一种TFT玻璃薄膜层沉积装置的制作方法

文档序号:23821391发布日期:2021-02-03 16:52阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种tft玻璃薄膜层沉积装置,包括沉积源(1)、沉积源喷嘴(2)、连接构件(3)、图案化缝隙片(4)、基底(5)、u型管(6)、滑轨(7)、驱动机构(8)和电动伸缩杆(9),其特征在于:所述沉积源(1)和图案化缝隙片(4)之间通过框形的连接构件(3)相连接,所述沉积源(1)与沉积源喷嘴(2)相连接,所述沉积源喷嘴(2)位于图案化缝隙片(4)的下方,所述连接构件(3)的两侧固定连接有滑轨(7),两个滑轨(7)相互平行,且滑轨(7)滑动连接有滑块(10),所述滑块(10)共有四个,分别基底(5)的下端四角处,所述基底(5)的上表面铺设有多根平行排列的u型管(6),所述基底(5)和滑块(10)之间通过电动伸缩杆(9)连接,且滑块(10)和滑轨(7)之间通过驱动机构(8)相连接。2.根据权利要求1所述的一种tft玻璃薄膜层沉积装置,其特征在于:所述驱动机构(8)包括驱动电机(81)、齿轮(82)、齿条(83)和端板(84),滑块(10)与端板(84)固定连接,端板(84)的上表面安装有驱动电机(81),驱动电机(81)通过电机轴连接有齿轮(82),齿轮(82)与齿条(83)相互啮合,齿条(83)位于滑轨(7)的外侧壁上。3.根据权利要求1所述的一种tft玻璃薄膜层沉积装置,其特征在于:所述u型管(6)上套接有管箍(61),管箍(61)通过螺栓固定连接有基底(5)。4.根据权利要求1所述的一种tft玻璃薄膜层沉积装置,其特征在于:所述u型管(6)共有六根,每根u型管(6)均通过水管连接有流体控温系统。5.根据权利要求1所述的一种tft玻璃薄膜层沉积装置,其特征在于:所述滑轨(7)和滑块(10)的横截面均为t形,且滑轨(7)的两端封闭。
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