晶圆存取机构的制作方法

[0001]
本实用新型涉及晶圆加工领域，特别是涉及一种晶圆存取机构。


背景技术：

[0002]
在某些集成电路的制造过程中，需要对晶圆的边缘进行打磨修整，一般采用晶圆磨边机对晶圆实施磨边加工。而现有的晶圆磨边机一般需要人工将晶圆从晶圆储存盘转移至加工主轴上，为此，可在晶圆磨边机上设置晶圆自动搬送装置实现晶圆的输送。但现有的晶圆磨边机缺少一种能够与晶圆自动搬送装置相配合运作的晶圆储存装置，而无法实现晶圆的自动化存取和自动化输送的功能。


技术实现要素：

[0003]
为了解决上述问题，本实用新型的目的是提供一种晶圆存取机构，以解决现有的晶圆磨边机缺少能够与晶圆自动搬送装置相配合的晶圆储存装置的问题。
[0004]
基于此，本实用新型提供了一种晶圆存取机构，包括储存部件、座体、第一驱动装置和第二驱动装置；所述第一驱动装置包括连接于所述座体的第一导轨以及可滑动地连接于所述第一导轨的第一滑块，所述第二驱动装置包括连接于所述第一滑块的第二导轨以及可滑动地连接于所述第二导轨的第二滑块，所述第一导轨和第二导轨相互垂直设置，所述储存部件连接于所述第二滑块，所述储存部件上设有多个储存单元。
[0005]
作为优选的，所述储存单元为开设于所述储存部件上的凹槽。
[0006]
作为优选的，所述凹槽的底壁上设有一个或多个支撑块。
[0007]
作为优选的，多个所述储存单元呈矩阵排布。
[0008]
作为优选的，所述第二滑块上设有承托盘，所述承托盘的四周均设有限位挡块，所述储存部件位于所述承托盘上，且所述储存部件的侧边抵接于所述限位挡块。
[0009]
作为优选的，所述承托盘的侧边活动连接有锁止件，所述储存部件的侧边设有与所述锁止件的位置相对应的锁止孔，所述锁止件穿设于所述锁止孔。
[0010]
作为优选的，所述第一驱动装置还包括与所述第一导轨平行设置的第一螺杆以及活动地配合连接于所述第一螺杆的第一螺母，所述第一螺杆转动连接于所述座体，所述第一螺母连接于所述第一滑块。
[0011]
作为优选的，所述第二驱动装置还包括与所述第二导轨平行设置的第二螺杆以及活动地配合连接于所述第二螺杆的第二螺母，所述第二螺杆转动连接于所述第一滑块，所述第二螺母连接于所述第二滑块。
[0012]
作为优选的，所述第一导轨和第二导轨均水平设置。
[0013]
作为优选的，所述限位挡块上设有引导斜面，所述引导斜面与所述储存部件相对设置。
[0014]
本实用新型的晶圆存取机构，包括储存部件、座体、第一驱动装置和第二驱动装置；第一驱动装置包括连接于座体的第一导轨以及可滑动地连接于第一导轨的第一滑块，
第二驱动装置包括连接于第一滑块的第二导轨以及可滑动地连接于第二导轨的第二滑块，第一导轨和第二导轨相互垂直设置，储存部件连接于第二滑块，第一驱动装置和第二驱动装置用于驱动储存部件在两个相互垂直的方向上运动，储存部件上设有多个储存单元，以储存多个晶圆，可运动的储存部件使得晶圆自动搬送装置能够快速拾取储存部件上相应的晶圆，提高晶圆磨边机的加工效率。
附图说明
[0015]
图1是本实用新型实施例的晶圆存取机构的整体结构示意图；
[0016]
图2是本实用新型实施例的晶圆存取机构的正视示意图；
[0017]
图3是本实用新型实施例的晶圆存取机构的侧视示意图；
[0018]
图4是本实用新型实施例的晶圆存取机构的俯视示意图；
[0019]
图5是本实用新型实施例的晶圆存取机构的储存部件的局部结构示意图。
[0020]
其中，1、储存部件；11、储存单元；111、凹槽；112、支撑块；12、锁止孔；2、座体；3、第一驱动装置；31、第一导轨；32、第一滑块；4、第二驱动装置；41、第二导轨；42、第二滑块；5、承托盘；51、限位挡块；511、引导斜面；52、锁止件。
具体实施方式
[0021]
下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。
[0022]
结合图1至图5所示，示意性地显示了本实用新型的晶圆存取机构，包括储存部件1、座体2、第一驱动装置3和第二驱动装置4。第一驱动装置3包括连接于座体2的第一导轨31以及可滑动地连接于第一导轨31的第一滑块32，第二驱动装置4包括连接于第一滑块32的第二导轨41以及可滑动地连接于第二导轨41的第二滑块42，第一导轨31和第二导轨41相互垂直设置，且第一导轨31和第二导轨41均水平设置。储存部件1连接于第二滑块42，第一驱动装置3和第二驱动装置4用于驱动储存部件1在两个相互垂直的方向上运动，储存部件1上设有多个呈矩阵排布的储存单元11。
[0023]
可运动的储存部件1使得晶圆自动搬送装置能够快速拾取储存部件1上相应的晶圆，提高晶圆磨边机的加工效率，无需晶圆自动搬送装置通过繁琐的运动以拾取储存部件1上的晶圆，
[0024]
优选的，如图5，储存单元11为开设于储存部件1上的凹槽111，凹槽111呈圆形，且凹槽111的底壁上设有一个或多个支撑块112，支撑块112的顶端抵接于晶圆的下端面。
[0025]
第二滑块42上设有承托盘5，承托盘5的四周均设有限位挡块51，储存部件1位于承托盘5上，且储存部件1的侧边抵接于限位挡块51，限位挡块51可防止储存部件1脱离承托盘5，限位挡块51上设有引导斜面511，所述引导斜面511与所述储存部件1相对设置，引导斜面511方便工人将储存部件1放置在承托盘5上。具体地，承托盘5的侧边活动连接有锁止件52，储存部件1的侧边设有与锁止件52的位置相对应的锁止孔12，锁止件52穿设于锁止孔12，锁止件52穿入锁止孔12即可将储存部件1锁止在承托盘5上。
[0026]
为了实现储存部件1的精准运动，第一驱动装置3还包括与第一导轨31平行设置的第一螺杆以及活动地配合连接于第一螺杆的第一螺母，第一螺杆转动连接于座体2，第一螺
母连接于第一滑块32。对应的，第二驱动装置4还包括与第二导轨41平行设置的第二螺杆以及活动地配合连接于第二螺杆的第二螺母，第二螺杆转动连接于第一滑块32，第二螺母连接于第二滑块42。可通过现有的电动机驱动第一螺杆或第二螺杆，进而使第一滑块32或第二滑块42运动。
[0027]
综上所述，本实用新型的晶圆存取机构，包括储存部件1、座体2、第一驱动装置3和第二驱动装置4；第一驱动装置3包括连接于座体2的第一导轨31以及可滑动地连接于第一导轨31的第一滑块32，第二驱动装置4包括连接于第一滑块32的第二导轨41以及可滑动地连接于第二导轨41的第二滑块42，第一导轨31和第二导轨41相互垂直设置，储存部件1连接于第二滑块42，第一驱动装置3和第二驱动装置4用于驱动储存部件1在两个相互垂直的方向上运动，储存部件1上设有多个储存单元11，以储存多个晶圆，可运动的储存部件1使得晶圆自动搬送装置能够快速拾取储存部件1上相应的晶圆，提高晶圆磨边机的加工效率。
[0028]
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和替换，这些改进和替换也应视为本实用新型的保护范围。