掩膜板及其制作方法与流程

文档序号:20571313发布日期:2020-04-29 00:48阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种掩膜板,其特征在于,包括:外框,以及连接于所述外框的掩膜条与遮挡掩膜条;

所述掩膜条包括第一掩膜条与第二掩膜条,所述第一掩膜条位于边缘区,所述第二掩膜条位于中心区,所述第一掩膜条包括连接条以及通孔,所述通孔在所述掩膜板的厚度方向上的正投影位于所述遮挡掩膜条在厚度方向上的正投影内。

2.根据权利要求1所述的掩膜板,其特征在于,所述遮挡掩膜条包括第一区域与第二区域,所述第一区域的厚度小于所述第二区域的厚度。

3.根据权利要求2所述的掩膜板,其特征在于,所述连接条在厚度方向上的正投影位于所述第一区域在厚度方向上的正投影内,所述第二区域在厚度方向上的正投影位于所述通孔在所述掩膜板的厚度方向上的正投影内。

4.根据权利要求3所述的掩膜板,其特征在于,在所述掩膜板的厚度方向上,所述第一区域与所述连接条之间的最小距离的范围为:10微米~30微米。

5.根据权利要求1所述的掩膜板,其特征在于,一条所述连接条包括位于自由端的夹爪区以及位于中部的非夹爪区,所述夹爪区的宽度小于等于所述非夹爪区的宽度。

6.根据权利要求1所述的掩膜板,其特征在于,所述掩膜板具有沉积面,所述遮挡掩膜条靠近所述沉积面,所述第一掩膜条远离所述沉积面。

7.根据权利要求1所述的掩膜板,其特征在于,所述掩膜板还包括精细掩膜板,连接于所述外框。

8.一种掩膜板的制作方法,其特征在于,包括:

分别提供外框、掩膜条与遮挡掩膜条;所述掩膜条包括第一掩膜条与第二掩膜条,所述第一掩膜条位于边缘区,所述第二掩膜条位于中心区,所述第一掩膜条包括连接条以及通孔;

分别将所述掩膜条与所述遮挡掩膜条连接于所述外框,使所述通孔在所述掩膜板的厚度方向上的正投影位于所述遮挡掩膜条在厚度方向上的正投影内。

9.根据权利要求8所述的掩膜板的制作方法,其特征在于,所述外框包括相对的第一面与第二面,先自所述第一面将所述掩膜条连接于所述外框,再自所述第二面将所述遮挡掩膜条连接于所述外框。

10.根据权利要求8所述的掩膜板的制作方法,其特征在于,还包括提供精细掩膜板,在所述掩膜条与所述遮挡掩膜条连接于所述外框后,将所述精细掩膜板连接于所述外框。


技术总结
本发明提供了一种掩膜板及其制作方法,掩膜板包括:外框,以及连接于外框的掩膜条与遮挡掩膜条;掩膜条包括第一掩膜条与第二掩膜条,第一掩膜条位于边缘区,第二掩膜条位于中心区,第一掩膜条包括连接条以及通孔,通孔在掩膜板的厚度方向上的正投影位于遮挡掩膜条在厚度方向上的正投影内。根据本发明的实施例,在保证沉积/蒸镀过程中,无多余材料沉积的基础上,一方面减轻了掩膜条的重量,有利于改善掩膜条的下垂量;另一方面,通孔设计大大减小了宽实材区的张网力,且使各夹爪区的受力更为平均,有利于改善外框的平坦度,提高了后续过程中张网工艺的稳定性及沉积/蒸镀精度。

技术研发人员:薛龙辉;张微;肖星亮;蔡建畅
受保护的技术使用者:京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司
技术研发日:2020.01.03
技术公布日:2020.04.28
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