一种用于多种材料共蒸的热源坩埚系统的制作方法

本实用新型涉及有机电致发光技术领域，具体涉及一种用于多种材料共蒸的热源坩埚系统。

背景技术：

有机电致发光(oled)的研究始于二十世纪六十年代，最初的三明治结构器件电压很高且整体性能很差，在后续研究者们的不断探索、不断发现新的有益提升器件性能的材料的同时，对器件结构也在进一步改进：从简单的三明治结构改进到现如今的空穴传输、电子传输以及发光功能层完全分开的多层结构。此类结构有效的改善了oled的性能，使其向更好的服务大众迈进了很大一步。之后，为了进一步改善提高器件性能，科研者们在原有基础上进行了掺杂尝试，并发现对oled某一层功能层进行掺杂后，器件的发光效率有了大幅提升。

在oled制备过程中，对有机材料的物理气相淀积过程是必不可少的，因为器件中的功能层较多，所以对蒸镀设备的蒸发源数量有一定的要求；同时，在蒸镀过程中会不可避免的进行两种材料的共蒸，而目前大多数采用的都是双源共蒸，这种方式会进一步导致蒸发源的数量不够。

技术实现要素：

为此，本实用新型提供了一种用于多种材料共蒸的热源坩埚系统，在oled制备过程中，可使掺杂型功能层蒸镀时减少蒸发源的使用数量，降低了设备成本的同时提高了设备的利用率，同时保证共蒸镀膜层的均匀性。

本实用新型采用如下技术方案：

一种用于多种材料共蒸的热源坩埚系统，包括用于放置待蒸镀材料的坩埚及环绕所述坩埚设置的热源组件，所述坩埚上设有多个独立的材料放置区，各所述材料放置区彼此不相连通，每个材料放置区的外侧壁上设有所述热源组件。

所述坩埚上的各所述材料放置区呈同轴设置的环状结构，且每相邻两所述材料放置区之间形成不导通的独立材料放置区，所述热源组件设置在每个所述独立材料放置区的外侧环壁上。

所述坩埚上包括位于其中部的第一材料放置区，及位于所述第一材料放置区外部的呈环状设置的第二材料放置区，所述第一材料放置区呈圆形结构。

所述第一材料放置区包括第一环壁，所述第二材料放置区包括第二环壁和第三环壁，所述第三环壁位于所述第二环壁外侧，所述第一环壁与所述第二环壁之间形成一空隙，所述第二环壁自所述坩埚的顶部至底部逐渐远离所述第一环壁设置，所述热源组件缠绕设置在所述第一环壁和所述第三环壁的外侧。

所述第二材料放置区底部高于设置在所述第一环壁外侧的所述热源组件的顶部。

所述热源组件包括第一加热丝和第二加热丝，所述第一加热丝缠绕设置在所述第一环壁外侧，所述第二加热丝缠绕设置在所述第三环壁外侧。

所述第一环壁的长度大于所述第三环壁的长度。

所述第一环壁和第三环壁分别将所述第一材料放置区和第二材料放置区的外壁围成圆柱形结构。

所述第一加热丝的加热温度大于所述第二加热丝。

本实用新型技术方案，具有如下优点：

a、本实用新型用于多种材料共蒸的热源坩埚系统，坩埚采用环状结构，每相邻两环之间形成不导通的独立材料放置区，热源组件设置在每个独立材料放置区的外侧环壁上，将此系统应用于oled制备过程中，可使掺杂型功能层蒸镀时减少蒸发源的使用数量，降低了设备成本的同时提高了设备的利用率，同时保证共蒸镀膜层的均匀性。

b、本实用新型用于多种材料共蒸的热源坩埚系统，进行共蒸镀时，不同种材料的蒸发路径完全一致，极大的避免了因不同源蒸镀导致蒸发路径的不同，从而进一步避免了因蒸发路径不同致使膜层共蒸不均匀的现象。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式，下面将对具体实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型用于多种材料共蒸的热源坩埚系统整体结构示意图；

图2为本实用新型中坩埚结构俯视图。

图中标识如下：

1-坩埚

11-第一材料放置区

111-第一环壁

12-第二材料放置区

121-第二环壁，122-第三环壁

2-热源组件

21-第一加热丝，22-第二加热丝。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

如图1-图2所示，本实用新型提供了一种用于多种材料共蒸的热源坩埚系统，包括放置待蒸镀材料的坩埚1及环绕坩埚1设置的热源组件2，坩埚1为沿其中心轴环向设置的环状结构，且每相邻两环之间形成不导通的独立材料放置区，热源组件2设置在每个独立材料放置区的外侧环壁上。将此系统应用于oled制备过程中，可使掺杂型功能层蒸镀时减少蒸发源的使用数量，降低了设备成本的同时提高了设备的利用率，同时保证共蒸镀膜层的均匀性。

进一步地，坩埚1优选为双环结构，其中内环形成第一材料放置区11，内环与外环之间形成第二材料放置区12。第一材料放置区11包括第一环壁111，第二材料放置区12包括第二环壁121和第三环壁122，第三环壁122位于第二环壁121外侧，第一环壁111与第二环壁121之间形成一空隙，第二环壁121自坩埚1的顶部至底部逐渐远离第一环壁111设置，热源组件2缠绕设置在第一环壁111和第三环壁122的外侧。第二材料放置区12底部高于设置在第一环壁111的外侧的热源组件2的顶部，避免第一材料放置区11的高温余热对第二材料放置区12内的材料造成影响。

热源组件2包括第一加热丝21和第二加热丝22，第一加热丝21缠绕设置在第一环壁111外侧，第二加热丝22缠绕设置在第三环壁122外侧，且第一加热丝21的加热温度大于第二加热丝22。

第一环壁111和第三环壁122分别将第一材料放置区11和第二材料放置区12的外壁围成圆柱形结构，且第一环壁111的长度大于第三环壁122的长度。

采用本实用新型用于多种材料共蒸的热源坩埚系统进行蒸镀的步骤如下(当共蒸镀材料的蒸镀温度有一定差异时(大于30℃)，选用此种蒸镀方式)：

s1、加料，将蒸镀温度较高的材料加入到第一材料放置区11(即坩埚中心部位)，将蒸镀温度较低的材料加入到第二材料放置区12(坩埚外环部位)；

s2、升温，即在设备达到工艺真空之后，分别对高低温区域的材料进行升温，寻找其符合蒸镀要求速率时的温度并记录；

s3、蒸镀，通过以上方式寻找到高低温材料的蒸镀温度后，开始对材料进行共蒸镀过程，通过温度设定以及膜厚速率监控，对oled中掺杂型功能层的蒸镀进行把控以及制备。

例如，当对目前掺杂型oled中的发光层进行蒸镀时，因正常发光层中主体材料的蒸镀温度均在200℃左右，而掺杂客体材料的蒸镀温度仅100℃出头，故可采用本系统进行制备，将发光层中的主体材料放置于坩埚中心部位的第一材料放置区11，且将客体材料放置于第二材料放置区12，达工艺真空后，先对第二材料放置区12低温材料即发光掺杂客体材料进行升温把控，记录下到达蒸镀要求速率时的温度，之后在保持低温材料蒸发温度不变的情况下，对中心部位第一材料放置区11材料进行温度把控，同样也记录下此温度。分别以所记录的两个温度对主客体材料进行共蒸镀，最终达成oled发光层的制备。

例如，对oled中空穴注入层进行蒸镀时，因注入层中主体材料蒸镀温度一般可达到170℃，而掺杂材料仅为130℃，同样也可采用本系统进行制备，具体步骤与上例一致，不同的是，将注入层主体材料放置在第一材料放置区11，掺杂材料放置于第二材料放置区12。

以此方法进行共蒸镀，可减少蒸发源使用的同时，有效的减少蒸镀不均匀情况的发生，因为使用此系统共蒸镀时，不同材料的蒸发路径完全一致的，极大的避免了因不同源蒸镀导致蒸发路径的不同，从而进一步避免了因蒸发路径不同致使膜层共蒸不均匀的现象。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型的保护范围之中。