一种用于真空镀膜的前叉挂具的制作方法

文档序号:22864069发布日期:2020-11-10 12:01阅读:96来源:国知局
一种用于真空镀膜的前叉挂具的制作方法

本实用新型涉及镀膜技术领域,具体涉及一种用于真空镀膜的前叉挂具。



背景技术:

真空镀膜是指在真空条件下,采用低电压、大电流的电弧放电技术,利用气体放电使靶材蒸发并使被蒸发物质与气体都发生电离,利用电场的加速作用,使被蒸发物质及其反应产物沉积在工件上,也称为物理气相沉积(pvd)。目前真空镀膜技术主要有蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀这三种方法。

现有技术中真空镀膜设备主要采用圆筒形的腔体,在腔体中间竖立靶材,通电来释放电子。待镀膜产品以挂具的形式固定在电极周围,将待镀膜的面朝向电极。以上结构在腔体抽真空后充惰性气体之后,由电极放电,待镀膜产品朝向电极的一面会接收到电子来完成镀膜的沉积。

如图1所示,前叉包括有连接管、竖管以及组合连接管与竖管的叉肩,竖管远离叉肩的一侧设置有用于与前轮连接的爪钩,通常竖管以及叉肩均为圆形管状结构,而前叉仅以真空镀膜设备的中心线转动难以在前叉圆弧面上形成均匀镀膜,而在转动前叉后又会造成两次镀膜的厚度不同,对工艺的要求十分的高,现有技术存在改进之处。



技术实现要素:

为解决上述技术问题,本实用新型提出了一种用于真空镀膜的前叉挂具,通过在框架本体内设置放置架以及固定前叉的限位架,使前叉能够随框架本体发生旋转,使圆形管组成的前叉表面镀膜均匀,保证前叉的镀膜效果。

为达到上述目的,本实用新型的技术方案如下:一种用于真空镀膜的前叉挂具,包括有框架本体以及设置在所述框架本体中心线上的转轴,所述框架本体内设置有放置架和限位架,所述放置架包括有设置在所述框架本体上的横杆,所述横杆上设置有若干用于卡接前叉爪钩的放置座,所述放置座沿所述横杆的长度方向均匀设置;所述限位架包括有用于抵接前叉叉肩的限位杆。

通过采用上述技术方案,前叉通过横杆上的放置座将多个前叉固定在横杆上,限位杆与前叉的叉肩抵接,限制前叉以横杆为轴线发生转动以及前叉在横杆长度方向上发生滑动,保证前叉在随框架本体转动时的稳定性,同时限位杆与横杆尽可能的减少了与前叉的接触面积,使前叉绝大多数表面能够进行镀膜,框架本体通过带动前叉旋转使前叉的表面能够均匀的进行镀膜,避免了两次镀膜的工艺难度,保证前叉的镀膜效果。

本实用新型进一步设置为:所述放置架包括有与所述框架本体固定连接的第一中心杆,所述第一中心杆的长度方向均匀排布若干所述横杆,所述横杆上的放置座对称设置在所述第一中心杆的两侧。

通过采用上述技术方案,第一中心杆两侧对称设置的横杆使横杆两端手里均匀,且保证框架本体的重心仍位于转轴轴线附近,避免框架本体转动后出现晃动,提高框架本体在转动时前叉的稳定性,使前叉固定在框架本体之外,减少框架本体对前叉镀膜时的影响,避免出现前叉局部镀膜厚度较小的现象,进而提高前叉的镀膜效果。

本实用新型进一步设置为:所述框架本体内沿所述转轴轴线方向设置有若干组放置架,所述限位架与所述放置架一一对应设置。

通过采用上述技术方案,提高框架本体内前叉的安置数量,提高框架本体内挂放前叉的数量,大大提高前叉的镀膜效率。

本实用新型进一步设置为:所述限位架还包括有与所述框架本体滑动连接的连接座以及连接两所述连接座的第二中心杆,所述限位杆平行于所述第二中心杆设置,所述限位杆贯穿位于所述第一中心杆全部横杆。

通过采用上述技术方案,限位架连接座滑动设置在框架本体内,使限位架能够在前叉高度方向上发生滑动,尤其是在横杆上安装或拆卸前叉时,能够减少限位杆与前叉之间的干涉,一方面方便操作者进行作业,另一方面避免限位杆与前叉的表面接触造成表面划伤。

本实用新型进一步设置为:所述框架本体沿所述轴线方向上开设有滑移槽,所述连接座包括有卡接所述框架本体的卡接件,所述第二中心杆穿射所述卡接件和所述滑移槽,所述第二中心杆上螺纹连接有两位于所述卡接件侧的紧固螺栓。

通过采用上述技术方案,卡接件通过两侧的紧固螺栓旋紧使卡接件在框架本体上固定,方便操作者调整限位架的高度以及第二中心杆沿自身长度方向的位置,同时第二中心杆能够在卡接件上转动,方便操作者调整第二中心杆两侧限位杆的高度。

本实用新型进一步设置为:所述放置座包括有与所述横杆平行的抵接杆,所述抵接杆与前叉爪钩抵接,所述抵接杆的两端固定于所述横杆上。

通过采用上述技术方案,前叉爪钩通过横杆与抵接杆同时抵接,使前叉爪钩具有两个接触点,从而限制前叉在横杆上的转动,保证前叉固定的稳定性。

本实用新型进一步设置为:所述抵接杆与所述框架本体竖直面的夹角为10°~15°。

通过采用上述技术方案,抵接杆与框架本体竖直面成10°~15°设置能够使位于横杆上前叉倾斜固定在放置座上,使前叉在镀膜时电子与倾斜撞击在前叉上,提高前叉的镀膜质量。

本实用新型进一步设置为:所述第一中心杆两侧所述横杆上的放置座相反设置,所述框架本体朝向前叉倾斜一侧转动。

通过采用上述技术方案,使中心杆两侧的前叉倾斜相反的固定在横杆上,同时框架本体朝向前叉倾斜一侧转动能够避免前叉本体在旋转的时候发生晃动,提高固定在框架本体上前叉的稳定性。

本实用新型进一步设置为:所述限位杆上设置有与所述前叉一一对应的抵触杆,所述抵触杆插接于前叉的连接管内。

通过采用上述技术方案,进一步减少限位杆与前叉之间的接触面积,尽可能提高前叉的镀膜面积,提高产品的质量,减少后工序对缺失镀膜面积的修补。

本实用新型进一步设置为:所述抵触杆与所述抵接杆与所述框架本体竖直面的夹角相等。

通过采用上述技术方案,保证抵触杆的固定效果。

综上所述,本实用新型具有以下效果:

1、前叉通过横杆上的放置座将多个前叉固定在横杆上,限位杆与前叉的叉肩抵接,限制前叉以横杆为轴线发生转动以及前叉在横杆长度方向上发生滑动,保证前叉在随框架本体转动时的稳定性;

2、框架本体通过带动前叉旋转使前叉的表面能够均匀的进行镀膜,避免了两次镀膜的工艺难度,保证前叉的镀膜效果;

3、抵接杆与框架本体竖直面成10°~15°设置能够使位于横杆上前叉倾斜固定在放置座上,使前叉在镀膜时电子与倾斜撞击在前叉上,提高前叉的镀膜质量。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。

图1为前叉的整体结构示意图;

图2为第一种前叉挂具的结构示意图;

图3为第二种前叉挂具的结构示意图。

图中;1、前叉;11、连接管;12、竖管;13、叉肩;14、爪钩;2、框架本体;21、滑移槽;3、转轴;4、放置架;41、横杆;42、放置座;421、抵接杆;43、第一中心杆;5、限位架;51、限位杆;52、第二中心杆;53、连接座;531、卡接件;532、紧固螺栓;54、抵触杆。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。

如图1和图2所示,一种用于真空镀膜的前叉挂具,包括有框架本体以及设置在框架本体中心线上的转轴,框架本体内设置有放置架和限位架,放置架包括有设置在框架本体上的横杆,横杆上设置有若干用于卡接前叉爪钩的放置座,放置座沿横杆的长度方向均匀设置,本方案中放置座为横杆本身,横杆的直径为爪钩卡接于横杆的直径大小;限位架包括有用于抵接前叉叉肩的限位杆。

放置架包括有与框架本体固定连接的第一中心杆,第一中心杆的长度方向均匀排布若干横杆,横杆上的放置座对称设置在第一中心杆的两侧。

框架本体内沿转轴轴线方向设置有若干组放置架,限位架与放置架一一对应设置。

限位架还包括有与框架本体滑动连接的连接座以及连接两连接座的第二中心杆,限位杆平行于第二中心杆设置,限位杆贯穿位于第一中心杆全部横杆。

框架本体沿轴线方向上开设有滑移槽,连接座包括有卡接框架本体的卡接件,第二中心杆穿射卡接件和滑移槽,第二中心杆上螺纹连接有两位于卡接件侧的紧固螺栓。

限位杆上设置有与前叉一一对应的抵触杆,抵触杆插接于前叉的连接管内。

为了提高前叉的镀膜效果,结合图3所示,本方案中的放置座包括有与横杆平行的抵接杆,抵接杆与前叉爪钩抵接,抵接杆的两端固定于横杆上。

抵接杆与框架本体竖直面的夹角为10°~15°。

第一中心杆两侧横杆上的放置座相反设置,框架本体朝向前叉倾斜一侧转动。

抵触杆与杆与竖直直面的夹角相等。

应当指出,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型创造构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本实用新型的保护范围。

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