一种真空镀膜夹具的制作方法

本发明属于真空镀膜技术领域，具体是一种真空镀膜夹具。

背景技术：

真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件（金属、半导体或绝缘体）表面而形成薄膜的一种方法。

真空镀膜时，需要将靶材固定在镀膜室内，目前，对于靶材的固定大多是依靠夹具进行的，现有的夹具存在夹持稳定性差以及夹持效果不佳的缺陷，从而不利于靶材的镀膜。

技术实现要素：

针对上述现有技术的不足，本发明实施例要解决的技术问题是提供一种真空镀膜夹具。

为解决上述技术问题，本发明提供了如下技术方案：

一种真空镀膜夹具，包括设置在镀膜室上部并与所述镀膜室之间通过第一驱动组件相连接的盖板，所述镀膜室上臂开设有与所述盖板相适配的缺口，所述盖板上开设有若干用于放置靶材的安装通道，所述盖板下方设置有支撑板，所述支撑板上部设置有与所述安装通道对应的支撑块，所述盖板底部开设有通道，所述支撑板上方中部通过活动柱延伸至所述通道内部；所述盖板上部还围绕所述安装通道设置有第一凹槽，所述第一凹槽内部活动设置有驱动筒，所述驱动筒上部延伸至盖板上方，盖板上方设置有用于带动所述驱动筒向下移动的第二驱动组件；所述安装通道与第一凹槽之间通过若干水平通孔相连，所述水平通孔内活动设置有夹持块，所述夹持块朝向第一凹槽的一端以及驱动筒底部均设置有相互适配的斜面。

作为本发明进一步的改进方案：所述第一驱动组件为液压杆。

作为本发明进一步的改进方案：所述驱动筒侧方固定设置有支撑杆，所述盖板上方中部开设有第二凹槽，所述第二驱动组件包括设置在盖板上方中部的驱动轴以及设置在所述第二凹槽内部并有外部电机控制转动的齿轮，所述驱动轴侧壁设置有若干与所述齿轮啮合的齿片，驱动轴侧壁上部固定设置有与所述支撑杆相对应的压杆，所述压杆焊接在所述支撑杆上部。

作为本发明进一步的改进方案：所述通孔侧壁开设有内腔，所述夹持块外部固定连接有挡板，所述挡板延伸至所述内腔内部，且所述挡板与所述内腔内壁之间通过弹性件相连。

作为本发明再进一步的改进方案：所述弹性件为弹簧。

作为本发明再进一步的改进方案：所述弹性件为弹片。

作为本发明再进一步的改进方案：所述夹持块朝向安装通道的一端设置有夹持软层。

作为本发明再进一步的改进方案：所述夹持软层采用橡胶材料或者海绵制成。

作为本发明再进一步的改进方案：所述通道内部设置有用于将支撑板固定在盖板底部的限位组件。

作为本发明再进一步的改进方案：所述限位组件包括固定设置在所述通道内部的第一磁块，所述活动柱远离所述支撑板的一端设置有第二磁块，通过第一磁块与第二磁块的相互吸引，可将支撑板固定在盖板下部。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

本发明实施例中，通过第二驱动组件带动驱动筒沿第一凹槽向下移动，驱动筒带动夹持块移动至安装通道内部，从而从靶材侧面对靶材进行夹持，完成靶材的固定，具有夹持效果好的优点，为靶材的镀膜提供方便。

附图说明

图1为一种真空镀膜夹具的结构示意图；

图2为图1中a区域放大示意图；

图3为图1中b区域放大示意图；

图4为一种真空镀膜夹具中盖板的结构示意图；

图中：1-镀膜室、2-缺口、3-第一驱动组件、4-盖板、5-驱动轴、6-压杆、7-支撑杆、8-驱动筒、9-安装通道、10-支撑板、11-内腔、12-挡板、13-弹性件、14-夹持块、15-第一凹槽、16-夹持软层、17-支撑块、18-第二凹槽、19-齿轮、20-齿片、21-第一磁块、22-通道、23-第二磁块、24-活动柱。

具体实施方式

下面结合具体实施方式对本专利的技术方案作进一步详细地说明。

下面详细描述本专利的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本专利，而不能理解为对本专利的限制。

在本专利的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利的限制。

在本专利的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“设置”应做广义理解，例如，可以是固定相连、设置，也可以是可拆卸连接、设置，或一体地连接、设置。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本专利中的具体含义。

实施例1

请参阅图1-4，本实施例提供了一种真空镀膜夹具，包括设置在镀膜室1上部并与所述镀膜室1之间通过第一驱动组件3相连接的盖板4，所述镀膜室1上臂开设有与所述盖板4相适配的缺口2，所述盖板4上开设有若干用于放置靶材的安装通道9，所述盖板4下方设置有支撑板10，所述支撑板10上部设置有与所述安装通道9对应的支撑块17，所述盖板4底部开设有通道22，所述支撑板10上方中部通过活动柱24延伸至所述通道22内部；所述盖板4上部还围绕所述安装通道9设置有第一凹槽15，所述第一凹槽15内部活动设置有驱动筒8，所述驱动筒8上部延伸至盖板4上方，盖板4上方设置有用于带动所述驱动筒8向下移动的第二驱动组件；所述安装通道9与第一凹槽15之间通过若干水平通孔相连，所述水平通孔内活动设置有夹持块14，所述夹持块14朝向第一凹槽15的一端以及驱动筒8底部均设置有相互适配的斜面。

初始时，支撑块17对应塞入安装通道9内，将待镀膜靶材放入安装通道9内部，利用支撑块17对靶材进行支撑，通过第二驱动组件带动驱动筒8沿第一凹槽15向下移动，驱动筒8带动夹持块14移动至安装通道9内部，从而从靶材侧面对靶材进行夹持，完成靶材的固定；靶材固定好后，向下拉动支撑板10，支撑板10带动支撑块17从安装通道9中脱离，再转动支撑板10，使得支撑块17离开安装通道9底部所在区域，第一驱动组件3带动盖板4向下移动，使得盖板4对缺口2进行盖合，实现镀膜室1的封闭，镀膜室1内部的蒸发态涂料进入安装通道9内，从而对靶材的下表面进行镀膜；当靶材镀膜完成后，第一驱动组件3带动盖板4向上移动，利用第二驱动组件带动驱动筒8向上移动，从而解除对于夹持块14的支撑力，此时靶材可由安装通道9底部取出。

具体的，所述第一驱动组件3为液压杆。

具体的，所述驱动筒8侧方固定设置有支撑杆7，所述盖板4上方中部开设有第二凹槽18，所述第二驱动组件包括设置在盖板4上方中部的驱动轴5以及设置在所述第二凹槽18内部并有外部电机控制转动的齿轮19，所述驱动轴5侧壁设置有若干与所述齿轮13啮合的齿片20，驱动轴5侧壁上部固定设置有与所述支撑杆7相对应的压杆6，所述压杆6焊接在所述支撑杆7上部。

通过外部电机带动齿轮13转动，由于齿轮13与齿片20啮合，齿轮13通过齿片20带动驱动轴5向下移动，进而带动压杆6向下移动，压杆6带动支撑杆7以及驱动筒8向下移动，从而挤压夹持块14，使得夹持块14向安装通道9内部移动，完成靶材的夹持固定。

进一步的，所述通孔侧壁开设有内腔11，所述夹持块14外部固定连接有挡板12，所述挡板12延伸至所述内腔11内部，且所述挡板12与所述内腔11内壁之间通过弹性件13相连。

当驱动筒8向上移动，解除夹持块14的支撑力后，在弹性件13的作用下驱使夹持块14向第一凹槽15方向移动，使得靶材的取出更加方便。

具体的，所述弹性件13为弹簧或者弹片。

进一步的，所述夹持块14朝向安装通道9的一端设置有夹持软层16，通过夹持软层16的设置，可对靶材进行软夹持，从而避免了夹紧力度过大，靶材出现损伤。

具体的，所述夹持软层16采用橡胶材料或者海绵制成。

本实施例的工作原理是：初始时，支撑块17对应塞入安装通道9内，将待镀膜靶材放入安装通道9内部，利用支撑块17对靶材进行支撑，通过第二驱动组件带动驱动筒8沿第一凹槽15向下移动，驱动筒8带动夹持块14移动至安装通道9内部，从而从靶材侧面对靶材进行夹持，完成靶材的固定；靶材固定好后，向下拉动支撑板10，支撑板10带动支撑块17从安装通道9中脱离，再转动支撑板10，使得支撑块17离开安装通道9底部所在区域，第一驱动组件3带动盖板4向下移动，使得盖板4对缺口2进行盖合，实现镀膜室1的封闭，镀膜室1内部的蒸发态涂料进入安装通道9内，从而对靶材的下表面进行镀膜；当靶材镀膜完成后，第一驱动组件3带动盖板4向上移动，利用第二驱动组件带动驱动筒8向上移动，从而解除对于夹持块14的支撑力，此时靶材可由安装通道9底部取出。

通过外部电机带动齿轮13转动，由于齿轮13与齿片20啮合，齿轮13通过齿片20带动驱动轴5向下移动，进而带动压杆6向下移动，压杆6带动支撑杆7以及驱动筒8向下移动，从而挤压夹持块14，使得夹持块14向安装通道9内部移动，完成靶材的夹持固定。

实施例2

请参阅图3，一种真空镀膜夹具，本实施例相较于实施例1，所述通道22内部设置有用于将支撑板10固定在盖板4底部的限位组件。

具体的，所述限位组件包括固定设置在所述通道22内部的第一磁块21，所述活动柱24远离所述支撑板10的一端设置有第二磁块21，通过第一磁块21与第二磁块22的相互吸引，可将支撑板10固定在盖板4下部。

本发明实施例中，通过第二驱动组件带动驱动筒8沿第一凹槽15向下移动，驱动筒8带动夹持块14移动至安装通道9内部，从而从靶材侧面对靶材进行夹持，完成靶材的固定，具有夹持效果好的优点。

上面对本专利的较佳实施方式作了详细说明，但是本专利并不限于上述实施方式，在本领域的普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本专利宗旨的前提下做出各种变化。