一种用于镀膜设备的防高温传输轨道的制作方法

本实用新型涉及pecvd镀膜设备技术领域，更具体的是涉及一种用于镀膜设备的防高温传输轨道。

背景技术：

pecvd磁控生产线是大型平面快速制备硅类膜连续生产设备、增强等离子化学沉积连续生产镀膜设备，采用射频pecvd化学气相沉积技术，沉积速率快，成膜质量好，可镀制氧化物薄膜、氮化物薄膜、氧氮化物薄膜、无定型硅薄膜和碳化硅薄膜等薄膜种类。pecvd磁控生产线由八个室组成，分别为：过渡室—加热室-镀膜四室-冷却室-过渡室，是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电脑，在局部形成等离子体，而等离子化学活性很强，很容易发生反应，在基篇上沉积出所期望的薄膜，为了使化学反应能在较低的温度下进行，利用了等离子体的活性来促进反应，因而这种cvd称为等离子体增强化学气相沉积。

镀膜设备中的传输部件将石墨框从加热室输送到下一个镀膜室，目前是直接通过同步皮带进行传输的，而同步皮带经常会因为受到加热室的高温作用而断裂，使用寿命短，造成生产线骤停，不利于连续性生产，另外，同步皮带传输结构不易组装和拆卸，不利于后期维护。

故如何解决上述技术问题，对于本领域技术人员来说很有现实意义。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于：为了解决现有镀膜设备直接通过同步皮带进行传输，同步皮带容易受到加热室的高温作用而断裂，使用寿命短，造成生产线骤停，不利于连续性生产的技术问题，本实用新型提供一种用于镀膜设备的防高温传输轨道。

本实用新型为了实现上述目的具体采用以下技术方案：

一种用于镀膜设备的防高温传输轨道，包括两根互相平行的第一转动轴和若干组传输机构，传输机构均位于两根第一转动轴之间，传输机构均包括与第一转动轴垂直的第二转动轴，第二转动轴两末端均连接有输送滚轮，输送滚轮均连接有第一锥齿轮，第一转动轴上均设置有若干与对应第一锥齿轮啮合的第二锥齿轮。

进一步地，还包括机台，第二转动轴上均套设有至少两个轴承座a，轴承座a均固定在机台上。

进一步地，输送滚轮沿其轴心方向开设有安装孔，安装孔内设置有平键，第二转动轴末端开设有与平键配合的键槽，第一锥齿轮远离输送滚轮的一端螺纹连接有沉头螺栓，第二转动轴端部开设有与沉头螺栓配合的内螺纹孔。

进一步地，第一转动轴包括若干通过联轴器连接的传动杆，每根传动杆上均套设有轴承座b，轴承座b均固定在机台上。

进一步地，第二锥齿轮内部设置有与传动杆配合的固定套，固定套上开设有若干顶丝孔。

进一步地，任一第二转动轴上设置有从动锥齿轮，从动锥齿轮啮合连接有主动锥齿轮，主动锥齿轮连接有减速器a，减速器a连接有电机a，电机a和减速器a均在机台上。

进一步地，任一第一转动轴末端连接有减速器b，减速器b连接电机b，电机b和减速器b均在机台上。

本实用新型的有益效果如下：

1、通过驱动第一转动轴或第二转动轴转动，在第一锥齿轮和第二锥齿轮的传动作用下，即可带动所有第二转动轴同步且同向转动，从而使所有第二转动轴两末端的输送滚轮同步且同向转动，输送滚轮则将石墨框往前输送到下一个加工区域，通过若干输送滚轮来作为输送部件，取代了传统的同步皮带输送方式，从根本上解决了高温的影响，使用寿命长，避免出现生产线骤停的情况，可保证生产线的连续性。

2、组装时，第二转动轴两端的键槽卡进对应输送滚轮的安装孔内的平键，便于定位安装，然后将沉头螺栓从第一锥齿轮一端旋入至第二转动轴的内螺纹孔内，从而将第二转动轴和输送滚轮紧固连接在一起，结构牢靠稳定，同时第一转动轴也通过若干传动杆一联轴器连接在一起，降低了安装难度，同时第二锥齿轮通过固定套安装到对应传动杆上，再往顶丝孔内旋入螺丝，从而将第二锥齿轮紧固在传动杆上，整个结构便于组装和拆卸，为后期维护提供了便捷性，运行时，轴承座a配合第二转动轴转动，轴承座b配合第一转动轴转动，同时轴承座a和轴承座b还起到支撑作用，使对应运动部件在机台上稳定运行。

3、驱动时，可通过电机a带动主动锥齿轮，主动锥齿轮带动从动锥齿轮，从而使第二转动轴转动，也可直接在第一转动轴末端驱动，通过电机b带动第一转动轴转动，再带动所有第二转动轴，安装灵活，安装位置可根据实际情况进行选择。

附图说明

图1是本实用新型一种用于镀膜设备的防高温传输轨道的结构示意图；

图2是本实用新型另一种实施例的结构示意图；

图3是第二转动轴和输送滚轮连接结构的拆分爆炸示意图；

图4是图1中a处的局部放大结构示意图。

附图标记：1-第一转动轴，2-传输机构，2.1-第二转动轴，2.1.1-键槽，2.2-输送滚轮，2.2.1-安装孔，2.3-第一锥齿轮，3-第二锥齿轮，4-机台，5-轴承座a，6-沉头螺栓，7-联轴器，8-轴承座b，9-固定套，9.1-顶丝孔，10-从动锥齿轮，11-主动锥齿轮，12-减速器a，13-电机a，14-减速器b.15-电机b。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型，即所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

需要说明的是，术语“第一”和“第二”等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个......”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

以下结合实施例对本实用新型的特征和性能作进一步的详细描述。

实施例1

如图1和2所示，本实施例提供一种用于镀膜设备的防高温传输轨道，包括两根互相平行的第一转动轴1和若干组传输机构2，传输机构2均位于两根第一转动轴1之间，传输机构2均包括与第一转动轴1垂直的第二转动轴2.1，第二转动轴2.1两末端均连接有输送滚轮2.2，输送滚轮2.2均连接有第一锥齿轮2.3，第一转动轴1上均设置有若干与对应第一锥齿轮2.3啮合的第二锥齿轮3。

本实施例中，通过驱动第一转动轴或第二转动轴转动，在第一锥齿轮和第二锥齿轮的传动作用下，即可带动所有第二转动轴同步且同向转动，从而使所有第二转动轴两末端的输送滚轮同步且同向转动，输送滚轮则将石墨框往前输送到下一个加工区域，通过若干输送滚轮来作为输送部件，取代了传统的同步皮带输送方式，从根本上解决了高温的影响，使用寿命长，避免出现生产线骤停的情况，可保证生产线的连续性。

实施例2

如图1到4所示，本实施例是在实施例1的基础上做了进一步优化，具体是，还包括机台4，第二转动轴2.1上均套设有至少两个轴承座a5，轴承座a5均固定在机台4上，输送滚轮2.2沿其轴心方向开设有安装孔2.2.1，安装孔2.2.1内设置有平键，第二转动轴2.1末端开设有与平键配合的键槽2.1.1，第一锥齿轮2.3远离输送滚轮2.2的一端螺纹连接有沉头螺栓6，第二转动轴2.1端部开设有与沉头螺栓6配合的内螺纹孔，第一转动轴1包括若干通过联轴器7连接的传动杆，每根传动杆上均套设有轴承座b8，轴承座b8均固定在机台4上，第二锥齿轮3内部设置有与传动杆配合的固定套9，固定套9上开设有若干顶丝孔9.1。

本实施例中，组装时，第二转动轴两端的键槽卡进对应输送滚轮的安装孔内的平键，便于定位安装，然后将沉头螺栓从第一锥齿轮一端旋入至第二转动轴的内螺纹孔内，从而将第二转动轴和输送滚轮紧固连接在一起，结构牢靠稳定，同时第一转动轴也通过若干传动杆一联轴器连接在一起，降低了安装难度，同时第二锥齿轮通过固定套安装到对应传动杆上，再往顶丝孔内旋入螺丝，从而将第二锥齿轮紧固在传动杆上，整个结构便于组装和拆卸，为后期维护提供了便捷性，运行时，轴承座a配合第二转动轴转动，轴承座b配合第一转动轴转动，同时轴承座a和轴承座b还起到支撑作用，使对应运动部件在机台上稳定运行。

实施例3

如图1所示，本实施例是在实施例1的基础上做了进一步优化，具体是，任一第二转动轴2.1上设置有从动锥齿轮10，从动锥齿轮10啮合连接有主动锥齿轮11，主动锥齿轮11连接有减速器a12，减速器a12连接有电机a13，电机a13和减速器a12均在机台4上。

实施例4

如图2所示，本实施例是实施例3的另一种实施例，具体是，任一第一转动轴1末端连接有减速器b14，减速器b14连接电机b15，电机b15和减速器b14均在机台4上。

上述实施例3和实施例4是本实用新型的两种驱动方式，可通过电机a带动主动锥齿轮，主动锥齿轮带动从动锥齿轮，从而使第二转动轴转动，也可直接在第一转动轴末端驱动，通过电机b带动第一转动轴转动，再带动所有第二转动轴，安装灵活，安装位置可根据实际情况进行选择。

以上所述，仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，本实用新型的专利保护范围以权利要求书为准，凡是运用本实用新型的说明书及附图内容所作的等同结构变化，同理均应包含在本实用新型的保护范围内。