腔7两端分别与第一空腔8、第二空腔10连通，便于让外机壳2内有空气流动，同时也可以向内部注入冷却液，所述蓄水箱13内腔固定设置有过滤网16，便于对冷却液进行过滤，所述底座12顶部固定设置有安装座17，且所述外机壳2通过螺栓固定安装在安装座17上，增加整体安装的强度，提高其工作时的安全性，所述风机15进风口内设置有防尘网，且所述第二空腔10右侧均开设有散热孔，便于进行风冷散热。

本实用新型工作原理：在使用时，在真空镀膜机腔体1工作所产生的热量由导热板3传递至外机壳2内，由水泵14将蓄水箱13内的冷却水输送至导水管6内，将第一导热杆4传递出的热量带出，由风机15让导风腔7内有空气流动，将第二导热杆5传递出的热量排出，同时也可以将冷却液吸收的热量排出，同时进行水冷、风冷散热，能够有效降低真空镀膜机腔体1表层温度。

以上为本实用新型较佳的实施方式，本实用新型所属领域的技术人员还能够对上述实施方式进行变更和修改，因此，本实用新型并不局限于上述的具体实施方式，凡是本领域技术人员在本实用新型的基础上所作的任何显而易见的改进、替换或变型均属于本实用新型的保护范围。