一种等离子辅助化学气相沉积设备的制作方法

[0001]
本实用新型涉及气相沉积设备技术领域，具体为一种等离子辅助化学气相沉积设备。


背景技术：

[0002]
等离子辅助气相沉积技术是利用低温等离子体，在真空的环境下，加入适当的反应气体，通过电能激发辉光放电，使等离子体产生化学反应，从而在固体表面形成固态薄膜，较常见为金属的氧化膜或氮化膜。
[0003]
专利授权公告号“cn 202279857u”提出一种等离子辅助化学气相沉积设备，该气相沉积设备使用本实用新型等离子辅助化学气相沉积设备进行的表面改性工艺不涉及任何废水的产生及排放，符合环保的生产原则。但是该设备缺乏相应的接地保护措施，其安全性待进一步提高，而且设备移动不便，不方便进行转移。因此，需要对现有技术进行改进。


技术实现要素：

[0004]
本实用新型的目的在于提供一种等离子辅助化学气相沉积设备，解决了现有的气相沉积设备缺乏接地保护措施，导致安全性不够的问题，还解决了现有的气相沉积设备不方便进行转移的问题。
[0005]
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种等离子辅助化学气相沉积设备，包括真空箱，所述真空箱的右端固定连接有气动阀，所述气动阀的右端固定连接有真空管道，所述真空管道的下端固定连接有罗茨泵，所述罗茨泵的下端固定连接有支撑架，所述支撑架的下端固定连接有底板，所述底板内通过螺纹连接有锁紧钉，所述底板的下端固定连接有轮架，所述轮架的内部固定连接有轮轴，所述轮轴的外侧转动连接有车轮，所述底板的下端固定连接有套筒，所述套筒内安装有弹簧，所述套筒内滑动连接有接触杆，所述接触杆内通过螺纹连接有限位钉，所述接触杆的下端卡合有连接套，所述连接套的下端固定连接有接地杆，所述接地杆预埋于地面内。
[0006]
优选的，所述车轮的表面开设有卡槽，所述卡槽内卡接有锁紧钉。
[0007]
优选的，所述套筒的表面开设有限位槽和凹槽，所述限位槽内滑动连接有限位钉。
[0008]
优选的，所述限位钉的上端固定连接有弹片，所述弹片的表面固定连接有卡块。
[0009]
优选的，所述真空箱的下端固定连接有支架，所述支架与底板的上端接触。
[0010]
优选的，所述弹簧的上端与底板的下端接触，所述弹簧的下端与接触杆接触。
[0011]
与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：
[0012]
1、本实用新型通过设计的底板下端设计套筒，套筒内安装弹簧和接触杆，且在地面预埋连接套和接地杆，通过弹簧的弹力作用构成可靠的接触结构，使得设备漏电时，可以可靠地将电流进行疏散，从而使得设备的安全性高。
[0013]
2、本实用新型通过在设计的底板下设计车轮，且在底板上安装锁紧钉可根据需要对车轮进行锁紧，结构简单，使用方便，通过设计车轮方便设备的移动，便于根据需要进行
转移。
附图说明
[0014]
图1为本实用新型的结构示意图；
[0015]
图2为本实用新型的图1的a部结构放大图；
[0016]
图3为本实用新型的图1的b部结构放大图；
[0017]
图4为本实用新型的图1的底板侧视图。
[0018]
图中：1、真空箱；2、支架；3、气动阀；4、真空管道；5、罗茨泵；6、支撑架；7、底板；8、锁紧钉；9、轮架；10、轮轴；11、车轮；12、卡槽；13、套筒；14、限位槽；15、凹槽；16、弹簧；17、接触杆；18、限位钉；19、弹片；20、卡块；21、连接套；22、接地杆。
具体实施方式
[0019]
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
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实施例
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请参阅图1-4，一种等离子辅助化学气相沉积设备，包括真空箱1，真空箱1的右端固定连接有气动阀3，气动阀3的右端固定连接有真空管道4，真空管道4的下端固定连接有罗茨泵5，罗茨泵5的下端固定连接有支撑架6，支撑架6的下端固定连接有底板7，底板7内通过螺纹连接有锁紧钉8，锁紧钉8的设计，用于对车轮11进行锁紧，底板7的下端固定连接有轮架9，轮架9的内部固定连接有轮轴10，轮轴10的外侧转动连接有车轮11，车轮11的设计，方便对设备进行转移，底板7的下端固定连接有套筒13，套筒13内安装有弹簧16，弹簧16具有压缩弹力作用，套筒13内滑动连接有接触杆17，接触杆17内通过螺纹连接有限位钉18，接触杆17的下端卡合有连接套21，连接套21的下端固定连接有接地杆22，接地杆22预埋于地面内。
[0022]
请参阅图2，车轮11的表面开设有卡槽12，卡槽12内卡接有锁紧钉8。通过卡槽12和锁紧钉8的配合，可以对车轮11进行锁紧。
[0023]
请参阅图3，套筒13的表面开设有限位槽14和凹槽15，限位槽14内滑动连接有限位钉18。限位槽14为限位钉18提供了移动空间，凹槽15的设计用于和卡块20配合。
[0024]
请参阅图3，限位钉18的上端固定连接有弹片19，弹片19的表面固定连接有卡块20。弹片19和卡块20为一体式结构，均由钢材制成，具有一定的弹性。
[0025]
请参阅图1，真空箱1的下端固定连接有支架2，支架2与底板7的上端接触。支架2的设计可对真空箱1进行支撑。
[0026]
请参阅图3，弹簧16的上端与底板7的下端接触，弹簧16的下端与接触杆17接触。弹簧16具有良好的弹性，可利用弹簧16的弹性，使得接触杆17和弹簧16接触紧密。
[0027]
本实用新型具体实施过程如下：当设备发生漏电时，电流可经过支架2、底板7、弹簧16、接触杆17、连接套21和接地杆22，然后将电流疏散至地面，实现漏电保护，提高了设备的安全性，当需要移动该设备时，向上移动限位钉18，限位钉18带动接触杆17向上移动，离
开连接套21，且限位钉18带动弹片19向上移动，带动卡块20向上移动，卡入凹槽15内，然后转动锁紧钉8，锁紧钉8与底板7发生螺纹运动，产生相对位移，使得锁紧钉8向上移动，离开车轮11的卡槽12，解除对车轮11的锁紧，即可将设备转移，便于根据需要进行转移。
[0028]
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。