蒸镀装置的制作方法

本申请涉及蒸镀技术领域，尤其涉及一种蒸镀装置。

背景技术：

在显示技术领域中，在显示器的制作过程中，真空镀膜是一种较成熟的成膜方式，将用于成膜的基材通过蒸镀装置加热蒸镀到基板上。但是现有的蒸镀装置对基材的蒸镀质量较差，从而降低了产品的质量。此外，由于某些材料的特殊性，在蒸镀的过程中，容易对蒸镀装置中的喷嘴造成堵塞，但是现有的喷嘴不易拆卸和更换。

因此，目前亟待需要一种蒸镀装置来解决上述问题。

技术实现要素：

本申请提供了一种蒸镀装置，以提高基材的蒸镀质量，特别是基材边缘的蒸镀。

本申请实施例提供了一种蒸镀装置，包括：

坩埚，具有蒸发槽；

盖板，盖设于所述蒸发槽上；

喷嘴组，与所述蒸发槽连通，所述喷嘴组包括第一喷嘴组和第二喷嘴组，沿所述喷嘴组的排列方向，所述第二喷嘴组设置于所述第一喷嘴组的两端；

沿排列方向，所述第一喷嘴组包括多个第一喷嘴和两个端部喷嘴，所述第二喷嘴组包括多个第二喷嘴，所述端部喷嘴位于所述第一喷嘴组沿排列方向的端部，所述端部喷嘴分别与所述第一喷嘴和所述第二喷嘴邻接；

所述端部喷嘴和与其相邻的所述第一喷嘴或所述第二喷嘴之间的间距为第一间距，相邻两个所述第一喷嘴之间的间距为第二间距，相邻两个所述第二喷嘴之间的间距为第三间距，所述第一间距大于所述第二间距，所述第二间距大于所述第三间距。

在一种可能的设计中，所述第一喷嘴和所述端部喷嘴的喷嘴出口直径相同，所述第一喷嘴的喷嘴出口直径为所述第二喷嘴的喷嘴出口直径的1.5-2倍。

在一种可能的设计中，所述第一喷嘴、所述端部喷嘴和所述第二喷嘴的喷嘴出口角度为30°-60°。

在一种可能的设计中，还包括用于安装所述喷嘴组的喷嘴安装条，所述盖板沿所述喷嘴组的排列方向设置有固定槽，所述喷嘴安装条可拆卸地设置于所述固定槽中。

在一种可能的设计中，所述喷嘴安装条的顶面凹设有用于安装所述喷嘴组的多个喷嘴安装孔，所述喷嘴安装孔沿所述喷嘴组的排列方向呈线性分布，且所述喷嘴安装孔沿垂直于所述喷嘴组的排列方向的轴向方向呈对称分布。

在一种可能的设计中，还包括喷嘴连接管，所述喷嘴连接管的一端与所述喷嘴组连接，另一端与所述喷嘴安装孔连接。

在一种可能的设计中，所述固定槽从顶部沿着底部方向的直径逐渐减小，且所述固定槽内设置有用于支撑所述喷嘴安装条的凸台。

在一种可能的设计中，所述蒸发槽的顶部横截面积大于所述蒸发槽的底部横截面积。

在一种可能的设计中，还包括环状固定板，所述环状固定板环设于所述盖板的四周，且所述环状固定板固设于所述坩埚的顶部。

在一种可能的设计中，所述坩埚的顶面还凹设有环状密封槽，所述环状固定板设置有与所述环状密封槽相适配的密封件。

可见，在以上各个方面，本申请提供的蒸镀装置通过使第一间距大于第二间距，第二间距大于第三间距，有效地提高了基材的蒸镀质量，特别是基材边缘的蒸镀质量。

附图说明

图1为本申请实施例提供的蒸镀装置的正视图；

图2为本申请实施例提供的蒸镀装置的俯视图；

图3为图1中盖板和环状固定板的剖面示意图；

图4为图1中喷嘴安装条的剖面示意图；

图5为图1中喷嘴安装条的俯视图；

图6为图1中坩埚的俯视图。

附图标记：

h1-第一间距；

h2-第二间距；

h3-第三间距；

i-排列方向；

1-坩埚；

11-蒸发槽；

12-环状密封槽；

2-盖板；

21-固定槽；

211-凸台；

3-喷嘴组；

31-第一喷嘴组；

311-第一喷嘴；

312-端部喷嘴；

32-第二喷嘴组；

321-第二喷嘴；

4-喷嘴安装条；

41-喷嘴安装孔；

5-环状固定板；

51-密封件。

此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本申请的实施例，并与说明书一起用于解释本申请的原理。

具体实施方式

以下结合附图及实施例，对本申请进行详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。

在本申请实施例的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“第一”、“第二”仅用于描述的目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性；除非另有规定或说明，术语“多个”是指两个或两个以上；术语“连接”、“固定”等均应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接，或电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

本说明书的描述中，需要理解的是，本申请实施例所描述的“上”、“下”等方位词是以附图所示的角度来进行描述的，不应理解为对本申请实施例的限定。此外，在上下文中，还需要理解的是，当提到一个元件连接在另一个元件“上”或者“下”时，其不仅能够直接连接在另一个元件“上”或者“下”，也可以通过中间元件间接连接在另一个元件“上”或者“下”。

在显示技术领域中，在显示器的制作过程中，真空镀膜是一种较成熟的成膜方式，将用于成膜的基材通过蒸镀装置加热蒸镀到基板上。但是现有的蒸镀装置对基材的蒸镀质量较差，从而降低了产品的质量。此外，由于某些材料的特殊性，在蒸镀的过程中，容易对蒸镀装置中的喷嘴造成堵塞，但是现有的喷嘴不易拆卸和更换。

为解决上述问题，本申请提供了一种蒸镀装置。如图1和图2所示，其分别为本申请实施例提供的蒸镀装置的正视图和俯视图。该蒸镀装置包括坩埚1、盖板2和喷嘴组3，其中：

坩埚1具有蒸发槽11(可参见图6)，盖板2盖设于蒸发槽11上，喷嘴组3与蒸发槽11连通，喷嘴组3包括第一喷嘴组31和第二喷嘴组32，沿喷嘴组3的排列方向i，第二喷嘴组32设置于第一喷嘴组31的两端；沿排列方向i，第一喷嘴组31包括多个第一喷嘴311和两个端部喷嘴312，第二喷嘴组32包括多个第二喷嘴321，端部喷嘴312位于第一喷嘴组31沿排列方向i的端部，端部喷嘴312分别与第一喷嘴311和第二喷嘴321邻接；端部喷嘴312和与其相邻的第一喷嘴311或第二喷嘴321之间的间距为第一间距h1(可参见图5)，相邻两个第一喷嘴311之间的间距为第二间距h2，相邻两个第二喷嘴321之间的间距为第三间距h3，第一间距h1大于第二间距h2，第二间距h2大于第三间距h3。对于第一喷嘴组31而言，由于蒸发材料变成气态后，会逐渐向两端运动，即越靠近第一喷嘴组31两端的气体的浓度逐渐增大且运动速度逐渐降低，从而产生中间浓度低且两端浓度高的分布形式，为使蒸发槽11两端的蒸发材料能够均匀喷出，端部喷嘴312的分布密度应当更小一些，因此端部喷嘴312和与其相邻的第一喷嘴311或第二喷嘴321之间的间距(即第一间距h1)应当比相邻两个第一喷嘴311之间的间距(即第二间距h2)大。但是对于第二喷嘴组32而言，由于蒸发源为长方体有限元，在两端边界处(即第二喷嘴组32的位置处)存在边界效应，致使蒸发槽11两端的气体逐渐堆积，从而在第二喷嘴组32的位置处形成浓度高且相对不稳定运动的气体分布形式，为使第二喷嘴组32处的气体喷射稳定且均匀，第二喷嘴组32的分布密度应当更大一些，因此相邻两个第二喷嘴321之间的间距(即第三间距h3)应当比相邻两个第一喷嘴311之间的间距(即第二间距h2)小。

在一些实施方式中，第一喷嘴311和端部喷嘴312的喷嘴出口直径相同，第一喷嘴311的喷嘴出口直径为第二喷嘴321的喷嘴出口直径的1.5-2倍。同上述内容所述，为使第二喷嘴组32处的气体喷射稳定且均匀，不仅需要将相邻两个第二喷嘴321之间的间距(即第三间距h3)变小，同时也需要将第二喷嘴321的喷嘴出口直径变小，如此才能实现蒸发源喷射的整体均匀性。

在一些实施方式中，第一喷嘴311、端部喷嘴312和第二喷嘴321的喷嘴出口角度为30°-60°，如此可通过控制蒸发材料的喷出角度来控制蒸镀到基板上各位置处的膜层的均匀度。

在一些实施方式中，如图3和图4所示，该蒸镀装置还包括用于安装喷嘴组3的喷嘴安装条4，盖板2沿喷嘴组3的排列方向设置有固定槽21，喷嘴安装条4可拆卸地设置于固定槽21中。通过设置喷嘴安装条4，如此可以实现整体对喷嘴组3进行更换，以便适应具有较大差别的蒸镀需求，进而可以提高蒸镀的效率和便于拆卸的效果。

其中，固定槽21从顶部沿着底部方向的直径逐渐减小，且固定槽21内设置有用于支撑喷嘴安装条4的凸台211，如此可以增加喷嘴安装条4固定的稳定性，以及提高喷嘴安装条4易拆卸的效果。

在一些实施方式中，喷嘴安装条4的顶面凹设有用于安装喷嘴组3的多个喷嘴安装孔41，喷嘴安装孔41沿喷嘴组3的排列方向i呈线性分布，且喷嘴安装孔41沿垂直于喷嘴组3的排列方向的轴向方向i呈对称分布。通过对喷嘴组3的位置分布均匀，更加提高蒸镀的均匀性，增加了对蒸镀装置的可控性。

在一些实施方式中，该蒸镀装置还包括喷嘴连接管(图中未示出)，喷嘴连接管的一端与喷嘴组3连接，另一端与喷嘴安装孔41连接。每个喷嘴(包括第一喷嘴311、端部喷嘴312和第二喷嘴321)均可以与喷嘴安装孔41进行连接，例如喷嘴设置有外螺纹，喷嘴安装孔41设置有与之相匹配的内螺纹；在安装过程中，也可以是在喷嘴安装孔41上先安装喷嘴连接管，然后再在喷嘴安装管上安装喷嘴，例如喷嘴连接管的一端具有外螺纹，另一端具有内螺纹。通过设置有喷嘴连接管，可以减小蒸镀材料的行程，以满足不同蒸镀需求的需要，通过对单个喷嘴的更换，一方面方便对喷嘴的清洗，另一方面适应对较小差别蒸镀需求。

在一些实施方式中，如图6所示，蒸发槽11的顶部横截面积大于蒸发槽11的底部横截面积，从而有利于蒸镀材料的蒸发，减小坩埚1内发生的孤岛效应。

在一些实施方式中，请参阅图3和图6，该蒸镀装置还包括环状固定板5，环状固定板5环设于盖板2的四周，且环状固定板5固设于坩埚1的顶部。例如，盖板2通过螺钉等连接于坩埚1，盖板2靠近坩埚1的底面延伸有环绕盖板2一周的环状固定板5，环状固定板5的厚度小于盖板2的厚度，如此可尽可能减小制作材料的成本。

在一些实施方式中，坩埚1的顶面还凹设有环状密封槽12，环状固定板5设置有与环状密封槽12相适配的密封件51，在坩埚1进行蒸镀时，提高坩埚1内材料的密封性。

综上，本申请实施例提供的蒸镀装置通过设置喷嘴组3的第一间距h1大于第二间距h2，第二间距h2大于第三间距h3，有效地提高了基材的蒸镀质量，特别是基材边缘的蒸镀质量。此外，盖板2与坩埚1可拆卸连接，可以实现对喷嘴组3进行整体快速更换；而且盖板2与喷嘴组3可拆卸连接，可以实现对单个喷嘴的更换，以提高蒸镀的效率和便于拆掉的效果。

以上所述仅为本申请的较佳实施例而已，并不用以限制本申请，凡在本申请的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请保护的范围之内。