一种石英晶片镀膜治具的制作方法

文档序号:21873315发布日期:2020-08-14 19:58阅读:339来源:国知局
一种石英晶片镀膜治具的制作方法

本实用新型涉及石英晶片加工技术领域,具体为一种石英晶片镀膜治具。



背景技术:

石英晶体时目前世界上用量最大的晶体,利用石英晶体本身的物理特性制作的电子元件,具有很高的频率稳定性,广泛用于数字电路、计算机、通讯等领域,随着电子技术的发展,对石英晶片的需求量也大幅度提升,而在对石英晶片的加工过程中,需要对清洗好的石英晶片,用真空电镀的方法,蒸发上一定厚度的金属导电薄膜,并达到一定的镀膜频率。

但现有的石英晶片镀膜治具对石英晶片的固定效果不好,影响镀膜的正常进行,且翻转不便,影响双面镀膜,降低了镀膜的生产效率。



技术实现要素:

本实用新型的目的在于:为了解决现有的石英晶片镀膜治具对石英晶片的固定效果不好,影响镀膜的正常进行,且翻转不便,影响双面镀膜,降低了镀膜的生产效率的问题,提供一种石英晶片镀膜治具。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种石英晶片镀膜治具,包括支撑板,所述支撑板的数目为两组,两组所述支撑板的内侧通过转轴转动连接有载板,所述载板的一侧固定有手柄,所述载板的顶部设置有多组放置腔,所述载板的上方设置有盖板,所述载板的底部设置有多组第一镀膜孔,且第一镀膜孔与放置腔相连通,所述盖板的内部设置有多组第二镀膜孔,所述支撑板的上下位置处皆设置有通孔,所述通孔的内侧套接有导向柱,所述导向柱的末端通过连接板连接有卡柱,所述导向柱的外侧套接有弹簧,且弹簧位于支撑板和连接板之间,所述导向柱远离卡柱的侧面固定有拉板,所述载板靠近支撑板的侧面固定有限位板,所述限位板的内部设置有与卡柱相互配合的空腔。

优选地,所述载板顶部的四角处皆设置有固定柱,所述盖板的四角处皆设置有与固定柱相互配合的卡孔,所述固定柱的外侧螺纹连接有固定环,且固定环位于盖板的顶部。

优选地,所述支撑板靠近拉板的一侧设置有固定板,所述固定板的内部设置有限位孔,所述拉板的底部设置有螺纹孔,所述螺纹孔和限位孔的内侧设置有螺栓。

优选地,所述固定板的数目为两组,两组所述固定板分别位于拉板的下方。

优选地,所述盖板的底部设置有多组压块,且压块为橡胶材质。

优选地,所述第一镀膜孔、第二镀膜孔、放置腔和压块的数目和位置相互对应。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:本实用新型通过将石英晶片放置在放置腔内,盖上盖板,使固定柱穿过卡孔,再通过固定环锁紧,压块对放置腔内的石英晶片压紧固定,对石英晶片限位,防止石英晶片移动,保证镀膜的正常进行,且通过旋转手柄,以带动载板翻转,便于顶面镀膜完成后,再通过第一镀膜孔对石英晶片的地面进行镀膜,方便双面镀膜,提高了镀膜的生产效率。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图;

图2为本实用新型a的放大图;

图3为本实用新型盖板的俯视图;

图4为本实用新型压块的结构示意图。

图中:1、支撑板;2、载板;3、手柄;4、放置腔;5、盖板;6、第一镀膜孔;7、第二镀膜孔;8、压块;9、固定柱;10、卡孔;11、固定环;12、通孔;13、导向柱;14、弹簧;15、拉板;16、限位板;17、空腔;18、固定板;19、螺栓;20、连接板;21、卡柱。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4,一种石英晶片镀膜治具,包括支撑板1,支撑板1的数目为两组,两组支撑板1的内侧通过转轴转动连接有载板2,载板2的一侧固定有手柄3,载板2的顶部设置有多组放置腔4,载板2的上方设置有盖板5,载板2的底部设置有多组第一镀膜孔6,且第一镀膜孔6与放置腔4相连通,盖板5的内部设置有多组第二镀膜孔7,支撑板1的上下位置处皆设置有通孔12,通孔12的内侧套接有导向柱13,导向柱13的末端通过连接板20连接有卡柱21,导向柱13的外侧套接有弹簧14,且弹簧14位于支撑板1和连接板20之间,导向柱13远离卡柱21的侧面固定有拉板15,载板2靠近支撑板1的侧面固定有限位板16,限位板16的内部设置有与卡柱21相互配合的空腔17,盖板5的底部设置有多组压块8,且压块8为橡胶材质,压块8便于对放置腔4内的石英晶片压紧固定,橡胶材质防止对石英晶片造成磨损,第一镀膜孔6、第二镀膜孔7、放置腔4和压块8的数目和位置相互对应,便于放置腔4内的石英晶片经第一镀膜孔6、第二镀膜孔7进行镀膜。

在本实施例中,将石英晶片放置在放置腔4的内部,盖上盖板5,以使石英晶片夹在载板2和盖板5之间,且通过旋转手柄3,带动载板2翻转,方便进行双面镀膜,提高了工作效率。

请着重参阅图1、图2和图3,载板2顶部的四角处皆设置有固定柱9,盖板5的四角处皆设置有与固定柱9相互配合的卡孔10,固定柱9的外侧螺纹连接有固定环11,且固定环11位于盖板5的顶部。

在本实用新型中,在载板2上盖上盖板5时,使固定柱9穿过卡孔10,在固定柱9上套上固定环11并旋紧,使固定环11对固定柱9进行限位,进而保证了载板2与盖板5之间的稳定连接。

请着重参阅图1和图2,支撑板1靠近拉板15的一侧设置有固定板18,固定板18的内部设置有限位孔,拉板15的底部设置有螺纹孔,螺纹孔和限位孔的内侧设置有螺栓19;固定板18的数目为两组,两组固定板18分别位于拉板15的下方。

在本实用新型中,拉动拉板15,使连接板20不断靠近支撑板1,对弹簧14进行压缩,此时卡柱21远离空腔17,便于对载板2的旋转,使用螺栓19先后穿过限位孔和螺纹孔,通过螺栓19与螺纹孔的相互配合,对拉板15进行锁紧,防止卡柱21复位,方便对载板2的翻转。

工作原理:将石英晶片防止在放置腔4的内部,盖上盖板5,使卡孔10穿过固定柱9,在固定柱9上套上固定环11,通过螺纹间相互配合对固定柱9进行锁紧,保证了盖板5与载板2的稳定连接,此时压块8与放置腔4内的石英晶片相接触,对石英晶片进行压紧固定,当石英晶片顶面镀膜完成后,旋转手柄3,以带动载板2旋转,使第一镀膜孔6位于石英晶片的上方,以通过第一镀膜孔6对石英晶片的另一面进行镀膜,且当载板2处于水平方向,拧下螺栓19,将其从螺纹孔和限位孔内侧取出,弹簧14复位带动卡柱21回弹,使卡柱21卡进限位板16内的空腔17,对载板2进行限位,保证载板2移动,保证了镀膜的正常进行,便于对石英晶片双面镀膜,提高了工作效率。

对于本领域技术人员而言,显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节,而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下,能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此,无论从哪一点来看,均应将实施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定,因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

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