一种电容薄膜加工用蒸镀设备的制作方法

文档序号:22003616发布日期:2020-08-25 20:16阅读:344来源:国知局
一种电容薄膜加工用蒸镀设备的制作方法

本实用新型属于电容薄膜加工技术领域,具体涉及一种电容薄膜加工用蒸镀设备。



背景技术:

蒸镀,是指在真空条件下,采用一定的加热蒸发方式蒸发镀膜材料(或称膜料)并使之气化,粒子飞至基片表面凝聚成膜的工艺方法。蒸镀是使用较早、用途较广泛的气相沉积技术,具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点。

现有的蒸镀设备的在使用过后,玻璃钟罩的内壁表面会粘有残留物,容易挡住视线,不易观察的问题,为此我们提出一种电容薄膜加工用蒸镀设备。



技术实现要素:

本实用新型的目的在于提供一种电容薄膜加工用蒸镀设备,以解决上述背景技术中提出现有的蒸镀设备的在使用过后,玻璃钟罩的内壁表面会粘有残留物,容易挡住视线,不易观察的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种电容薄膜加工用蒸镀设备,包括蒸镀设备主体、清理机构与限位机构,所述清理机构包括玻璃钟罩,所述玻璃钟罩处于蒸镀设备主体顶端一侧,所述蒸镀设备主体顶端表面设置有固定环,所述玻璃钟罩底端表面设置有固定圈,所述固定圈处于固定环顶端表面一侧,所述固定圈顶端一侧设置有压块,所述固定环一端开设有孔洞,且所述压块一端贯穿于孔洞内侧,所述压块顶端设置有螺栓,所述螺栓底端贯穿于压块内壁处于固定圈顶端外侧,所述固定圈底端设置有凸块,所述固定环顶端开设有第一卡槽,所述凸块处于第一卡槽内侧,所述第一卡槽内壁设置有密封圈。

优选的,所述限位机构包括限位杆,所述限位杆处于蒸镀设备主体底端表面,所述蒸镀设备主体底端表面开设有限位槽,所述限位杆一端处于限位槽内侧,所述限位杆处于蒸镀设备主体外侧的外表面设置有限位块,所述限位块顶端开设有槽体,所述限位杆一端贯穿于槽体内侧,所述限位杆底端设置有垫板,所述限位块外侧设置有转杆,所述限位块外侧开设有第二卡槽,且所述转杆一端处于第二卡槽内侧。

优选的,所述蒸镀设备主体顶端一侧设置有操作台,所述操作台前表面设置有按键,所述按键一侧设置有显示屏。

优选的,所述压块与孔洞为滑动连接,所述固定圈通过压块、螺栓与固定环卡合连接。

优选的,所述固定环截面呈l型,所述固定环固定连接于蒸镀设备主体顶端外侧。

优选的,所述限位杆处于限位槽内壁的外侧顶端设置有挡块,所述限位杆与限位槽为滑动连接。

优选的,所述限位杆外壁设置有第一外螺纹,所述槽体内壁设置有第一内螺纹,所述槽体内壁第一内螺纹通过旋合限位杆的第一外螺纹与限位杆固定连接。

优选的,所述转杆外侧一端设置有第二外螺纹,所述第二卡槽内壁设置有第二内螺纹,所述第二卡槽内壁的第二内螺纹通过旋合转杆的第二外螺纹与转杆固定连接。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:

(1)通过设计了清理机构,能够便捷地将玻璃钟罩进行拆卸与安装,及时将玻璃钟罩进行清理干净,避免玻璃钟罩内部长时间不清理产生结垢现象,通过第一卡槽内壁设计了密封圈,在凸块卡入密封圈内部时,能够提高密封性,以保证内部的真空状态。

(2)通过安装了限位机构,保证了本装置能够平稳的运行,不会发生摇晃的情况,通过设计了转杆,能够减少直接转动限位块的力,大大提高了调整效率。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图;

图2为本实用新型图1中a处的放大结构示意图;

图3为本实用新型的固定环俯视结构示意图;

图4为本实用新型图1中b处的放大结构示意图;

图中:1、蒸镀设备主体;2、玻璃钟罩;3、操作台;4、固定圈;5、固定环;6、螺栓;7、孔洞;8、压块;9、凸块;10、第一卡槽;11、密封圈;12、限位槽;13、限位杆;14、挡块;15、限位块;16、槽体;17、转杆;18、第二卡槽;19、垫板。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-图4,本实用新型提供一种电容薄膜加工用蒸镀设备技术方案:一种电容薄膜加工用蒸镀设备,包括蒸镀设备主体1、清理机构与限位机构,清理机构包括玻璃钟罩2,玻璃钟罩2处于蒸镀设备主体1顶端一侧,蒸镀设备主体1顶端表面设置有固定环5,玻璃钟罩2底端表面设置有固定圈4,固定圈4处于固定环5顶端表面一侧,固定圈4顶端一侧设置有压块8,固定环5一端开设有孔洞7,且压块8一端贯穿于孔洞7内侧,压块8顶端设置有螺栓6,螺栓6底端贯穿于压块8内壁处于固定圈4顶端外侧,固定圈4底端设置有凸块9,固定环5顶端开设有第一卡槽10,凸块9处于第一卡槽10内侧,第一卡槽10内壁设置有密封圈11。

为了便于安装限位机构,本实施例中,优选的,限位机构包括限位杆13,限位杆13处于蒸镀设备主体1底端表面,蒸镀设备主体1底端表面开设有限位槽12,限位杆13一端处于限位槽12内侧,限位杆13处于蒸镀设备主体1外侧的外表面设置有限位块15,限位块15顶端开设有槽体16,限位杆13一端贯穿于槽体16内侧,限位杆13底端设置有垫板19,限位块15外侧设置有转杆17,限位块15外侧开设有第二卡槽18,且转杆17一端处于第二卡槽18内侧。

为了便于本装置操作,本实施例中,优选的,蒸镀设备主体1顶端一侧设置有操作台3,操作台3前表面设置有按键,按键一侧设置有显示屏。

为了便于卡主固定圈4,本实施例中,优选的,压块8与孔洞7为滑动连接,固定圈4通过压块8、螺栓6与固定环5卡合连接。

为了便于安装固定环5,本实施例中,优选的,固定环5截面呈l型,固定环5固定连接于蒸镀设备主体1顶端外侧。

为了便于滑动限位杆13时防止限位杆13完全滑出,本实施例中,优选的,限位杆13处于限位槽12内壁的外侧顶端设置有挡块14,限位杆13与限位槽12为滑动连接。

为了便于安装限位块15,本实施例中,优选的,限位杆13外壁设置有第一外螺纹,槽体16内壁设置有第一内螺纹,槽体16内壁第一内螺纹通过旋合限位杆13的第一外螺纹与限位杆13固定连接。

为了便于安装转杆17,本实施例中,优选的,转杆17外侧一端设置有第二外螺纹,第二卡槽18内壁设置有第二内螺纹,第二卡槽18内壁的第二内螺纹通过旋合转杆17的第二外螺纹与转杆17固定连接。

本实用新型的工作原理及使用流程:该装置安装完成后,在玻璃钟罩2内壁表面粘有残留物,需要清理时,转动螺栓6,螺栓6离开固定圈4顶端表面,取出螺栓6,然后将压块8沿着孔洞7抽出,把玻璃钟罩2取出进行清理,通过设计了清理机构,能够便捷地将玻璃钟罩2进行拆卸与安装,及时将玻璃钟罩2进行清理干净,避免玻璃钟罩2内部长时间不清理产生结垢现象,通过第一卡槽10内壁设计了密封圈11,在凸块9卡入密封圈11内部时,能够提高密封性,以保证内部的真空状态;为了保证本装置能够平稳的运行,在地面不平整的地面使用时,将转杆17插入第二卡槽18内部通过螺纹的作用下旋紧,然后横向转动转杆17,转杆17带动限位块15转动,通过螺纹的作用下,限位块15的高度发生变化,限位杆13在限位槽12内侧滑动,调整到合适高度,取下转杆17,通过安装了限位机构,保证了本装置能够平稳的运行,不会发生摇晃的情况,通过设计了转杆17,能够减少直接转动限位块15的力,大大提高了调整效率。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

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