一种探针卡磨针机的制作方法

本实用新型属于探针卡制造技术领域，特别是涉及一种探针卡磨针机。

背景技术：

近年来半导体制程技术突飞猛进，目前产品讲求轻薄短小，ic体积越来越小、功能越来越强、脚数越来越多，为了降低芯片封装所占的面积与改善ic效能，现阶段覆晶方式封装普遍被应用于绘图芯片、芯片组、存储器及cpu等。上述高阶封装方式单价高昂，如果能在封装前进行芯片测试，发现有不良品存在晶圆当中，即进行标记，直到后段封装制程前将这些标记的不良品舍弃，可省下不必要的封装成本。

探针卡是将探针卡上的探针直接与芯片上的焊垫或凸块直接接触，引出芯片讯号，再配合周边测试仪器与软件控制达到自动化量测的目的。探针研磨装置用于在制作探针卡的过程中研磨探针的针尖。

现有技术中，对探针的针尖进行研磨时，针尖长度无法直接观察，需反复拆装和测量，且由于无法直接观察针尖长度，使得研磨过程中针尖的长度难以控制，容易将针尖研磨过短，由此使得探针的损耗大，产品合格率低，进而导致生产成本居高不下。现提供一种探针卡磨针机，解决上述问题。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种探针卡磨针机，通过磨针机构、动力机构、夹持机构、放大装置、侧指示杆、横标尺的设置，便于探针卡的夹持、研磨，调节位置时，通过侧指示杆、横标尺便于准确的得知具体的位置，提高加工精度及加工效率。

为解决上述技术问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的：

本实用新型为一种探针卡磨针机，包括下基座，所述下基座上固定有一竖直的竖支板，所述竖支板上方固定有一上基座；所述下基座上滑动设置有一磨针机构，所述磨针机构通过一动力机构驱动；所述上基座的下表面设置有一夹持机构；其中，所述磨针机构包括下滑座、上支座，所述下滑座、上支座之间设置有一升降机构；所述夹持机构包括一固定夹持体、一移动夹持体；其中，所述固定夹持体固定在上基座的下表面，所述移动夹持体滑动设置在上基座上；所述上基座的一侧转动设置有一旋转手臂，所述旋转手臂的端部铰接有一放大装置；所述上基座的一侧安装有一与移动夹持体的位置相配合对应的横标尺；所述竖支板的一侧安装有一与上支座的位置相配合对应的竖标尺。

进一步地，所述下基座上开设有一组相平行设置的v型滑槽；所述下滑座通过滑块与v型滑槽相配合的方式滑动设置在下基座上。

进一步地，所述下滑座为一矩形结构，所述下滑座的侧面设置有定位螺钉，所述下滑座的一相对两侧均开设有一组槽道；所述上支座为一矩形结构，所述上支座的一相对两侧均开设有一组槽道。

进一步地，所述动力机构为液压缸或气压缸，所述动力机构安装在下基座上，且伸缩端与下滑座固定连接。

进一步地，所述升降机构为剪叉式举升机构，所述升降机构包括两组由连杆铰接成的x型结构，每组为两个并排设置的x型结构；两组所述x型结构上下设置，且两组所述x型结构之间通过连轴相铰接；所述连轴上开设有螺纹孔，所述连轴上通过螺纹孔螺合有一螺杆。

进一步地，下方所述x型结构的一连杆与下滑座上的槽道滑动配合，下方所述x型结构的另一连杆与下滑座相铰接；上方所述x型结构的一连杆与上支座上的槽道滑动配合，上方所述x型结构的另一连杆与上支座相铰接。

进一步地，所述上支座的上表面安装有研磨装置，所述研磨装置为磨砂纸或研磨盘；所述上支座的一侧设有一与竖标尺相配合对应的侧指示杆，所述侧指示杆为一伸缩结构。

进一步地，所述固定夹持体、移动夹持体的结构相同；所述固定夹持体包括一夹持盒，所述夹持盒的底部滑动设置有一齿条；所述齿条的一端安装有一伸缩杆，所述伸缩杆固定在夹持盒的侧壁上；所述齿条上啮合有一齿轮，所述齿轮上安装有一压板；待加工的探针卡的卡板安装在压板与夹持盒的端面之间，并通过压板压紧。

进一步地，所述上基座的下表面安装有一滑轨，所述移动夹持体通过与滑轨相配合的方式滑动设置在上基座上；所述移动夹持体的侧面安装有定位螺钉，所述移动夹持体的侧面设置有与横标尺相配合对应的上指示杆。

进一步地，所述旋转手臂通过一转轴转动设置在上基座上，所述放大装置为显微镜或放大镜。

本实用新型具有以下有益效果：

1、本实用新型通过在下滑座、上支座之间设置有升降机构，旋动螺杆以实现上支座高度的调节，使上支座上的研磨装置与探针卡上的卡针相接触，并配合设有竖标尺、侧指示杆，便于直观获得研磨装置与探针卡之间的距离，使用方便，便于控制研磨过程中针尖的长度。

2、本实用新型通过夹持机构夹持探针卡，夹持机构包括固定夹持体、移动夹持体，通过调节伸缩杆，驱动齿轮、齿条运动，进而实现压板的开合运动，将探针卡夹紧或取下；且固定夹持体、移动夹持体的距离可参考横标尺进行调节，适用于不同大小的探针卡使用。

当然，实施本实用新型的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型探针卡磨针机的结构示意图；

图2为图1的结构主视图；

图3为图1的结构右视图；

图4为本实用新型探针卡磨针机的局部结构示意图；

图5为本实用新型下滑座的结构示意图；

图6为本实用新型磨针机构的结构示意图；

图7为图6中a处的结构示意图；

图8为本实用新型夹持机构的结构示意图；

图9为本实用新型夹持机构的内部结构示意图；

图10为本实用新型固定夹持体的结构示意图；

图11为本实用新型移动夹持体的结构示意图；

图12为本实用新型夹持盒的结构示意图；

图13为本实用新型上基座的结构示意图；

附图中，各标号所代表的部件列表如下：

1-下基座，2-下滑座，3-动力机构，4-升降机构，5-竖标尺，6-竖支板，7-侧指示杆，8-上支座，9-固定夹持体，10-旋转手臂，11-定位螺钉，12-上基座，13-横标尺，14-移动夹持体，15-探针卡，101-v型滑槽，201-槽道，401-连杆，402-螺杆，403-连轴，901-夹持盒，902-压板，903-齿轮，904-齿条，905-伸缩杆，1201-滑轨，1301-上指示杆。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“开孔”、“上”、“下”、“厚度”、“顶”、“中”、“长度”、“内”、“四周”、“侧”、“端”、“底”、“并排”等指示方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的组件或元件必须具有特定的方位，以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

请参阅图1-13所示，本实用新型为一种探针卡磨针机，包括下基座1，下基座1上固定有一竖直的竖支板6，竖支板6上方固定有一上基座12；下基座1上滑动设置有一磨针机构，磨针机构通过一动力机构3驱动；上基座12的下表面设置有一夹持机构；其中，磨针机构包括下滑座2、上支座8，下滑座2、上支座8之间设置有一升降机构4；夹持机构包括一固定夹持体9、一移动夹持体14；其中，固定夹持体9固定在上基座12的下表面，移动夹持体14滑动设置在上基座12上；上基座12的一侧转动设置有一旋转手臂10，旋转手臂10的端部铰接有一放大装置；上基座12的一侧安装有一与移动夹持体14的位置相配合对应的横标尺13；竖支板6的一侧安装有一与上支座8的位置相配合对应的竖标尺5，便于直观获得研磨装置与探针卡15之间的距离，使用方便，便于控制研磨过程中针尖的长度。

其中如图5-6所示，下基座1上开设有一组相平行设置的v型滑槽101；下滑座2通过滑块与v型滑槽101相配合的方式滑动设置在下基座1上，下滑座2为一矩形结构，下滑座2的侧面设置有定位螺钉11，下滑座2的一相对两侧均开设有一组槽道201；上支座8为一矩形结构，上支座8的一相对两侧均开设有一组槽道201，动力机构3为液压缸或气压缸，动力机构3安装在下基座1上，且伸缩端与下滑座2固定连接，通过动力机构3的往复运动，带动下滑座2往复运动，使研磨装置在探针卡15的卡针处往复运动进行针尖的研磨，操作方式简单。

其中如图1-4所示，升降机构4为剪叉式举升机构，升降机构4包括两组由连杆401铰接成的x型结构，每组为两个并排设置的x型结构；两组x型结构上下设置，且两组x型结构之间通过连轴403相铰接；连轴403上开设有螺纹孔，连轴403上通过螺纹孔螺合有一螺杆402，下方x型结构的一连杆401与下滑座2上的槽道201滑动配合，下方x型结构的另一连杆401与下滑座2相铰接；上方x型结构的一连杆401与上支座8上的槽道201滑动配合，上方x型结构的另一连杆401与上支座8相铰接，通过调节螺杆402，使两组由连杆401铰接成的x型结构实现伸缩，即使上支座8得高度实现升降，调节方式简单。

其中如图1-4所示，上支座8的上表面安装有研磨装置；研磨装置为磨砂纸或研磨盘，可根据具体使用要求选择研磨装置，将研磨装置通过螺钉或吸盘安装在上支座8上即可；上支座8的一侧设有一与竖标尺5相配合对应的侧指示杆7，侧指示杆7为一伸缩结构，竖标尺5的起始示数可设置在夹持盒901的端面相齐平处，即与探针卡15的卡板所在面相齐平或其他方便读数的位置，具体使用时，研磨装置与探针卡之间的距离可根据简单计算或直观获得，便于控制研磨过程中针尖的长度。

其中8-13所示，固定夹持体9、移动夹持体14的结构相同；固定夹持体9包括一夹持盒901，夹持盒901为矩形盒状结构，夹持盒901的底部滑动设置有一齿条904；齿条904的一端安装有一伸缩杆905，伸缩杆905为电动伸缩杆或液压杆，伸缩杆905固定在夹持盒901的侧壁上；齿条904上啮合有一齿轮903，齿轮903上安装有一压板902，压板902为矩形板，且压板902的端部设置有橡胶垫，避免因夹持对探针卡15的卡板造成摩擦或损坏；待加工的探针卡15的卡板安装在压板902与夹持盒901的端面之间，并通过压板902压紧，如图1、2所示，上基座12的下表面安装有一滑轨1201，移动夹持体14的移动夹持盒上安装有滑块或在盒体上设有通孔，移动夹持体14通过与滑轨1201相配合的方式滑动设置在上基座12上；移动夹持体14的侧面安装有定位螺钉11，定位螺钉11的位置与滑块或盒体上通孔的位置相配合，移动夹持体14的侧面设置有与横标尺13相配合对应的上指示杆1301，横标尺13的起始示数可设置在固定夹持体9的最右端，固定夹持体9、移动夹持体14的距离可参考横标尺13进行调节，适用于不同大小的探针卡使用，操作简单。

其中如图1所示，旋转手臂10通过一转轴转动设置在上基座12上，放大装置为显微镜或放大镜，便于观察针尖的整齐度、针尖与研磨装置之间的间隙及研磨过程中针尖的长度；不使用时，将旋转手臂10旋转，使其与上基座12相齐平，避免不使用时损坏放大装置。

一种探针卡磨针机，将探针卡15的卡针朝下，通过夹持机构夹持探针卡15，夹持机构包括固定夹持体9、移动夹持体14，通过调节伸缩杆905，驱动齿轮903、齿条904运动，进而实现压板902的开合运动，将探针卡15夹紧或取下；且固定夹持体9、移动夹持体14的距离可参考横标尺15进行调节，适用于不同大小的探针卡15使用；通过在下滑座2、上支座8之间设置有升降机构4，旋动螺杆402以实现上支座8高度的调节，使上支座8上的研磨装置与探针卡15上的卡针相接触，并配合设有竖标尺5、侧指示杆7，便于直观获得研磨装置与探针卡15之间的距离，使用方便，便于控制研磨过程中针尖的长度。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上公开的本实用新型优选实施例只是用于帮助阐述本实用新型。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该实用新型仅为所述的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本实用新型的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本实用新型。本实用新型仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。