1.一种工件架,其特征在于,包括:
框架(1);
两个侧板(2),分别连接于所述框架(1)的相对两侧,所述侧板(2)上开设有多个通孔(21);
前挡板(3),连接于所述框架(1)的前侧,两个所述侧板(2)和所述前挡板(3)合围形成开口背向所述前挡板(3)的容纳腔,所述通孔(21)与所述容纳腔连通;
射频电极板(5)和接地电极板(6),均设置于所述容纳腔内,所述射频电极板(5)和所述接地电极板(6)沿所述框架(1)的高度方向间隔交替连接在所述框架(1)上。
2.根据权利要求1所述的工件架,其特征在于,所述射频电极板(5)和所述接地电极板(6)均可拆卸连接在所述框架(1)上且高度位置可调。
3.根据权利要求1所述的工件架,其特征在于,沿所述侧板(2)的高度方向,多个所述通孔(21)分成若干排等间隔分布在所述侧板(2)上,且每排中相邻两个所述通孔(21)的间距相等。
4.根据权利要求3所述的工件架,其特征在于,沿垂直于所述前挡板(3)的方向,每排中所述通孔(21)的孔径沿远离所述前挡板(3)的方向按预设规律逐渐减小。
5.根据权利要求1所述的工件架,其特征在于,所述框架(1)为由多根支撑杆围设形成的六面体结构,所述支撑杆包括多根竖直设置且形成所述六面体结构侧棱的第一支撑杆(11),所述框架(1)的前侧的两根所述第一支撑杆(11)上以及后侧的两根所述第一支撑杆(11)上均沿所述框架(1)的高度方向设置有若干插接凹槽(111),且同侧的两根所述第一支撑杆(11)上的所述插接凹槽(111)一一正对设置,所述插接凹槽(111)用于插接所述射频电极板(5)和所述接地电极板(6)。
6.根据权利要求5所述的工件架,其特征在于,所述工件架还包括绝缘垫块(112),所述绝缘垫块(112)固定在所述第一支撑杆(11)上,所述插接凹槽(111)开设在所述绝缘垫块(112)上。
7.根据权利要求1所述的工件架,其特征在于,所述前挡板(3)为门结构,所述门结构的一侧与所述框架(1)枢接,所述门结构的另一侧与所述框架(1)锁合或解锁。
8.根据权利要求1所述的工件架,其特征在于,所述工件架还包括设置在所述容纳腔内的治具(7),所述治具(7)放置于所述接地电极板(6)上,所述治具(7)用于承载待镀工件。
9.根据权利要求1所述的工件架,其特征在于,所述工件架还包括共用电极板,所述射频电极板(5)和所述接地电极板(6)可拆卸连接于所述共用电极板上并与所述共用电极板电导通。
10.一种镀膜系统,包括反应室(20),其特征在于,所述反应室(20)内设置有如权利要求1-9任一项所述的工件架,所述工件架通过共用电极板可拆卸连接在所述反应室(20)内。