一种刀片镀膜机的制作方法

[0001]
本实用新型涉及镀膜机技术领域，具体涉及一种刀片镀膜机。


背景技术：

[0002]
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，mbe分子束外延，pld激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种，需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材。基片与靶材同在真空腔中。蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面，通过成膜过程(散点－岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜。
[0003]
现有的镀膜机为了防止镀膜机内部溅射，通常会设置一个防止溅射的防护机构，如申请号为2019208069022中公开的一种可防止蒸镀材料溅射的镀膜机。实际应用证明，此种防护机构由于与圆形转盘之间为自由状态，防护机构与圆形转盘之间密封性能差，在工作的时候，由于设备抖动，防护机构会与圆形转盘出现短暂分离，溅射物容易从防护机构与圆形转盘之间溅射到镀膜机本体的内壁上，存在防护效果差的问题。


技术实现要素：

[0004]
针对背景技术中的不足，本实用新型提供一种刀片镀膜机。
[0005]
本实用新型所采用的技术方案是：一种刀片镀膜机，包括底座、设置在底座上的镀膜机本体、设置在镀膜机本体上的驱动总成、与驱动总成连接的钨螺旋加热子、设置在底座上的连接杆、设置在镀膜机本体上的观察窗以及设置镀膜机本体下方的转动圆盘，还包括防护机构，所述防护机构包括至少3个磁性柱、与磁性柱个数相同的具有磁性的导向套、侧防护片和上防护片，所述磁性柱等间距的固定在转动圆盘外圈，所述侧防护片设置在导向套与导向套之间形成防护筒，所述上防护片设置在防护筒的顶部，所述上防护片上设有供钨螺旋加热子穿过的通孔，所述的转动圆盘底部设有用于防护套嵌入的环形槽。
[0006]
进一步的，所述磁性柱为磁性金属或耐高温磁性橡胶。
[0007]
进一步的，所述导向套由耐高温磁性橡胶制成。
[0008]
进一步的，所述磁性柱外周的转动圆盘上设有环槽，所述环槽内固定有磁性环。
[0009]
进一步的，所述侧防护片和上防护片由耐高温的透明塑料制成。
[0010]
本实用新型的有益效果是：本实用新型通过在转动圆盘上设置环形槽用于防护套嵌入，从而提高防护套与转动圆盘之间的密封性能，避免镀膜机工作的时候溅射物从防护机构与圆形转盘之间溅射到镀膜机本体的内壁上，另外，磁性柱与导向套之间为磁性连接，有效避免因为镀膜机工作抖动而使防护机构会与原型转盘分离，保证防护机构的有效性。
[0011]
除了上面所描述的目的、特征和优点之外，本发明还有其他的目的、特征和优点。
[0012]
下面将参照图，对本发明作进一步详细的说明。
附图说明
[0013]
图1为本实用新型的结构示意图。
[0014]
图2为镀膜机本体的内部示意图。
[0015]
图3为转动圆盘和防护机构的俯视示意图。
[0016]
图中：1、底座；2、镀膜机本体；3、驱动总成；4、钨螺旋加热子；5、连接杆；6、观察窗；7、转动圆盘；8、磁性柱；9、导向套；10、侧防护片；11、上防护片；12、通孔；13、环形槽；14、环槽；15、磁性环。
具体实施方式
[0017]
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0018]
需要说明，若本实用新型实施例中有涉及方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后
……
)，则该方向性指示仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。
[0019]
本实用新型提供一种刀片镀膜机。
[0020]
在本实施例中，参照图1至图3，该刀片镀膜机，包括底座1、设置在底座2上的镀膜机本体2、设置在镀膜机本体2上的驱动总成3、与驱动总成3连接的钨螺旋加热子4、设置在底座1上的连接杆5、设置在镀膜机本体2上的观察窗6以及设置镀膜机本体下方的转动圆盘7，还包括防护机构，所述防护机构包括至少3个磁性柱8、与磁性柱8个数相同的具有磁性的导向套9、侧防护片10和上防护片11，所述磁性柱等间距的固定在转动圆盘外圈，所述侧防护片设置在导向套与导向套之间形成防护筒，所述上防护片设置在防护筒的顶部，所述上防护片上设有供钨螺旋加热子穿过的通孔12，所述的转动圆盘底部设有用于防护套嵌入的环形槽13。
[0021]
上述技术方案中，通过在转动圆盘底部设置用于防护套嵌入的环形槽，提高转动圆盘与防护机构之间的密封性能，另外，导向套和磁性柱相互吸引，从而避免在镀膜机工作的时候防护机构从转动圆盘上脱离使转动圆盘与防护机构之间出现间隙，以上结构保证防护机构与转动圆盘之间的密封性，保证防护机构防溅射的有效性。
[0022]
具体的，所述磁性柱为磁性金属或耐高温磁性橡胶；所述导向套由耐高温磁性橡胶制成；所述磁性柱外周的转动圆盘上设有环槽14，所述环槽14内固定有磁性环15。磁性环与导向套相互吸引，提高防护机构与转动圆盘之间的连接稳定性。
[0023]
具体的，所述侧防护片和上防护片由耐高温的透明塑料制成。
[0024]
本实用新型通过在转动圆盘上设置环形槽用于防护套嵌入，从而提高防护套与转动圆盘之间的密封性能，避免镀膜机工作的时候溅射物从防护机构与圆形转盘之间溅射到镀膜机本体的内壁上，另外，磁性柱与导向套之间为磁性连接，有效避免因为镀膜机工作抖动而使防护机构会与原型转盘分离，保证防护机构的有效性。
[0025]
各位技术人员须知：虽然本实用新型已按照上述具体实施方式做了描述，但是本实用新型的发明思想并不仅限于此实用新型，任何运用本发明思想的改装，都将纳入本专
利专利权保护范围内。