一种镀铝机的蒸发舟装置的制作方法

文档序号:20585978发布日期:2020-05-01 16:48阅读:854来源:国知局
一种镀铝机的蒸发舟装置的制作方法

本实用新型涉及镀铝机技术领域,更具体地说,本实用新型涉及一种镀铝机的蒸发舟装置。



背景技术:

镀铝机是在真空条件下,利用电子束加热待蒸材料,使之气化蒸发后凝结在晶片表面上成膜的设备,蒸发舟是其中的的重要部件。

专利申请公布号cn204714883u的实用新型专利公开了一种真空镀铝机蒸发舟装置。其包括复式电极、简式电极和蒸发舟。其特征在于所述复式电极由电极柱、电极筒、夹头组成。该实用新型提供的复式电极结构通过安装夹头的方式取代传统的导电电极。当导电电极损坏时,只需更换夹头即可,无需把整个电极换掉,这样不仅节省物料损耗,且夹头的价格也比整个导电电极的价格便宜很多。蒸发舟的排列方式采用两排交错式排列,这使得镀铝后的产品表面光滑、铝层均匀、提高镀铝产品的质量;该实用新型的真空镀铝机蒸发系统结构可明显提高蒸发舟的使用寿命。

但是其在实际使用时,仍旧存在较多缺点,如该实用新型中。蒸发舟本体直接放置在电极上,虽便于更换操作,但可能因为振动等而脱落,从而影响镀铝机正常工作。



技术实现要素:

为了克服现有技术的上述缺陷,本实用新型的实施例提供一种镀铝机的蒸发舟装置,通过直接将蒸发舟本体放置在第一电极块和第二电极块上并按压,即可使挡板和压块夹紧蒸发舟本体,使蒸发舟本体固定,从而使蒸发舟本体不会因为振动等而脱落,保证了镀铝机正常工作,且通过拨动拨杆即可使蒸发舟本体弹出取下,操作十分方便,以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种镀铝机的蒸发舟装置,包括蒸发舟组件,所述蒸发舟组件包括蒸发舟本体和承托组件,所述蒸发舟本体设于承托组件上;

所述承托组件包括第一电极块和第二电极块,所述第一电极块和第二电极块内侧均开设有第一凹槽、第二凹槽、第三凹槽、第四凹槽和第五凹槽,所述第一凹槽内部设有挡板和第一弹簧,所述挡板顶部固定设有拨杆,所述拨杆设于第五凹槽内部,所述挡板底部开设有卡槽,所述第三凹槽内部设有竖杆和连接条,所述竖杆贯穿设于连接条上,所述连接条底部固定设有第二弹簧,所述连接条顶部一侧固定设有压块,所述压块设于第四凹槽内部,所述连接条顶部一侧固定设有卡条,所述卡条设于第二凹槽内部。

在一个优选地实施方式中,所述卡条顶部设置为斜坡型,所述挡板一侧设置为斜坡型。

在一个优选地实施方式中,所述第一电极块设于第二电极块一侧,所述蒸发舟本体一端设于第一电极块顶部以及另一端设于第二电极块顶部。

在一个优选地实施方式中,所述第一凹槽设于第二凹槽顶部,所述第二凹槽设于第三凹槽顶部,所述第四凹槽设于第三凹槽顶部,所述第五凹槽设于第一凹槽顶部。

在一个优选地实施方式中,所述第一弹簧一端固定设于挡板一侧以及另一端固定设于第一凹槽内部一侧。

在一个优选地实施方式中,所述竖杆顶部固定设于第三凹槽顶部,所述竖杆底部固定设于第三凹槽底部。

在一个优选地实施方式中,所述第二弹簧底部固定设于第三凹槽底部。

本实用新型的技术效果和优点:

1、通过直接将蒸发舟本体放置在第一电极块和第二电极块上并按压,即可使挡板和压块夹紧蒸发舟本体,使蒸发舟本体固定,从而使蒸发舟本体不会因为振动等而脱落,保证了镀铝机正常工作,且通过拨动拨杆即可使蒸发舟本体弹出取下,操作十分方便;

2、通过将卡条一端设置为滑坡型,适配卡槽,方便更好的卡入卡槽中,通过将挡板一侧设置为滑坡型,使蒸发舟本体即使没有完全触底时,也不影响挡板滑出。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图。

图2为本实用新型的第一电极块俯视结构示意图。

图3为本实用新型的挡板立体结构示意图。

图4为本实用新型的压块结构示意图。

图5为本实用新型的卡条立体结构示意图。

附图标记为:1蒸发舟组件、2蒸发舟本体、3承托组件、4第一电极块、5第二电极块、6第一凹槽、7第二凹槽、8第三凹槽、9第四凹槽、10第五凹槽、11挡板、12第一弹簧、13拨杆、14卡槽、15竖杆、17第二弹簧、16连接条、18压块、19卡条。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。

如附图1-附图5所示的一种镀铝机的蒸发舟装置,包括蒸发舟组件1,所述蒸发舟组件1包括蒸发舟本体2和承托组件3,所述蒸发舟本体2设于承托组件3上;

所述承托组件3包括第一电极块4和第二电极块5,所述第一电极块4和第二电极块5内侧均开设有第一凹槽6、第二凹槽7、第三凹槽8、第四凹槽9和第五凹槽10,所述第一凹槽6内部设有挡板11和第一弹簧12,所述挡板11顶部固定设有拨杆13,所述拨杆13设于第五凹槽10内部,所述挡板11底部开设有卡槽14,所述第三凹槽8内部设有竖杆15和连接条16,所述竖杆15贯穿设于连接条16上,所述连接条16底部固定设有第二弹簧17,所述连接条16顶部一侧固定设有压块18,所述压块18设于第四凹槽9内部,所述连接条16顶部一侧固定设有卡条19,所述卡条19设于第二凹槽7内部;

所述第一电极块4设于第二电极块5一侧,所述蒸发舟本体2一端设于第一电极块4顶部以及另一端设于第二电极块5顶部;

所述第一凹槽6设于第二凹槽7顶部,所述第二凹槽7设于第三凹槽8顶部,所述第四凹槽9设于第三凹槽8顶部,所述第五凹槽10设于第一凹槽6顶部;

所述第一弹簧12一端固定设于挡板11一侧以及另一端固定设于第一凹槽6内部一侧;

所述竖杆15顶部固定设于第三凹槽8顶部,所述竖杆15底部固定设于第三凹槽8底部;

所述第二弹簧17底部固定设于第三凹槽8底部。

实施方式具体为:通过将蒸发舟本体2放置在第一电极块4和第二电极块5上并向下按压,使蒸发舟本体2压动压块18滑动,压块18滑动带动其上竖杆15运动,竖杆15运动带动其上的卡条19运动,卡条19运动使其一端脱出卡槽14,从而使挡板11不再受到限制,挡板11在第一弹簧12的弹力作用下被推动而滑动,挡板11滑出第一凹槽6的部分挡住蒸发舟本体2的顶部一端,同时配合第二弹簧17的弹力作用下推动竖杆15向上运动而带动其上的压块18向上运动,从而将蒸发舟本体2挤在挡板11和压块18之间固定,当需要取下蒸发舟本体2时,通过拨动拨杆13带动其上的挡板11复原,从而使蒸发舟本体2不再受到限制,在第二弹簧17的弹力作用下推动竖杆15和压块18,使压块18将蒸发舟本体2顶出,卡条19则被竖杆15带动向上运动而使其一端重新卡入卡槽14中,本实用新型通过直接将蒸发舟本体2放置在第一电极块4和第二电极块5上并按压,即可使挡板11和压块18夹紧蒸发舟本体2,使蒸发舟本体2固定,从而使蒸发舟本体2不会因为振动等而脱落,保证了镀铝机正常工作,且通过拨动拨杆13即可使蒸发舟本体2弹出取下,操作十分方便。

如附图1、附图3和附图5所示的一种镀铝机的蒸发舟装置,还包括卡条19,所述卡条19顶部设置为斜坡型,所述挡板11一侧设置为斜坡型。

实施方式具体为:通过将卡条19一端设置为滑坡型,适配卡槽14,方便更好的卡入卡槽14中,通过将挡板11一侧设置为滑坡型,使蒸发舟本体2即使没有完全触底时,也不影响挡板11滑出。

本实用新型工作原理:

参照说明书附图1-附图5,通过直接将蒸发舟本体2放置在第一电极块4和第二电极块5上并按压,即可使挡板11和压块18夹紧蒸发舟本体2,使蒸发舟本体2固定,从而使蒸发舟本体2不会因为振动等而脱落,保证了镀铝机正常工作,且通过拨动拨杆13即可使蒸发舟本体2弹出取下,操作十分方便;

参照说明书附图1、附图3和附图5,通过将卡条19一端设置为滑坡型,适配卡槽14,方便更好的卡入卡槽14中,通过将挡板11一侧设置为滑坡型,使蒸发舟本体2即使没有完全触底时,也不影响挡板11滑出。

最后应说明的几点是:首先,在本申请的描述中,需要说明的是,除非另有规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,可以是机械连接或电连接,也可以是两个元件内部的连通,可以是直接相连,“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系,当被描述对象的绝对位置改变,则相对位置关系可能发生改变;

其次:本实用新型公开实施例附图中,只涉及到与本公开实施例涉及到的结构,其他结构可参考通常设计,在不冲突情况下,本实用新型同一实施例及不同实施例可以相互组合;

最后:以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已,并不用于限制本实用新型,凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。

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