一种单晶硅片边角磨削用夹紧工装的制作方法

1.本实用新型涉及一种夹紧工装，尤其涉及一种单晶硅片边角磨削用夹紧工装。


背景技术：

2.单晶硅是一种比较活泼的非金属元素，是晶体材料的重要组成部分，处于新材料发展的前沿。其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等。由于太阳能具有清洁、环保、方便等诸多优势，近三十年来，太阳能利用技术在研究开发、商业化生产、市场开拓方面都获得了长足发展，成为世界快速、稳定发展的新兴产业之一。
3.单晶硅可以用于二极管级、整流器件级、电路级以及太阳能电池级单晶产品的生产和深加工制造，其后续产品集成电路和半导体分离器件已广泛应用于各个领域，在军事电子设备中也占有重要地位。
4.根据不同的用途，单晶硅片需要被磨削出不同的形状和细节，其加工过程成品率较低，加工难度主要集中于单晶硅片边角磨削工序上，对单晶硅片进行边角磨削工序时，现今硅片固定多采用磁吸式夹具固定，进行磨削工序时，由于单晶硅片柔韧性较差，当磨削工具作用在单晶硅片边沿时，部分区域应力集中，极易使单晶硅片破碎，造成了单晶硅片的浪费，极大地降低了产品合格率。


技术实现要素：

5.根据以上技术问题，本实用新型提供一种单晶硅片边角磨削用夹紧工装。包括工装本体、固定槽、吸气孔、真空腔、密封螺母、连接法兰，连接管道，所述工装本体前端设有一倾斜端面，倾斜端面上设有固定槽，所述固定槽上设有吸气孔，数量为n，n≥2，所述工装本体内设有真空腔，所述真空腔与固定槽上的吸气孔相通，所述工装本体侧面设有连接管道，所述连接管道一端通过密封螺母与工装本体的真空腔相联通，所述连接管道另一端通过连接法兰与抽真空泵相连接。
6.进一步的，所述工装本体前端的倾斜端面倾斜角度范围在30
°-
45
°
。
7.进一步的，所述工装本体材质为不锈钢。
8.进一步的，所述固定槽为矩形槽。
9.本实用新型的有益效果为：本实用新型为一种单晶硅片边角磨削用夹紧工装，通过将待磨削的单晶硅片置于固定槽内，通过抽真空泵经吸气孔对真空腔进行抽真空，，使单晶硅片通过吸气孔被负压吸引，被大气压牢牢的压紧在固定槽内，由于同一高度的大气压处处相等，固定槽平整度较好，使得单晶硅片受力均匀，不会因为部分点位受力集中造成单晶硅片损坏，同时由于大气压力较大，使单晶硅片的固定更为牢固，达到更为理想的压紧效果，磨削过程更加顺畅，避免造成单晶硅片的浪费，极大地提高了产品合格率。
附图说明
10.图1为本实用新型主体结构图；
11.图2为本实用新型剖视图；
12.图3为待磨削的单晶硅片结构示意图；
13.图4为本使用新型使用状态结构示意图。
14.如图， 工装本体-1、固定槽-2、吸气孔-3、真空腔-4、密封螺母-5、连接法兰-6 、单晶硅片-7、连接管道-8。
具体实施方式
15.下面结合附图所示，对本实用新型进行进一步说明：本实用新型为一种单晶硅片边角磨削用夹紧工装。包括工装本体1、固定槽2、吸气孔3、真空腔4、密封螺母5、连接法兰6，连接管道8，所述工装本体1前端设有一倾斜端面，倾斜端面上设有固定槽2，所述固定槽2上设有吸气孔3，数量为n，n≥2，所述工装本体1内设有真空腔4，所述真空腔4与固定槽2上的吸气孔3相通，所述工装本体1侧面设有连接管道8，所述连接管道8一端通过密封螺母5与工装本体1的真空腔4相联通，所述连接管道8另一端通过连接法兰6与抽真空泵相连接。
16.进一步的，所述工装本体1前端的倾斜端面倾斜角度范围在30
°-
45
°
。
17.进一步的，所述工装本体1材质为不锈钢。
18.进一步的，所述固定槽2为矩形槽。
19.工作原理：使用时，抽真空泵通过连接法兰6与连接管道8相连接，将待磨削的单晶硅片7在固定槽2内放好，打开抽真空泵，抽真空泵将真空腔4内的空气抽走，并持续运行保持真空腔4的负压状态，此时待磨削的单晶硅片7被大气压牢牢的压在固定槽2内，单晶硅片7和固定槽2间存在微小的缝隙，少部分空气会在大气压的作用下进入缝隙，进而通过吸气孔3进入真空腔4，但工作过程中，抽真空泵持续运行，可将进入真空腔4的少部分空气及时抽走，使真空腔4始终保持一定的负压，单晶硅片7受到持续的大气压力作用，实现有效固定，便于磨削工作的进行，同时避免了部分点位受力集中造成单晶硅片7损坏的情况，提高了产品合格率。
20.以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出的是，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进，这些改进也应视为本实用新型的保护范围。