一种热丝CVD金刚石涂层设备的制作方法

本实用新型涉及金刚石涂层技术领域，具体领域为一种热丝cvd金刚石涂层设备。

背景技术：

化学气相沉淀(cvd)是半导体工业中应用最为广泛的用来沉淀多种材料的技术，包括大范围的绝缘材料，大多数金属合金材料。从理论上来说，它是很简单的：两种或两种以上的气态原材料导入一个反应室内，然后他们相互之间发横化学反应，形成一种新的材料，沉积到晶片表面上。

而现有技术中的cvd金刚石涂层设备的涂层效果不理想，存在涂覆的产品使用寿命短的问题。为此，我们提出了一种热丝cvd金刚石涂层设备。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种热丝cvd金刚石涂层设备，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种热丝cvd金刚石涂层设备，包括镀膜箱体，所述镀膜箱体的上部设置有至少一个进气入口，所述镀膜箱体的左侧壁上部设置有抽真空装置，所述抽真空装置通过抽气管与所述镀膜箱体的内部连接，所述镀膜箱体的中部设置有上接线环和下接线环，所述上接线环和下接线环的左右两侧分别通过固定支架与所述镀膜箱体的内侧壁固定连接，所述上接线环和下接线环之间均匀连接有热丝，所述镀膜箱体的右侧壁上设置有电源，所述上接线环和下接线环分别与所述电源的负极和正极连接，所述下接线环的下侧设置有工作平台，所述工作平台上均匀设置有工件，所述镀膜箱体的左侧设置有水冷箱体，所述工作平台的内部左端设置有进水分配管，所述水冷箱体通过进水管与进水分配管的中部连通，所述进水管上设置有增压泵，所述工作平台的内部右端设置有出水分配管，所述进水分配管和所述出水分配管之间均匀连接有水冷连接管，所述工作平台的右侧设置有回水箱体，所述出水分配管通过出水管与所述回水箱体连通。

优选的，所述进气入口上分别设置有流量控制阀。

优选的，所述下接线环的直径大于所述上接线环的直径。

优选的，所述工作平台上均匀贯穿设置有风冷通孔，所述风冷通孔均匀分布在相邻的所述水冷连接管之间，所述镀膜箱体的底部与所述工作平台对应的位置设置有风机。

优选的，所述镀膜箱体的底部的中部设置有液压缸，所述液压缸的驱动端设置有伸缩杆，所述伸缩杆的上端与所述工作平台的下表面中部固定连接。

优选的，所述进水管和所述出水管分别设置为具有预设长度的柔性管。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：通过抽真空装置的抽气管将镀膜箱体内部的气体抽空，调节流量控制阀通过进气入口通入反应气体，并打开电源开始碳化热丝，热丝碳化完成后即可对工作平台上的工件进行涂层；在完成工件表面的金刚石沉积生长后，即可开始降温过程，可以采用水冷和风冷两种途径进行降温，实用性强，且可以提高降温效率，有利于提高工件的涂层效果。

附图说明

图1为本实用新型一种热丝cvd金刚石涂层设备的剖面结构示意图；

图2为本实用新型一种热丝cvd金刚石涂层设备的水冷连接管结构示意图。

图中：1-镀膜箱体、2-进气入口、3-抽真空装置、4-抽气管、5-上接线环、6-下接线环、7-固定支架、8-热丝、9-电源、10-工作平台、11-工件、12-水冷箱体、13-进水管、14-增压泵、15-出水分配管、16-水冷连接管、17-回水箱体、18-出水管、19-风冷通孔、20-风机、21-液压缸、22-伸缩杆、23-进水分配管、24-流量控制阀。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-2，本实用新型提供一种技术方案：一种热丝cvd金刚石涂层设备，包括镀膜箱体1，所述镀膜箱体1的上部设置有至少一个进气入口2，所述镀膜箱体1的左侧壁上部设置有抽真空装置3，所述抽真空装置3通过抽气管4与所述镀膜箱体1的内部连接，所述镀膜箱体1的中部设置有上接线环5和下接线环6，所述上接线环5和下接线环6的左右两侧分别通过固定支架7与所述镀膜箱体1的内侧壁固定连接，所述上接线环5和下接线环6之间均匀连接有热丝8，所述镀膜箱体1的右侧壁上设置有电源9，所述上接线环5和下接线环6分别与所述电源9的负极和正极连接，所述下接线环6的下侧设置有工作平台10，所述工作平台10上均匀设置有工件11，所述镀膜箱体1的左侧设置有水冷箱体12，所述工作平台10的内部左端设置有进水分配管23，所述水冷箱体12通过进水管13与进水分配管23的中部连通，所述进水管13上设置有增压泵14，所述工作平台10的内部右端设置有出水分配管15，所述进水分配管23和所述出水分配管15之间均匀连接有水冷连接管16，所述工作平台10的右侧设置有回水箱体17，所述出水分配管15通过出水管18与所述回水箱体17连通。

具体而言，所述进气入口2上分别设置有流量控制阀24。

具体而言，所述下接线环6的直径大于所述上接线环5的直径。

具体而言，所述工作平台10上均匀贯穿设置有风冷通孔19，所述风冷通孔19均匀分布在相邻的所述水冷连接管16之间，所述镀膜箱体1的底部与所述工作平台10对应的位置设置有风机20。

具体而言，所述镀膜箱体1的底部的中部设置有液压缸21，所述液压缸21的驱动端设置有伸缩杆22，所述伸缩杆22的上端与所述工作平台10的下表面中部固定连接。

具体而言，所述进水管13和所述出水管18分别设置为具有预设长度的柔性管。

工作原理：本实用新型中提供了一种热丝cvd金刚石涂层设备，在使用时，首先关闭进气入口2上的流量控制阀24，使进气入口2无法通入气体，通过液压缸21的驱动可调节伸缩杆22的长度，从而可调节工作平台10与热丝8之间的距离；通过抽真空装置3的抽气管4将镀膜箱体1内部的气体抽空，直至镀膜箱体1的内部达到真空状态，然后调节流量控制阀24通过进气入口2通入反应气体，并打开电源9开始碳化热丝8，热丝8碳化完成后即可对工作平台10上的工件11进行涂层；

在完成工件11表面的金刚石沉积生长后，即可开始降温过程，可以采用水冷和风冷两种途径进行降温，即可以同时采用两种方式进行降温，还可以根据实际情况单独使用一种方式进行降温，实用性强，且可以提高降温效率，有利于提高工件的涂层效果。

在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

本实用新型使用到的标准零件均可以从市场上购买，异形件根据说明书的和附图的记载均可以进行订制，各个零件的具体连接方式均采用现有技术中成熟的螺栓、铆钉、焊接等常规手段，机械、零件和设备均采用现有技术中，常规的型号，加上电路连接采用现有技术中常规的连接方式，在此不再详述，本说明书中未作详细描述的内容属于本领域专业技术人员公知的现有技术。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。