一种用于真空镀膜的冷凝装置的制作方法

本实用新型涉及真空镀膜冷凝技术领域，具体为一种用于真空镀膜的冷凝装置。

背景技术：

所谓的真空镀膜是藉由一真空泵抽出腔体内的残余气体，使腔体的内部维持真空状态，接着把一待镀物(例如基板)放到腔体内，最后再将一蒸镀源(例如硒)加热至汽化升华的状态，使蒸镀源的气体附着至待镀物的表面而形成一层薄膜，然而，腔体内的残余气体除了一般水蒸气及其它高沸点蒸气之外，同时也可能含有些许的腐蚀性蒸气，为了避免真空泵吸入过多的腐蚀性蒸气而影响使用寿命，所以通常会在腔体与真空泵之间设置冷凝装置，以往的冷凝装置将蒸汽冷凝后无法将全部的冷凝水进行收集，冷凝水容易进入真空泵，影响真空泵使用寿命。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种用于真空镀膜的冷凝装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于真空镀膜的冷凝装置，包括主体，所述主体的内腔包括冷却腔和真空腔，所述冷却腔内装配有通气管，所述通气管的进气端与空腔连接，所述通气管的出气端贯穿主体的左表面与真空泵相连接，所述通气管的底端外表面装配有滴水管，所述通气管的外表面装配有制冷管，且制冷管的进水端连接外部冷水水源，所述制冷管的出水端连接循环泵，且循环泵的进水端外部冷水水源连接。

优选的，所述通气管包括第一通气管、第二通气管和第三通气管，所述第一通气管与第二通气管的右侧端连接，所述第三通气管与第二通气管的左侧点连接，且第一通气管、第二通气管和第三通气管的内腔均装配有固定板。

优选的，所述固定板的外表面贯穿开设有通孔，且固定板与第一通气管、第二通气管和第三通气管的内侧壁之间形成流水通道。

优选的，所述固定板的外侧表面中心处装配有第二制冷管，所述第二制冷管的进水端与循环泵的出水端相连，所述第二制冷管的出水端与循环泵相的进水端连接。

优选的，所述滴水管的底端装配有蓄水槽，所述蓄水槽内装配有沥水板，且沥水板的上表面装配有活性炭。

优选的，所述蓄水槽的出水端装配有出水管，所述出水管的外表面装配有控水阀，且出水管的出水端与外部冷水水源相连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型设置有通气管，通过在通气管的外表面装配制冷管，在通气管的内腔设置第二制冷管，可以加强热气冷凝的效果，本实用新型设置有滴水管，通过在滴水管的出水端装配蓄水槽，可以将液化的气体进行收集，方便废水再利用。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图。

图2为本实用剖面结构示意图。

图3为本实用新型通气管及其他配件结构示意图。

图4为图3中a处细节图。

图5为本实用新型蓄水槽爆炸结构示意图。

图中：1、主体，11、冷却腔，12、真空腔，2、通气管，21、真空泵，22、第一通气管，23、第二通气管，24、和第三通气管，3、滴水管，4、制冷管，5、循环泵，6、固定板，61、通孔，7、流水通道，8、第二制冷管，9、蓄水槽，91、沥水板，92、活性炭，93、出水管，94、控水阀。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-图5，本实用新型提供一种技术方案：一种用于真空镀膜的冷凝装置，包括主体1，主体1的内腔包括冷却腔11和真空腔12，冷却腔11内装配有通气管2，通气管2的进气端与空腔12连接，通气管2的出气端贯穿主体1的左表面与真空泵21相连接，通气管2的底端外表面装配有滴水管3，通气管2的外表面装配有制冷管4，且制冷管4的进水端连接外部冷水水源，制冷管4的出水端连接循环泵5，且循环泵5的进水端外部冷水水源连接，在使用时，先将制冷管4和第二制冷管8中注冷水，然后去启动循环泵5，使冷水在制冷管4和第二制冷管8中循环，然后启动真空泵21，真空泵21将真空腔所产生的带有腐朽物质的热气抽取至通气管2内，由于通气管2的外侧壁受制冷管4影响，通气管2的内腔受第二制冷管8影，带有腐朽物质的热气在通气管2中受冷液化，最终在重力的作用下从流水通道7流入滴水管3中，最后滴入蓄水槽9，在蓄水槽9中经活性炭92对腐朽物质进行吸附，最终经沥水板91落入蓄水槽9内，经过一段时间的冷却，可以打开控水阀94，使冷却后的水从出水管93流入玩不冷水水源处反复利用。

具体而言，通气管2包括第一通气管22、第二通气管23和第三通气管24(第一通气管22、第二通气管23和第三通气管24的装配位置和角度如图3所示，可以防止冷凝后的热气被抽去真空泵21中)，第一通气管22与第二通气管23的右侧端连接，第三通气管24与第二通气管23的左侧点连接，且第一通气管22、第二通气管23和第三通气管24的内腔均装配有固定板6，通过设置固定板6，防止热气来不及物理反应快速被真空泵21抽出。

具体而言，固定板6的外表面贯穿开设有通孔61，且固定板61与第一通气管22、第二通气管23和第三通气管24的内侧壁之间形成流水通道7，通过固定板6的外表面贯穿开设通孔61，方便热气在通气管2中流通。

具体而言，固定板6的外侧表面中心处装配有第二制冷管8，第二制冷管8的进水端与循环泵5的出水端相连，第二制冷管8的出水端与循环泵相的进水端连接，通过第二制冷管8的出水端与循环泵相的进水端连接，可以实现循环制冷。

具体而言，滴水管3的底端装配有蓄水槽9，蓄水槽9内装配有沥水板91，且沥水板91的上表面装配有活性炭92，通过沥水板91的上表面装配活性炭92，可以吸附水中的腐朽物质，保证水的干净度，方便下次利用。

具体而言，蓄水槽9的出水端装配有出水管93，出水管93的外表面装配有控水阀94，且出水管93的出水端与外部冷水水源相连接，通过将出水管93的出水端与外部冷水水源相连接，可以使收集的水反复循环利用。

工作原理：在使用时，先将制冷管4和第二制冷管8中注冷水，然后去启动循环泵5，使冷水在制冷管4和第二制冷管8中循环，然后启动真空泵21，真空泵21将真空腔所产生的带有腐朽物质的热气抽取至通气管2内，由于通气管2的外侧壁受制冷管4影响，通气管2的内腔受第二制冷管8影，带有腐朽物质的热气在通气管2中受冷液化，最终在重力的作用下从流水通道7流入滴水管3中，最后滴入蓄水槽9，在蓄水槽9中经活性炭92对腐朽物质进行吸附，最终经沥水板91落入蓄水槽9内，经过一段时间的冷却，可以打开控水阀94，使冷却后的水从出水管93流入玩不冷水水源处反复利用。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。