一种金属基薄膜压敏芯片研磨抛光工艺的制作方法

文档序号:24894096发布日期:2021-04-30 13:24阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种金属基薄膜压敏芯片研磨抛光工艺,其特征在于,包括以下步骤:

步骤a:下料,圆棒下料切断制得毛坯料;

步骤b:成型,毛坯料采用机加工制成芯片基底,芯片基底包括芯片基体(1),芯片基体(1)包括凸台(4)、盲孔(2)和敏感膜片(3),敏感膜片(3)厚度控制为0.9-1.2mm;

步骤c:研磨减薄,采用单面铜盘研磨设备对敏感膜片(3)进行研磨减薄操作,敏感膜片(3)厚度控制为0.3-0.4mm;

步骤d:填充合金液,将合金液填充入芯片基体(1)的盲孔(2)内,然后冷却凝固;

步骤e:单面研磨,将步骤d所制填充有合金液的芯片基体(1)采用树脂铜研磨盘进行单面研磨操作,研磨完成后敏感膜片(3)厚度控制为0.1-0.2mm,制得待加工物料;

步骤f:单面抛光,将步骤e所制待加工物料采用抛光设备进行抛光操作,抛光完成后敏感膜片(3)厚度控制为0.09-0.11mm,制得待加工物料;

步骤g:清洗,将步骤f所制待加工物料放入100℃水中进行清洗操作,清洗时间控制为1.5-3分钟,将芯片基体(1)的盲孔(2)内的合金液融化并沉淀于水中,制得待加工物料;

步骤h:测试变形量和粗糙度,将步骤g所制待加工物料采用小坂et150微小形状测定机测试中间区域敏感膜片的变形量和粗糙度,评估方法是随机取5个基底样品测试变形量和粗糙度,对比不同条件下变形量和粗糙度的平均值和最大值,值越小表示效果越好;

步骤i:二次清洗,将经过步骤h测试过后的待加工物料依次进行超声清洗、水洗、有机洗、酸洗、碱洗、脱水、烘干工序,制得待加工物料;

步骤j:微电子电路加工,步骤i所制得待加工物料依次进行清洗、镀膜、光刻、刻蚀、去胶、检测工序,制得合格的金属基薄膜压敏芯片。

2.根据权利要求1所述的一种金属基薄膜压敏芯片研磨抛光工艺,其特征在于,所述步骤a中,不锈钢圆棒采用材料为17-4ph、直径为10mm的不锈钢圆棒。

3.根据权利要求1所述的一种金属基薄膜压敏芯片研磨抛光工艺,其特征在于,所述步骤c中,研磨压力控制为6-8kgf,研磨时间控制为12-14分钟。

4.根据权利要求1所述的一种金属基薄膜压敏芯片研磨抛光工艺,其特征在于,所述步骤d中,合金液是采用锡、铋、铅、铟金属装入电加热坩埚装置内,将电加热坩埚装置加热到390-410℃使金属快速融化混合制得。

5.根据权利要求4所述的一种金属基薄膜压敏芯片研磨抛光工艺,其特征在于,所述合金液成分质量份数控制为:锡8%~13%;铋45%~60%、铅10%~20%、铟15%~30%,合金液的熔点控制为60-70℃。

6.根据权利要求5所述的一种金属基薄膜压敏芯片研磨抛光工艺,其特征在于,所述合金液通过脚踏气压条充装置注入芯片基体(1)的盲孔(2)内,调整好脚踏填充装置的气压,将填充装置的针头对准芯片基体(1)的盲孔(2),脚踩踏板将融化后的合金液注入到芯片基体(1)的盲孔(2)内,冷却时间控制为2-4分钟。

7.根据权利要求1所述的一种金属基薄膜压敏芯片研磨抛光工艺,其特征在于,所述步骤e中,在单面研磨操作中,表面平面度控制为±10um,表面刻槽深度2mm,槽宽3mm,槽间距3mm,采用有机系研磨液进行单面研磨操作,研磨压力控制为3-5kgf,研磨时间控制为7-9分钟。

8.根据权利要求1所述的一种金属基薄膜压敏芯片研磨抛光工艺,其特征在于,所述步骤f中,抛光垫采用聚氨酯抛光垫,抛光液采用含氧化铝的抛光液,抛光压力设定控制为2-4kgf,抛光时间控制为5-7分钟。


技术总结
本发明公布了一种金属基薄膜压敏芯片研磨抛光工艺,涉及半导体和传感器加工技术领域,包括下料、成型、研磨减薄、填充合金液、单面研磨、单面抛光、清洗、测试变形量和粗糙度、二次清洗、微电子电路加工的加工步骤。本发明的目的是提供一种金属基薄膜压敏芯片研磨抛光工艺,设计科学,工艺完善,能够解决低量程芯片基底在研磨抛光过程中,金属基薄膜压敏芯片的敏感膜片容易变形的问题,能够避免敏感膜片在单面研磨和单面研磨的过程中发生变形,从而减少金属基薄膜压敏芯片的敏感膜片粗糙度和变形量。

技术研发人员:王国秋
受保护的技术使用者:湖南启泰传感科技有限公司
技术研发日:2020.12.26
技术公布日:2021.04.30
当前第2页1 2 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1