一种物理化学气相沉积装置的制作方法

本实用新型涉及气相沉积技术领域，尤其涉及一种物理化学气相沉积装置。

背景技术：

气相沉积技术是利用气相中发生的物理、化学过程，在工件表面形成功能性或装饰性的金属、非金属或化合物涂层，气相沉积技术按照成膜机理，可分为化学气相沉积、物理气相沉积和等离子体气相沉积，物理气相沉积技术表示在真空条件下，采用物理方法，将材料固体或液体表面气化成气态原子、分子或部分电离成离子，并通过低压气体(或等离子体)过程，在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜的技术，物理气相沉积的主要方法有，真空蒸镀、溅射镀膜、电弧等离子体镀、离子镀膜，及分子束外延等，发展到目前，物理气相沉积技术不仅可沉积金属膜、合金膜、还可以沉积化合物、陶瓷、半导体、聚合物膜等，化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。

传统的气相沉积装置在对沉积完成后的产物进行取出的时候，通常都是直接在装置本体上进行操作，在装置上进行操作的时候由于装置上结构的复杂性，增加了实验操作人员的取出操作的难度，降低了沉积装置的实用效果，同时传统的气相沉积装置在进行加热操气相沉积完全完成之后，通常都是进行自然冷却，需要花费大量的时间等待气相沉积物冷却，降低了气相沉积装置的工作效率。

技术实现要素：

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种物理化学气相沉积装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种物理化学气相沉积装置，包括装置壳体，所述装置壳体的内部开设有放置室，所述放置室的内部设置有沉积箱，所述装置壳体的上表面一端铰接有装置盖板，所述装置壳体的上表面另一端设置有气体储存罐，所述装置壳体位于放置室的下方开设有传热室，所述装置壳体位于传热室的下方开设有降温抽槽，所述装置壳体的下方四个拐角位置处均设置有支腿，且支腿上贯穿有横杆，所述横杆上套设有滚轮。

优选的，所述装置壳体的正面竖直中线的顶端边缘位置处设置有固定杆，所述装置盖板与固定杆对应的位置处开设有固定槽，所述固定杆的表面开设有螺纹，所述固定杆远离装置壳体的一端套设有固定螺母。

优选的，所述放置室的内壁与固定杆对应的位置处开设有转动槽，所述装置壳体的侧壁位于转动槽的内部贯穿有转动杆，且转动杆上套设有齿轮圆辊。

优选的，所述沉积箱与齿轮圆辊对应的位置处设置有升降板，且升降板与齿轮圆辊对应的位置处开设有齿槽，所述装置壳体与升降板对应的位置处开设有升降槽。

优选的，所述装置壳体的背板与沉积箱的顶端对应的位置处开设有上定位凹槽，所述装置壳体位于上定位凹槽的内部贯穿有上旋杆，所述上旋杆上套设有上滚筒，所述装置壳体的背板与沉积箱的底端对应的位置处开设有下定位凹槽，所述装置壳体位于下定位凹槽的内部贯穿有下旋杆，所述下旋杆上套设有下滚筒。

优选的，所述装置壳体面板与背板上位于沉积箱的底端对应的位置处均开设有加热槽，两个所述加热槽的内部嵌设有加热板。

优选的，所述传热室的内部嵌设有导热板，所述降温抽槽的内部嵌设有降温箱，所述装置壳体的内部位于导热板与沉积箱之间设置有支撑板。

优选的，所述转动杆位于转动槽外部一端设置有把手，所述把手上套设有套筒。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：首先，该装置通过把手、转动杆、齿轮圆辊和升降板的设置能够在取出气相沉积完毕后，将沉积箱与装置分离，避免了装置本体上面各种复杂结构影响操作人员，降低了实验操作人员取出操作的难度，提高了沉积装置的实用效果，其次通过降温抽槽、降温箱和导热板的设置能够在气相沉积完成之后，加速装置的冷却，减少了实验人员等待所耗费的时间，提高了气相沉积装置的工作效率。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种物理化学气相沉积装置的侧视结构剖视示意图；

图2为本实用新型一种物理化学气相沉积装置的正面结构示意图；

图3为本实用新型一种物理化学气相沉积装置的a处结构放大示意图。

图中：1、装置盖板；2、上定位凹槽；3、上旋杆；4、上滚筒；5、装置壳体；6、下定位凹槽；7、下滚筒；8、下旋杆；9、加热槽；10、加热板；11、固定螺母；12、固定杆；13、固定槽；14、沉积箱；15、齿槽；16、升降板；17、放置室；18、支撑板；19、导热板；20、传热室；21、降温抽槽；22、降温箱；23、套筒；24、把手；25、转动杆；26、气体储存罐；27、支腿；28、滚轮；29、横杆；30、升降槽；31、转动槽；32、齿轮圆辊。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参照图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种物理化学气相沉积装置，包括装置壳体5，装置壳体5的内部开设有放置室17，放置室17的内部设置有沉积箱14，用于气相沉积并产出相应的产物，装置壳体5的上表面一端铰接有装置盖板1，用于将沉积箱14固定在放置室17的内部，装置壳体5的上表面另一端设置有气体储存罐26，用于储存各种气相气体，装置壳体5位于放置室17的下方开设有传热室20，用于放置导热板19，装置壳体5位于传热室20的下方开设有降温抽槽21，用于放置降温箱22，装置壳体5的下方四个拐角位置处均设置有支腿27，且支腿27上贯穿有横杆29，横杆29上套设有滚轮28，便于操作人员对装置进行移动。

装置壳体5的正面竖直中线的顶端边缘位置处设置有固定杆12，装置盖板1与固定杆12对应的位置处开设有固定槽13，便于固定杆12通过，并配合固定螺母11将装置盖板1固定，固定杆12的表面开设有螺纹，固定杆12远离装置壳体5的一端套设有固定螺母11，放置室17的内壁与固定杆12对应的位置处开设有转动槽31，便于齿轮圆辊32的设置，装置壳体5的侧壁位于转动槽31的内部贯穿有转动杆25，且转动杆25上套设有齿轮圆辊32，用于带动升降板16的上升和下降，沉积箱14与齿轮圆辊32对应的位置处设置有升降板16，用于带动沉积箱14的上升，且升降板16与齿轮圆辊32对应的位置处开设有齿槽15，用于和齿轮圆辊32的相互配合，装置壳体5与升降板16对应的位置处开设有升降槽30，便于升降板16在装置壳体5上移动，装置壳体5的背板与沉积箱14的顶端对应的位置处开设有上定位凹槽2，用于设置上滚筒4，装置壳体5位于上定位凹槽2的内部贯穿有上旋杆3，上旋杆3上套设有上滚筒4，装置壳体5的背板与沉积箱14的底端对应的位置处开设有下定位凹槽6，用于设置下滚筒7，装置壳体5位于下定位凹槽6的内部贯穿有下旋杆8，下旋杆8上套设有下滚筒7，配合上滚筒4对沉积箱14的上升和下降进行定位，装置壳体5面板与背板上位于沉积箱14的底端对应的位置处均开设有加热槽9，两个加热槽9的内部嵌设有加热板10，用于对沉积箱14进行加热，传热室20的内部嵌设有导热板19，便于沉积箱14的温度传递到降温抽槽21的内部，降温抽槽21的内部嵌设有降温箱22，能够吸收从沉积箱14内散出来的热量，装置壳体5的内部位于导热板19与沉积箱14之间设置有支撑板18，用于支撑沉积箱14，转动杆25位于转动槽31外部一端设置有把手24，把手24上套设有套筒23，便于人工转动把手24。

工作原理：将装置壳体5移动到工作区域，实验操作人员对气相沉积装置进行在操作，各种气体从气体储存罐26中进入到沉积箱14内，等待气相沉积完毕之后，将降温箱22插入到降温抽槽21之中，沉积箱14的热量通过导热板19传递到降温箱22上，通过降温抽槽21、降温箱22和导热板19的设置能够在气相沉积完成之后，加速装置的冷却，减少了实验人员等待所耗费的时间，提高了气相沉积装置的工作效率，当沉积箱14的温度降低到合适的温度的时候，实验操作人员将固定螺母11从固定杆12上取下，将装置盖板1从装置壳体5上打开，人工手动转动把手24带动转动杆25转动，从而带动齿轮圆辊32转动，接着通过配合齿槽15带动升降板16上升，从而带动沉积箱14上升，直至沉积箱14从放置室17中露出，实验工作人员接着取出沉积箱14内部的产物，通过把手24、转动杆25、齿轮圆辊32和升降板16的设置能够在取出气相沉积完毕后，将沉积箱14与装置分离，避免了装置本体上面各种复杂结构影响操作人员，降低了实验操作人员取出操作的难度，提高了沉积装置的实用效果。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。