一种防指纹光学薄膜镀膜设备的制作方法

文档序号:21916383发布日期:2020-08-18 20:09阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种防指纹光学薄膜镀膜设备,其特征在于:包括真空室腔体、工转架、蒸发器、蒸发电源、流量阀、温控器、真空计、残余气体分析仪、膜厚仪和控制单元,在真空室腔体内的上部设置一可转动的工转架用于承载镜片,在真空室腔体内的下部设有惰性气体管道和蒸发器,膜厚仪安装在真空室腔体外且探头伸入真空室腔体内的工转架中,真空计、残余气体分析仪和温控器安装在真空室腔体的侧壁上,蒸发器与安装在真空室腔体外的蒸发电源连接,惰性气体管道通过真空室腔体外的流量阀与供气管道连接,蒸发电源、流量阀、温控器、真空计、残余气体分析仪和膜厚仪都与控制单元连接。

2.如权利要求1所述的一种防指纹光学薄膜镀膜设备,其特征在于:所述工转架呈倒扣的碗形,底部具有旋转轴与第一驱动装置连接,由第一驱动装置带动工转架进行旋转,第一驱动装置与控制单元连接。

3.如权利要求1所述的一种防指纹光学薄膜镀膜设备,其特征在于:所述真空室腔体内的蒸发器上方,对应蒸发源的位置安装可以转动的挡板,挡板与第二驱动装置连接,由第二驱动装置带动挡板旋转,第二驱动装置与控制单元连接。

4.如权利要求1所述的一种防指纹光学薄膜镀膜设备,其特征在于:所述惰性气体管道分为进气和出气两条管道,两条管道分别通过真空室腔体外的流量阀与供气管道连接。


技术总结
本实用新型公开一种防指纹光学薄膜镀膜设备,包括真空室腔体、工转架、蒸发器、蒸发电源、流量阀、温控器、真空计、残余气体分析仪、膜厚仪和控制单元,在真空室腔体内的上部设置一可转动的工转架用于承载镜片,在真空室腔体内的下部设有惰性气体管道和蒸发器,膜厚仪安装在真空室腔体外且探头伸入真空室腔体内的工转架中,真空计、残余气体分析仪和温控器安装在真空室腔体的侧壁上,蒸发器与安装在真空室腔体外的蒸发电源连接,惰性气体管道通过真空室腔体外的流量阀与供气管道连接,蒸发电源、流量阀、温控器、真空计、残余气体分析仪和膜厚仪都与控制单元连接。此设备可镀制耐划伤、超硬质防指纹光学薄膜。

技术研发人员:王为城
受保护的技术使用者:厦门立扬光学科技有限公司
技术研发日:2020.01.17
技术公布日:2020.08.18
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