蒸镀设备自动开关门控制方法、开门装置及蒸镀设备与流程

[0001]
本发明涉及蒸镀设备技术领域，尤其涉及一种蒸镀设备自动开关门控制方法、开门装置及蒸镀设备。


背景技术：

[0002]
蒸镀设备通常包括手套箱和密封腔室，手套箱内为高压氮气环境用于蒸镀完成后续的操作，密封腔室的两侧分别设置有腔门，其中，密封腔室的一侧的腔门位于手套箱内，其另一侧的腔门外露于大气中，且手套箱内的高压氮气的气压大于密封腔室外侧的大气压。
[0003]
传统的密封腔室大都为机械开关门，需要操作者手动开门，而当操作者佩戴手套箱的手套作业时，开关门较为困难。根据市场调研和实测结果，采用机械式的腔门锁死结构实际上存在着大气侧水氧进入腔体和手套箱侧造成手套箱内水氧飙升的问题，且随着内开腔时间的延长而不断加重，造成对手套箱环境及后续操作可靠性的影响。现有产品及技术不能满足用户需求，因此，亟待需要一种蒸镀设备自动开关门控制方法以解决上述问题。


技术实现要素：

[0004]
本发明的第一个目的在于提供一种蒸镀设备自动开关门控制方法，能够实现全自动化开门，无需手动操作，提高操作便捷性，且能够避免作业过程中密封腔室暴露于大气中。
[0005]
本发明的第二个目的在于提供一种开门装置，用于密封腔室的开闭，能够实现全自动化开门，无需手动操作，提高操作便捷性，且能够避免作业过程中密封腔室暴露于大气中。
[0006]
本发明的第三个目的在于提供一种蒸镀设备，通过应用上述开门装置，能够实现全自动化开门，无需手动操作，提高操作便捷性，且能够避免作业过程中密封腔室暴露于大气中。
[0007]
为实现上述目的，提供以下技术方案：
[0008]
第一方面，提供了一种蒸镀设备自动开关门控制方法，蒸镀设备包括手套箱、密封腔室、设置于所述密封腔室一侧开口处的第一电控门和设置于所述密封腔室另一侧开口处的第二电控门；
[0009]
所述第一电控门处于大气中，且大气作用在所述第一电控门上的压力为f1；所述第二电控门处于所述手套箱中，所述手套箱内为惰性气体，所述手套箱内的惰性气体作用在所述第二电控门上的压力为f2；且所述手套箱内的惰性气体压强大于大气压强；
[0010]
初始状态下，所述第一电控门和所述第二电控门均处于关闭状态，所述密封腔室内为真空环境，当需要打开所述第二电控门时，所述蒸镀设备自动开关门控制方法包括如下步骤：
[0011]
向所述第一电控门施加一个压向所述密封腔室方向的压力f3；
[0012]
向所述密封腔室内充入惰性气体，其中，所述密封腔室内的惰性气体作用在所述第一电控门上的压力f4小于f3和f1之和；当所述密封腔室内的惰性气体作用在第二电控门上的压力f5近似等于f2后，控制所述第二电控门开门。
[0013]
作为所述蒸镀设备自动开关门控制方法的可选方案，所述蒸镀设备自动开关门控制方法还包括：当在手套箱侧破真空后，停止对所述密封腔室内充气。
[0014]
作为所述蒸镀设备自动开关门控制方法的可选方案，在步骤s3中，先使所述第二电控门沿垂直于所述密封腔室的开口所在平面的方向移动，然后使所述第二电控门沿平行于所述密封腔室的开口所在平面的方向移动，以打开所述第二电控门。
[0015]
作为所述蒸镀设备自动开关门控制方法的可选方案，所述手套箱内的惰性气体与所述密封腔室内充入的惰性气体相同。
[0016]
第二方面，提供了一种开门装置，用于密封腔室的开闭，所述密封腔室的两侧分别设置有开口，所述开门装置包括：
[0017]
第一电控门，设置于所述密封腔室一侧的开口处，且所述第一电控门被配置为处于大气中；
[0018]
第二电控门，设置于所述密封腔室另一侧的开口处，且所述第二电控门被配置为处于手套箱中；
[0019]
两个电动驱动机构，两个所述电动驱动机构分别用于驱动所述第一电控门和所述第二电控门的开闭，并能够向所述第一电控门和所述第二电控门施加压力；
[0020]
控制模块，其上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时能够实现如上所述的蒸镀设备自动开关门控制方法，以控制所述电动驱动机构的启闭。
[0021]
作为所述开门装置的可选方案，所述电动驱动机构包括：
[0022]
支撑板，所述第一电控门或所述第二电控门可活动地设置在所述支撑板上；
[0023]
第一电控驱动组件，用于驱动所述第一电控门或第二电控门沿垂直于所述密封腔室的开口所在平面的方向移动；
[0024]
第二电控驱动组件，用于驱动所述支撑板带动所述第一电控门或所述第二电控门沿平行于所述密封腔室的开口所在平面的方向移动。
[0025]
作为所述开门装置的可选方案，所述第二电控驱动组件包括电机、丝杠和丝杠螺母，所述电机和所述丝杠均设置在所述密封腔室的门框上，所述丝杠平行于所述密封腔室的开口所在平面，所述丝杠螺母与所述丝杠螺纹配合，且所述丝杠螺母与所述支撑板固定连接，所述电机能够驱动所述丝杠转动，以使所述支撑板沿所述丝杠移动。
[0026]
作为所述开门装置的可选方案，所述第一电控驱动组件包括直线驱动器，所述直线驱动器固定在所述支撑板上，且所述直线驱动器的输出端与所述第一电控门或所述第二电控门固定连接；所述直线驱动器的数量为多个，多个所述直线驱动器呈矩阵式布置在所述支撑板上。
[0027]
作为所述开门装置的可选方案，所述第一电控驱动组件还包括驱动连杆，所述驱动连杆的两端分别与所述直线驱动器的输出端和所述第一电控门或第二电控门固定连接。
[0028]
第三方面，提供了一种蒸镀设备，包括如上所述的开门装置，所述蒸镀设备还包括密封腔室和手套箱。
[0029]
与现有技术相比，本发明的有益效果为：
[0030]
本发明提供的蒸镀设备自动开关门控制方法，包括如下步骤：向第一电控门施加一个压向密封腔室方向的压力f3，向密封腔室内充入惰性气体，其中，密封腔室内的惰性气体作用在第一电控门上的压力f4小于f3和f1之和；当密封腔室内的惰性气体作用在第二电控门上的压力f5近似等于f2后，控制第二电控门开门。通过上述蒸镀设备自动开关门控制方法，实现双自动开关门型蒸镀设备开门顺序可控，在手套箱侧有更高气压时，保障大气侧腔门的水氧无法进入腔体及手套箱，提高器件制备及封装的稳定性；且能够避免第一电控门在密封腔室内的惰性气体的作用下被动打开，防止密封腔室暴露于大气中。
[0031]
本发明提供的开门装置，用于密封腔室的开闭，能够实现全自动化开门，无需手动操作，提高操作便捷性，且能够避免作业过程中密封腔室暴露于大气中。
[0032]
本发明提供的蒸镀设备，通过应用上述开门装置，能够实现全自动化开门，无需手动操作，提高操作便捷性，且能够避免作业过程中密封腔室暴露于大气中。
附图说明
[0033]
为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对本发明实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据本发明实施例的内容和这些附图获得其他的附图。
[0034]
图1为本发明实施例提供的蒸镀设备的结构示意图；
[0035]
图2为本发明实施例提供的密封腔室和开门装置的结构示意图；
[0036]
图3为本发明实施例提供的电动驱动机构的结构示意图。
[0037]
附图标记：
[0038]
100-密封腔室；200-手套箱；
[0039]
1-第一电控门；
[0040]
2-第二电控门；
[0041]
3-支撑板；
[0042]
4-第一电控驱动组件；41-直线驱动器；42-导柱；43-导套；44-驱动连杆；
[0043]
5-第二电控驱动组件；51-电机；52-丝杠；53-丝杠螺母；54-导轨；55-滑块。
具体实施方式
[0044]
为了使本领域技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。
[0045]
在本发明的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
[0046]
在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特
征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0047]
在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“左”、“右”等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。
[0048]
如图1-图3所示，本实施例提供了一种蒸镀设备，包括密封腔室100、手套箱200和开门装置，密封腔室100的两侧分别设置有开口，其中一个开口位于手套箱200内，另一个开口位于大气侧，开门装置能够实现自动控制密封腔室100的开闭，以便于后续蒸镀工作。
[0049]
其中，开门装置包括第一电控门1、第二电控门2、两个电动驱动机构和控制模块。第一电控门1设置于密封腔室100一侧的开口处，且第一电控门1处于大气中；第二电控门2设置于密封腔室100另一侧的开口处，且第二电控门2处于手套箱中；两个电动驱动机构分别用于驱动第一电控门1和第二电控门2的开闭，且能够向第一电控门1和第二电控门2施加压力，以使第一电控门1和第二电控门2压紧在密封腔室100上；控制模块上存储有计算机程序，计算机程序被处理器执行时，能够控制电动驱动机构的启动或停止，以实现根据需要打开第一电控门1或第二电控门2，以及第一电控门1和第二电控门2的开门顺序。
[0050]
可选地，电动驱动机构包括支撑板3、第一电控驱动组件4和第二电控驱动组件5。
[0051]
为了便于描述，以电动驱动机构驱动第一电控门1的开闭为例进行说明。第一电控门1可活动地设置在支撑板3上；第一电控驱动组件4用于驱动第一电控门1沿垂直于密封腔室100的开口所在平面的方向移动，即第一电控驱动组件4能够驱动第一电控门1远离密封腔室100或驱动第一电控门1压紧在密封腔室100上；第二电控驱动组件5用于驱动支撑板3带动第一电控门1沿平行于密封腔室100的开口所在平面的方向移动，即第二电控驱动组件5能够驱动第一电控门1左右移动或上下移动开门或关门。
[0052]
第一电控驱动组件4包括直线驱动器41，直线驱动器41固定在支撑板3上，且直线驱动器41的输出端与第一电控门1固定连接，以驱动第一电控门1沿垂直于密封腔室100的开口所在平面移动。
[0053]
示例性地，直线驱动器41的数量为多个，多个直线驱动器41呈矩阵式布置在支撑板3上。通过多个直线驱动器41，以便于根据需要调整直线驱动器41作用在第一电控门1上的压紧力，使第一电控门1压紧在密封腔室100上，避免第一电控门1在密封腔室100内的惰性气体的压力下被动打开。
[0054]
第一电控驱动组件4还包括驱动连杆44，驱动连杆44的两端分别与直线驱动器41的输出端和第一电控门1或第二电控门2固定连接。驱动连杆44用于延长直线驱动器41的输出端，保证直线驱动器41能够驱动第一电控门1远离密封腔室100的开口或使第一电控门1压紧在密封腔室100上。
[0055]
示例性地，在本实施例中，直线驱动器41的数量为四个，四个直线驱动器41均匀地设置在支撑板3上，四个直线驱动器41同时工作，以驱动电控门运动。
[0056]
可选地，直线驱动器41可以为气缸。
[0057]
进一步地，控制模块能够控制气缸地供气，使气缸根据需要打开第一电控门1，或
向第一电控门1上施加压力。
[0058]
为了使电控门沿前后方向稳定移动，第一电控驱动组件4还包括电控门导向组件，电控门导向组件包括滑动配合的导柱42和导套43，导柱42固定在电控门上，导套43固定在支撑板3上。在本实施例中，电控门导向组件的数量为两个，分别设置在支撑板3的左右两侧。
[0059]
第二电控驱动组件5包括电机51、丝杠52和丝杠螺母53，电机51和丝杠52均设置在密封腔室100的门框上，丝杠52平行于密封腔室100的开口所在平面，丝杠螺母53与丝杠52螺纹配合，且丝杠螺母53与支撑板3固定连接，电机51能够驱动丝杠52转动，以使支撑板3沿丝杠52移动。
[0060]
示例性地，第二电控驱动组件5驱动支撑板3沿左右方向移动，丝杠52沿左右方向延伸。在其他实施例中，第二电控驱动组件5还可以驱动支撑板3沿上下方向移动，则丝杠52沿上下方向延伸。两个方案均能够实现第一电控门1的自动移开。
[0061]
为了保证支撑板3平稳地移动，第二电控驱动组件5还包括导向组件，导向组件包括滑动配合的导轨54和滑块55，导轨54固定在密封腔室100的门框上，滑块55固定在丝杠螺母53上。可选地，导向组件的数量为两个，两个导向组件分别设置在密封腔室100的门框的上下两端或左右两侧。
[0062]
优选地，第一电控门1上设置有观察窗口，支撑板3上设置有与观察窗口对应设置的观察通口，以便于工作人员观察密封腔室100的反应情况。
[0063]
电动驱动机构与第二电控门2的连接方式与上述电动驱动机构与第一电控门1的连接方式相同，在此不再赘述。
[0064]
为了能够实现全自动化开门，无需手动操作，且避免作业过程中密封腔室100暴露于大气中，本实施例还提供了一种基于上述蒸镀设备的蒸镀设备自动开关门控制方法，以解决上述问题。
[0065]
具体地，在作业过程中，第一电控门1处于大气中，且大气作用在第一电控门1上的压力为f1；第二电控门2处于手套箱200中，手套箱200内为惰性气体，手套箱200内的惰性气体作用在第二电控门上的压力为f2；且手套箱200内的惰性气体压强大于大气压强。
[0066]
初始状态下，第一电控门1和第二电控门2均处于关闭状态，密封腔室100内为真空环境，当需要打开第二电控门2时，蒸镀设备自动开关门控制方法包括如下步骤：向第一电控门1施加一个压向密封腔室100方向的压力f3；向密封腔室100内充入惰性气体，其中，密封腔室100内的惰性气体作用在第一电控门1上的压力f4小于f3和f1之和；当密封腔室100内的惰性气体作用在第二电控门2上的压力f5近似等于f2后，控制第二电控门2开门。
[0067]
其中，“向第一电控门1施加一个压向密封腔室100方向的压力f3”的作用是为了防止再向密封腔室100内充气时，第一电控门1在密封腔室100内的惰性气体的作用下被动打开，从而使密封腔室100暴露于大气中。“f4＜f1+f3，f5近似等于f2”的作用是为了保证密封腔室100内充入的惰性气体的气压能够便于控制第二电控门2的打开，同时不能将第一电控门1推开。
[0068]
需要说明的是，“f5近似等于f2”包括三种情况，其一、f5等于f2；其二，f5大于f2；其三、f5略小于f2，因为开门装置可提供一向外的拉力，实现开门。上述三种情况，均能够保证第二电控门2能够顺利被打开，且当手套箱200内的气体进入密封腔室100内时，不至于将
第一电控门1推开。
[0069]
通过上述蒸镀设备自动开关门控制方法，实现双自动开关门型蒸镀设备开门顺序可控，在手套箱200侧有更高气压时，保障大气侧腔门的水氧无法进入腔体及手套箱200，提高器件制备及封装的稳定性，避免第一电控门1在密封腔室100内的惰性气体的作用下被动打开，防止密封腔室100暴露于大气中。
[0070]
可选地，在本实施例中，可以先向第一电控门1施加压力f3，然后向密封腔室100内充入惰性气体，并保证f4＜f1+f3。或是，还可以边向第一电控门1施加压力f3，边向密封腔室100内充入惰性气体，并保证f4＜f1+f3。或是，还可以先向密封腔室100充入惰性气体，但惰性气体的压强小于大气压强，然后向第一电控门1施加压力f3，继续向密封腔室100内充气，并保证在整个过程中f4＜f1+f3。
[0071]
优选地，通过电动驱动机构中的第一电控驱动组件4向第一电控门1施加一个压力f3，从而使第一电控门1压紧在密封腔室100的开口上，保证第一电控门1不会在密封腔室100充气过程中被迫打开。
[0072]
进一步地，所述蒸镀设备自动开关门控制方法还包括：当在手套箱200侧破真空后，停止对密封腔室100内充气。
[0073]
可选地，手套箱200内的惰性气体与密封腔室100内充入的惰性气体相同。
[0074]
示例性地，所述手套箱200内的惰性气体为氮气，向所述密封腔室100内充入氮气。
[0075]
优选地，通过电动驱动机构中的第一电控驱动组件4先使第二电控门2沿垂直于密封腔室100的开口所在平面的方向移动，然后通过电动驱动机构中的第二电控驱动组件5使第二电控门2沿平行于密封腔室100的开口所在平面的方向移动，以打开第二电控门2。
[0076]
注意，上述仅为本发明的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本发明不限于这里所说的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本发明的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本发明进行了较为详细的说明，但是本发明不仅仅限于以上实施例，在不脱离本发明构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本发明的范围由所附的权利要求范围决定。