一种陶瓷真空镀铜动力基材摆放架的制作方法

本实用新型涉及一种陶瓷镀铜预处理设备，具体涉及一种陶瓷真空镀铜动力基材摆放架，属于真空镀膜技术领域。

背景技术：

真空镀膜是指利用物理过程实现物质转移，将原子或分子由源转移到基材表面上的过程；它的作用是可以使某些有特殊性能（强度高、耐磨性、散热性、耐腐性等）的微粒喷涂在性能较低的母体上，使得母体具有更好的性能；pvd基本方法：真空蒸发、溅射、离子镀（空心阴极离子镀、热阴极离子镀、电弧离子镀、活性反应离子镀、射频离子镀、直流放电离子镀）；真空蒸发镀膜一般应用于纯度极高的膜、绝缘物的蒸镀和高熔点物质的蒸镀，其是在真空情况下，将所要蒸镀的材料利用加热设备加热到融化温度，使原子蒸发，到达并附着在基板表面上的一种镀膜方式；基材镀膜时，先需要将基材装载到基材架上，然后关闭舱门并将真空度和温度控制到预设值时，才能进行后续镀膜操作，现有的真空镀膜往往针对柔性片材，如中国专利申请号：201410759054.6，公开了一种镀铜薄膜的生产工艺，能够在塑料薄膜层上单面或双面镀铜膜，镀层厚度为0.1~1微米，镀铜薄膜的生产工艺包括铜块的融化和薄膜的卷绕镀，其中铜块的融化是将纯度为99.95%以上的铜放入到高频感应蒸发镀膜电源的坩埚中；并按照重量份计算，相对于铜的比例为300~500：1的比例加入催化剂；将镀铜腔室密封，利用4000~8000hz的高频对高频感应蒸发镀膜电源坩埚中的铜加热，加热温度在1800~2400℃，直至融化，但现有技术中，对陶瓷类镀膜制程中，还没有比较高效的基材摆放架。

技术实现要素：

为解决上述问题，本实用新型提出了一种陶瓷真空镀铜动力基材摆放架，采用圆周运转结构，对陶瓷基材进行装载和镀膜，镀膜装载简单，且能够高效镀膜。

本实用新型的陶瓷真空镀铜动力基材摆放架，通过在现有的真空舱室基础上，上下设置独立的密封仓，其密封仓严格密封，不会造成真空舱室真空度损失，并在密封仓内分别设置同型号的链条驱动盘；链盘驱动盘的每一转轴通过链条传动实现独立转动，其可根据陶瓷基板具体要求，设置内部齿盘同型号或不同齿径结构，同时也可根据要求，选择同向运转或部分反向运转安装；其能够根据陶瓷基材要求进行灵活选择组装应用；不同陶瓷基材对链条驱动盘的不同要求，可直接将其拆卸更换，更换简单，更换效率高；陶瓷基材装载时，是在真空舱室外部进行，完成陶瓷基材装载后，整整个基材摆放架送入到真空舱室内进行组装即可；其结构具体如下：包括真空舱室，所述真空舱室顶部和底部设置有外仓；所述外仓内侧安装有链条驱动盘；所述链条驱动盘其驱动轴活动嵌入到真空舱室；底部得分所述链条驱动盘通过动力机构驱动；所述外仓远离真空舱室一侧通过密封板密封；两正对所述驱动轴之间可拆卸安装有基材摆放架；所述链条驱动盘包括凹型的圆盘；所述圆盘顶部设置有封板；所述圆盘内侧间隔排列有一环从动链盘；所述从动链盘之间设置有一驱动链盘；所述驱动链盘和从动链盘通过环形链条形成一闭环；所述从动链盘两端分别安装到封板和圆盘其轴承上；所述驱动链盘和从动链盘靠近封板一端的所述驱动轴延伸出封板；顶部的所述驱动链盘与动力机构安装；动力机构带动驱动链盘转动，驱动链盘通过环形链条驱动从动链盘转动，从而实现整组基材摆放架转动，实现动态镀膜。

进一步地，所述动力机构包括驱动电机，及与驱动电机安装的减速箱；所述减速箱输出端与底部的所述驱动链盘通过联轴器安装，驱动电机驱动减速箱动作，减速箱给驱动链盘动力，驱动链盘通过链条给各个从动链盘转动的动力。

进一步地，所述外仓和密封板正对开设有至少两密封环；所述外仓和密封板于两密封环之间正对开设有至少一环螺栓孔；所述螺栓孔内旋接有螺栓；两正对所述密封环内侧压制有密封圈，其采用至少两道密封，并在中间进行压制密封，从而保证气密性能，避免流失真空度。

进一步地，所述从动链盘其驱动轴上固定有盘体；底部的所述盘体上固定有多根定位柱；顶部的所述盘体上插拔安装有多根定位柱；所述基材摆放架顶部和底部正对定位柱开设有定位孔；所述驱动链盘其驱动轴之间通过主轴固定，通过将基材摆放架放置到外部，并将陶瓷基板装载完成时，将陶瓷基板底部定位孔嵌入到定位柱，同时，将顶部的定位柱活动嵌入到定位孔内，完成镀铜膜后，拔出上部的定位柱，接着将基材摆放架上提，脱离底部的定位柱后，将基材摆放架取出，动态镀膜时，底部驱动链盘直接驱动，顶部驱动链盘通过主轴传动后驱动。

进一步地，所述基材摆放架为三角形结构、方形结构和多边形结构中的一种，采用多边结构，并配合链条驱动盘转动，能够实现一次装载多排镀铜任务。

作为优选，所述基材摆放架包括架体，所述架体表面间隔设置有多个陶瓷基板压槽，其装载时，直接将陶瓷基板压制到陶瓷基板压槽内即可，通过底部的坩埚加热实现陶瓷基板外表面镀铜膜。

作为优选，所述基材摆放架包括架体，所述架体表面间隔设置有多组螺孔；每组所述螺孔之间固定有底部镂空的基材架板，其采用截击方式，完成陶瓷基材底面镀铜膜。

进一步地，下一所述基材架板长度小于上一所述基材架板长度，其能够保证全面镀铜膜。

本实用新型与现有技术相比较，本实用新型的陶瓷真空镀铜动力基材摆放架，陶瓷基材外部装载后送入到真空舱室内进行圆周运转镀膜，镀膜装载简单，转向和转动频率可选择独立的链条驱动盘进行控制。

附图说明

图1是本实用新型的实施例1整体结构示意图。

图2是本实用新型的链条驱动盘外部结构示意图。

图3是本实用新型的链条驱动盘内部结构示意图。

图4是本实用新型的基材摆放架一实施例结构示意图。

图5是本实用新型的基材摆放架一实施例结构示意图。

具体实施方式

实施例1：

如图1至图3所示的陶瓷真空镀铜动力基材摆放架，通过在现有的真空舱室基础上，上下设置独立的密封仓，其密封仓严格密封，不会造成真空舱室真空度损失，并在密封仓内分别设置同型号的链条驱动盘；链盘驱动盘的每一转轴通过链条传动实现独立转动，其可根据陶瓷基板具体要求，设置内部齿盘同型号或不同齿径结构，同时也可根据要求，选择同向运转或部分反向运转安装；其能够根据陶瓷基材要求进行灵活选择组装应用；不同陶瓷基材对链条驱动盘的不同要求，可直接将其拆卸更换，更换简单，更换效率高；陶瓷基材装载时，是在真空舱室外部进行，完成陶瓷基材装载后，整整个基材摆放架送入到真空舱室内进行组装即可；其结构具体如下：包括真空舱室1，所述真空舱室1顶部和底部设置有外仓2；所述外仓2内侧安装有链条驱动盘3；所述链条驱动盘3其驱动轴活动嵌入到真空舱室1；底部得分所述链条驱动盘3通过动力机构5驱动；所述外仓2远离真空舱室一侧通过密封板6密封；两正对所述驱动轴之间可拆卸安装有基材摆放架7；所述链条驱动盘3包括凹型的圆盘31；所述圆盘31顶部设置有封板32；所述圆盘31内侧间隔排列有一环从动链盘33；所述从动链盘33之间设置有一驱动链盘34；所述驱动链盘34和从动链盘33通过环形链条35形成一闭环；所述从动链盘33两端分别安装到封板32和圆盘31其轴承上；所述驱动链盘34和从动链盘33靠近封板一端的所述驱动轴延伸出封板32；顶部的所述驱动链盘34与动力机构安装；动力机构带动驱动链盘转动，驱动链盘通过环形链条驱动从动链盘转动，从而实现整组基材摆放架转动，实现动态镀膜。

其中，所述动力机构5包括驱动电机51，及与驱动电机安装的减速箱52；所述减速箱52输出端与底部的所述驱动链盘34通过联轴器安装，驱动电机驱动减速箱动作，减速箱给驱动链盘动力，驱动链盘通过链条给各个从动链盘转动的动力。

其中，所述外仓2和密封板6正对开设有至少两密封环；所述外仓2和密封板6于两密封环之间正对开设有至少一环螺栓孔；所述螺栓孔内旋接有螺栓8；两正对所述密封环内侧压制有密封圈9，其采用至少两道密封，并在中间进行压制密封，从而保证气密性能，避免流失真空度。

其中，所述从动链盘33其驱动轴上固定有盘体10；底部的所述盘体10上固定有多根定位柱11；顶部的所述盘体10上插拔安装有多根定位柱11；所述基材摆放架7顶部和底部正对定位柱开设有定位孔12；所述驱动链盘34其驱动轴之间通过主轴13固定，通过将基材摆放架放置到外部，并将陶瓷基板装载完成时，将陶瓷基板底部定位孔嵌入到定位柱，同时，将顶部的定位柱活动嵌入到定位孔内，完成镀铜膜后，拔出上部的定位柱，接着将基材摆放架上提，脱离底部的定位柱后，将基材摆放架取出，动态镀膜时，底部驱动链盘直接驱动，顶部驱动链盘通过主轴传动后驱动。

其中，所述基材摆放架7为三角形结构、方形结构和多边形结构中的一种，采用多边结构，并配合链条驱动盘转动，能够实现一次装载多排镀铜任务。

如图4所示，再一实施例中，所述基材摆放架7包括架体71，所述架体71表面间隔设置有多个陶瓷基板压槽72，其装载时，直接将陶瓷基板压制到陶瓷基板压槽内即可，通过底部的坩埚加热实现陶瓷基板外表面镀铜膜。

如图5所示，再一实施例中，所述基材摆放架7包括架体71，所述架体表面间隔设置有多组螺孔；每组所述螺孔之间固定有底部镂空的基材架板73，其采用截击方式，完成陶瓷基材底面镀铜膜；下一所述基材架板73长度小于上一所述基材架板73长度，其能够保证全面镀铜膜。

上述实施例，仅是本实用新型的较佳实施方式，故凡依本实用新型专利申请范围所述的构造、特征及原理所做的等效变化或修饰，均包括于本实用新型专利申请范围内。