一种带散射电子捕集器的新型坩埚系统的制作方法

本实用新型涉及蒸发镀膜设备相关领域，具体是一种带散射电子捕集器的新型坩埚系统。

背景技术：

蒸发镀膜常称真空镀膜，其特点是在真空条件下，材料蒸发并在玻璃表面上凝结成膜，再经高温热处理后，在玻璃表面形成附着力很强的膜层。

目前在蒸发镀膜设备，上盖板虽然采用可分离式的结构，但是由于是在上盖板上面下沉了一定深度的台阶方式，让保护罩与其连接的方式来实现安装和拆卸，但是由于长时间成膜后，坩埚周围会堆积一定厚度的金属膜，由于盖板是铜制品，金属堆积一定后会在坩埚转动的时候会使带台阶部分的盖板边缘发生变形，不仅改变了上盖板与坩埚本体之间的缝隙，导致相邻2个坩埚位的镀膜时的蒸汽气流乱串而混进不同的材料，同时由于倾斜，也一定程度导致了成膜时的散射角度和均匀性，其次，由于上盖板一般是平板式，使二次电子不能很好地被充分吸收，对基本和衬底会造成一定程度的损伤，特别是在高速率成膜时产生的二次电子能量会使基板表面的温度上升，对产品性能产生影响，特别是在做一种带有低温光刻胶工艺时会使光刻胶提前固化，从而影响产品剥离难度和综合性能，另外，裸露在外的上盖板部分，长时间成膜后散射的二次电子会一定程度侵蚀其表面，增加了上盖板的故障机率和更换的成本，最后，目前分离式保护罩的形状通常都是u型，内侧面斜面面积过小，会导致提前需要对其进行跟换，影响作业效率。

技术实现要素：

本实用新型是这样实现的，构造一种带散射电子捕集器的新型坩埚系统，该装置包括坩埚底板、中心水轴、坩埚驱动轴、坩埚本体、电子枪头发生器、二次电子收集板、水冷块、圆形火山口、双层坩埚上盖板和双层坩埚下盖板，所述坩埚底板与中心水轴底部固定连接，所述中心水轴与坩埚本体底部转动配合，所述坩埚驱动轴输出端与中心水轴左上端转动连接，所述电子枪头发生器安装固定于坩埚底板顶部前端，所述坩埚本体与双层坩埚下盖板底部固定连接，所述双层坩埚上盖板通过螺钉与双层坩埚下盖板底部前端锁紧固定，所述圆形火山口嵌入于双层坩埚上盖板顶部左端，并且圆形火山口通过螺钉与双层坩埚上盖板顶部前端锁紧固定，所述双层坩埚下盖板顶部后端固定有二次电子收集板，所述双层坩埚下盖板顶部后端设置有水冷块。

优选的，所述圆形火山口上端设置有固定孔，并且固定孔共设置有四个。

优选的，所述圆形火山口内直径为64mm，外直径为115mm，并且圆形火山口的高度为25mm。

优选的，所述圆形火山口上端设置有台阶，并且台阶横截面为等腰梯形状。

优选的，所述双层坩埚上盖板内侧设置有水冷通道，并且水冷块与双层坩埚上盖板内侧水冷通道相连通。

优选的，所述水冷块左下端设置有连接头，并且水冷块与连接头相连通。

优选的，所述二次电子收集板上端设置有斜面，并且水冷块位于二次电子收集板和双层坩埚下盖板内侧。

优选的，所述双层坩埚上盖板上端设置有固定槽，并且双层坩埚上盖板上端固定槽与圆形火山口大小相吻合。

优选的，所述台阶的上宽度为54mm，下宽度为45mm，并且台阶的高度为18mm。

优选的，所述连接头共设置有两根，并且连接头沿水冷块左端前后两侧相对设置。

优选的，所述双层坩埚上盖板采用不锈钢材质，可以反复清洗和利用的优点。

本实用新型具有如下优点：本实用新型通过改进在此提供一种带散射电子捕集器的新型坩埚系统，与同类型设备相比，具有如下改进：

优点一：本实用新型所述一种带散射电子捕集器的新型坩埚系统，通过在双层坩埚上盖板上端加装了水冷块，水冷块与双层坩埚上盖板内部的的水冷通道相连通，通过水循环对双层坩埚上盖板和圆形火山口进行快速冷却，从而使双层坩埚上盖板和圆形火山口快速降为常温，方便对圆形火山口进行拆卸更换。

优点二：本实用新型所述一种带散射电子捕集器的新型坩埚系统，通过在双层坩埚上盖板上端设置了圆形火山口，通过采用圆形增高型可分离式火山口，从而增加了火山口的高度和内侧面的面积，使其在此种坩埚系统最大限度地发挥了内侧面的有效面积，能很有效地延长更换的周期，节约成本，改变了原来使用u型分离式保护罩的方式，达到了增加圆形火山口使用寿命的优点。

优点三：本实用新型所述一种带散射电子捕集器的新型坩埚系统，通过在双层坩埚下盖板上面增加双层坩埚上盖板，并且双层坩埚上盖板采用不锈钢的材料，可以反复清洗和利用，极大效果地保护了双层坩埚下盖板的寿命，达到了节约成本和使用便利的优点。

优点四：本实用新型所述一种带散射电子捕集器的新型坩埚系统，通过在双层坩埚上盖板上端设置了二次电子收集板，二次电子收集板一方面起到防止长时间镀膜时，金属膜蒸发到水冷块表面，导致降低水冷效果，并且二次电子收集板上端设置有倾斜的坡面，能够最大限度地吸收二次电子的能量，从而减少散射的二次电子对产品的损伤，同时也一定程度上吸收了高速率蒸发时产生的热量，可以大幅度减少和降低基板成膜时的温度。

附图说明

图1是本实用新型结构示意图；

图2是本实用新型坩埚系统正视结构示意图；

图3是本实用新型圆形火山口侧视结构示意图；

图4是本实用新型圆形火山口俯视结构示意图；

图5是本实用新型圆形火山口正视结构示意图。

其中：坩埚底板-1、中心水轴-2、坩埚驱动轴-3、坩埚本体-4、电子枪头发生器-5、二次电子收集板-6、水冷块-7、圆形火山口-8、双层坩埚上盖板-9、双层坩埚下盖板-10、承接板-31、凸板-61、连接头-71、固定孔-81、台阶-82。

具体实施方式

下面将结合附图1-5对本实用新型进行详细说明，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例一：

请参阅图1和图2，本实用新型通过改进在此提供一种带散射电子捕集器的新型坩埚系统，包括坩埚底板1、中心水轴2、坩埚驱动轴3、坩埚本体4、电子枪头发生器5、二次电子收集板6、水冷块7、圆形火山口8、双层坩埚上盖板9和双层坩埚下盖板10，坩埚底板1与中心水轴2底部固定连接，中心水轴2与坩埚本体4底部转动配合，坩埚驱动轴3输出端与中心水轴2左上端转动连接，电子枪头发生器5安装固定于坩埚底板1顶部前端，坩埚本体4与双层坩埚下盖板10底部固定连接，双层坩埚上盖板9通过螺钉与双层坩埚下盖板10底部前端锁紧固定，圆形火山口8嵌入于双层坩埚上盖板9顶部左端，并且圆形火山口8通过螺钉与双层坩埚上盖板9顶部前端锁紧固定，利于起到对圆形火山口8进行固定安装的作用，双层坩埚下盖板10顶部后端固定有二次电子收集板6，双层坩埚下盖板10顶部后端设置有水冷块7，利于起到对双层坩埚上盖板9进行降温的作用，双层坩埚上盖板9内侧设置有水冷通道，并且水冷块7与双层坩埚上盖板9内侧水冷通道相连通，利于起到快速对双层坩埚上盖板9和圆形火山口8进行冷却的作用，水冷块7左下端设置有连接头71，并且水冷块7与连接头71相连通，利于起到对冷却水进行输送的作用，二次电子收集板6上端设置有斜面，并且水冷块7位于二次电子收集板6和双层坩埚下盖板10内侧，利于起到防止长时间镀膜时，金属膜蒸发到水冷块7表面，导致降低水冷效果，同时也为了最大限度地吸收二次电子的能量，从而减少散射的二次电子对产品的损伤，同时也一定程度上吸收了高速率蒸发时产生的热量，可以大幅度减少和降低基板成膜时温度的优点，双层坩埚上盖板9为不锈钢材质，可以反复清洗和利用的优点，双层坩埚上盖板9上端设置有固定槽，并且双层坩埚上盖板9上端固定槽与圆形火山口8大小相吻合，利于起到对圆形火山口8安装固定的作用，连接头71共设置有两根，并且连接头71沿水冷块7左端前后两侧相对设置。

请参阅图3、图4和图5，本实用新型通过改进在此提供一种带散射电子捕集器的新型坩埚系统，圆形火山口8上端设置有固定孔81，并且固定孔81共设置有四个，利于起到对圆形火山口8进行固定安装的作用，圆形火山口8内直径为64mm，外直径为115mm，并且圆形火山口8的高度为25mm，利于起到延长更换的周期，圆形火山口8上端设置有台阶82，并且台阶82横截面为等腰梯形状，利于起到对圆形火山口8进行清理的作用，台阶82的上宽度为54mm，下宽度为45mm，并且台阶82的高度为18mm。

实施例二：

本实用新型通过改进在此提供一种带散射电子捕集器的新型坩埚系统，双层坩埚上盖板9和双层坩埚下盖板10相互平行排列，并且双层坩埚上盖板9位于二次电子收集板6左端，利于起到对双层坩埚上盖板9进行固定安装的作用，中心水轴2与坩埚本体4中心线处于同一竖直方向上，利于起到使坩埚本体4平稳转动的作用，二次电子收集板6上端设置有凸板61，并且凸板61与双层坩埚下盖板10相互水平排列，水冷块7位于凸板61内侧下端，利于起到对水冷块7进行保护的作用，坩埚驱动轴3右端设置有承接板31，并且承接板31与坩埚底板1左上端相固定，利于起到对坩埚驱动轴3进行固定安装的作用。

本实用新型通过改进提供一种带散射电子捕集器的新型坩埚系统，其工作原理如下；

第一，在使用前，将带散射电子捕集器的新型坩埚系统进行水平放置，使坩埚底板1对该坩埚系统进行固定支撑；

第二，在使用时，通过螺丝将圆形火山口8固定于双层坩埚上盖板9上端，可以实现轻松分离的同时，也兼顾了对双层坩埚下盖板10的强度；

第三，随后电子枪头发生器5进行工作，利用-10kv高压加载在电子枪头发生器5身上，电子枪灯丝加热后发射热电子，被加速阳极加速，获得很大的动能轰击到的蒸发材料上，把动能转化成热使蒸发材料加热气化，而实现蒸发镀膜，电子束蒸发源由发射电子的热阴极、电子加速极和作为阳极的镀膜材料组成，电子束蒸发源的能量可高度集中，使镀膜材料局部达到高温而蒸发，从而进行镀膜，通过调节电子束的功率，可以方便的控制镀膜材料的蒸发速率；

第四，并且通过采用圆形增高型可分离式火山口，从而增加了火山口的高度和内侧面的面积，使其在此种坩埚系统最大限度地发挥了内侧面的有效面积，能很有效地延长更换的周期，节约成本，改变了原来使用u型分离式保护罩的方式，增加圆形火山口8使用寿命；

第五，通过在双层坩埚上盖板9上端加装了水冷块7，水冷块7与双层坩埚上盖板9内部的的水冷通道相连通，通过水循环对双层坩埚上盖板9和圆形火山口8进行快速冷却，从而使双层坩埚上盖板9和圆形火山口8快速降为常温，方便对圆形火山口8进行拆卸更换，同时通过在双层坩埚下盖板10上面增加双层坩埚上盖板9，并且双层坩埚上盖板9采用不锈钢的材料，可以反复清洗和利用，极大效果地保护了双层坩埚下盖板10的寿命，节约成本和使用便利；

第六，同时通过在双层坩埚上盖板9上端设置了二次电子收集板6，二次电子收集板6一方面起到防止长时间镀膜时，金属膜蒸发到水冷块7表面，导致降低水冷效果，并且二次电子收集板6上端设置有倾斜的坡面，能够最大限度地吸收二次电子的能量，从而减少散射的二次电子对产品的损伤，同时也一定程度上吸收了高速率蒸发时产生的热量，可以大幅度减少和降低基板成膜时的温度。

本实用新型通过改进提供一种带散射电子捕集器的新型坩埚系统，通过在双层坩埚上盖板9上端加装了水冷块7，水冷块7与双层坩埚上盖板9内部的的水冷通道相连通，通过水循环对双层坩埚上盖板9和圆形火山口8进行快速冷却，从而使双层坩埚上盖板9和圆形火山口8快速降为常温，方便对圆形火山口8进行拆卸更换；通过在双层坩埚上盖板9上端设置了圆形火山口8，通过采用圆形增高型可分离式火山口，从而增加了火山口的高度和内侧面的面积，使其在此种坩埚系统最大限度地发挥了内侧面的有效面积，能很有效地延长更换的周期，节约成本，改变了原来使用u型分离式保护罩的方式，达到了增加圆形火山口8使用寿命的优点；通过在双层坩埚下盖板10上面增加双层坩埚上盖板9，并且双层坩埚上盖板9采用不锈钢的材料，可以反复清洗和利用，极大效果地保护了双层坩埚下盖板10的寿命，达到了节约成本和使用便利的优点；通过在双层坩埚上盖板9上端设置了二次电子收集板6，二次电子收集板6一方面起到防止长时间镀膜时，金属膜蒸发到水冷块7表面，导致降低水冷效果，并且二次电子收集板6上端设置有倾斜的坡面，能够最大限度地吸收二次电子的能量，从而减少散射的二次电子对产品的损伤，同时也一定程度上吸收了高速率蒸发时产生的热量，可以大幅度减少和降低基板成膜时的温度。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点,并且本实用新型使用到的标准零件均可以从市场上购买,异形件根据说明书的和附图的记载均可以进行订制,各个零件的具体连接方式均采用现有技术中成熟的螺栓铆钉、焊接等常规手段，机械、零件和设备均采用现有技术中,常规的型号,加上电路连接采用现有技术中常规的连接方式,在此不再详述。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。