一种镀膜机挂件的制作方法

本实用新型涉及一种挂件，具体是一种镀膜机挂件，属于镀膜机应用技术领域。

背景技术：

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，mbe分子束外延，pld激光溅射沉积等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种，需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材。基片与靶材同在真空腔中。

当对基片进行镀膜时，基片的清洁度对薄膜性能影响很大，最理想的情况是使用刚抛光的基片，否则基片表面会变质，特别是进行了不正确的处理以及储存，所以需要对要镀膜的基片进行清洗，而且镀膜机中机械泵所产生的气体随意排放还会对室内环境产生污染，对其他镀膜可能会产生影响。因此，针对上述问题提出一种镀膜机挂件。

技术实现要素：

本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种镀膜机挂件。

本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的，一种镀膜机挂件，包括底座和放置在底座顶部一侧的底板，所述底板顶部表面固接主体，所述主体底部内腔安装过滤箱，所述过滤箱一侧安装管道，另一侧安装伸缩排气管，所述管道和伸缩排气管均贯穿主体，所述管道一侧固接连接管，所述主体内腔底侧安装隔离板，所述隔离板顶部中央固接回收箱，所述回收箱顶部中央固接回收管，所述回收管顶部连接在清洗室顶部中央，所述清洗室内部两侧对称安装两个连接杆，两个所述连接杆顶端均安装活动轴，所述活动轴表面对称固接两个夹持臂，所述清洗室内部底侧安装过滤网，且过滤网两端均固接在清洗室内壁上，所述主体内腔顶侧安装清洗剂盒，所述清洗剂盒一侧安装泵机，所述泵机一侧固接输送管，所述输送管底部固接喷头，所述喷头中间安装单向阀。

优选的，所述底座顶部一侧安装镀膜机，所述镀膜机一侧开设排气口，所述排气口一侧连接连接管。

优选的，所述连接管，与排气口通过螺纹连接。

优选的，所述夹持臂顶端安装橡胶垫。

优选的，所述伸缩排气管为管径大小不同的管道相互套接。

优选的，所述过滤网表面分布若干个过滤孔。

本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型可以通过喷头、夹持臂、输送管、单向阀以及清洗剂对基片进行清洗，喷头可以使清洗的更加均匀，安装过滤网可以过滤基片表面杂质，通过回收管和回收箱对清洗剂进行收集回收，减少清洗成本；

2、本实用新型可以通过连接管、过滤箱和伸缩排气管可以将镀膜机所排除的气体进行过滤和排气，伸缩排气管可以伸长将气体排除室外，防止气体对室内工作环境产生影响。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。

图1为本实用新型立体示意图；

图2为本实用新型内部结构示意图；

图3为本实用新型过滤网结构示意图；

图4为本实用新型图2a局部放大结构示意图。

图中：1、过滤箱，2、回收箱，3、回收管，4、活动轴，5，夹持臂，6、清洗室，7、清洗剂盒，8、输送管，9、管道，10、连接管，11、排气口，12、排气管，13、泵机，14、支架，15、底座，16、基片架，17、单向阀，18、喷头，19、连接杆，20、过滤网，21、主体，22、隔离板，23、伸缩排气管，24、底板。

具体实施方式

为使得本实用新型的实用新型目的、特征、优点能够更加的明显和易懂，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，下面所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而非全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

请参阅图1-4所示，一种镀膜机挂件，包括底座15和放置在底座15顶部一侧的底板24，所述底板24顶部表面固接主体21，所述主体21底部内腔安装过滤箱1，所述过滤箱1一侧安装管道9，另一侧安装伸缩排气管23，所述管道9和伸缩排气管23均贯穿主体21，所述管道9一侧固接连接管10，所述主体21内腔底侧安装隔离板22，所述隔离板22顶部中央固接回收箱2，所述回收箱2顶部中央固接回收管3，所述回收管3顶部连接在清洗室6顶部中央，所述清洗室6内部两侧对称安装两个连接杆19，两个所述连接杆19顶端均安装活动轴4，所述活动轴4表面对称固接两个夹持臂5，所述清洗室6内部底侧安装过滤网20，且过滤网20两端均固接在清洗室6内壁上，所述主体21内腔顶侧安装清洗剂盒7，所述清洗剂盒7一侧安装泵机12，所述泵机12一侧固接输送管8，所述输送管8底部固接喷头18，所述喷头18中间安装单向阀17。

所述底座15顶部一侧安装镀膜机13，所述镀膜机13一侧开设排气口11，所述排气口11一侧连接连接管10，便于排除镀膜机13所产生的气体；所述连接管10，与排气口11通过螺纹连接，方便与镀膜机13之间解除连接；所述夹持臂5顶部安装一侧橡胶垫14，防止夹持基片时造成损伤；所述伸缩排气管23为管径大小不同的管道相互套接，便于伸缩排气管23自由伸长与收缩，可以将所产生的气体排到室外，防止污染室内环境；所述过滤网20表面分布若干个过滤孔16，便于将清洗过后的清洗剂进行过滤杂质，便于之后的回收重复利用，可以减少经济负担。

本实用新型在使用时，本申请中出现的电器元件在使用时均外接连通电源和控制开关，将需要镀膜的基片用夹持臂5夹持柱，夹持臂5底部安装的橡胶垫14可以防止夹持过程中产生损伤，然后打开单向阀17，泵机12工作，通过输送管8将清洗剂盒7内的清洗剂输送到喷头18，然后通过喷头18将清洗剂喷洒到基片所需要清洗的一面，清洗剂可以将基片表面的杂质、油污等清洗掉，然后清洗剂通过过滤网20，将杂质过滤后，通过回收管3收集到回收箱2中，可以将随回收的清洗剂进行回收重复使用，将连接管10与排气口11连接，可以将镀膜机13产生气体输送到过滤箱1，将气体过滤后通过伸缩排气管23排到室外，可以防止所产生的气体对室内工作环境产生影响。

泵机12采用的是亚士霸官方旗舰店生产的ry系列型号及其相关的配套电源和电路。

喷头18采用的是深圳市鑫龙环保科技有限公司生产的p窄角扇形型号及其相关的配套电源和电路。

涉及到电路和电子元器件和模块均为现有技术，本领域技术人员完全可以实现，无需赘言，本实用新型保护的内容也不涉及对于软件和方法的改进。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的得同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

以上所述，以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。